Grafittbærer for PECVD-prosessen

Grafittbærer for PECVD-prosess Utvalgt bilde

Kort beskrivelse:

VET EnergiPECVD grafittbåt for solcellepaneler er en avansert komponent som er spesielt utviklet for produksjon av høyytelses solcellepaneler. Denne grafittbåten, som brukes i PECVD-prosesser (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition), sikrer optimal materialhåndtering og jevn avsetning av tynne filmer på solceller. Den er konstruert for presisjon og holdbarhet, og gir overlegen varmeledningsevne, høy korrosjonsbestandighet og minimal forurensning, noe som er avgjørende for produksjon av effektive solcellepaneler av høy kvalitet.

Send e-post til oss Last ned som PDF

Produktdetaljer

Produktetiketter

VET EnergiPECVD-prosessgrafittbærer er et forbruksmateriale av høy kvalitet som er skreddersydd for PECVD-prosessen (plasmaforsterket kjemisk dampavsetning). Denne grafittbæreren er laget av grafittmateriale med høy renhet og høy tetthet, med utmerket høy temperaturbestandighet, korrosjonsbestandighet, dimensjonsstabilitet og andre egenskaper, og kan gi en stabil bærerplattform for PECVD-prosessen for å sikre ensartethet og flathet i tynnfilmavsetningen.

Grafittbærere for PECVD-prosessen har følgende egenskaper:

▪ Høy renhet: ekstremt lavt innhold av urenheter, noe som unngår forurensning av filmen og sikrer filmkvalitet.

▪ Høy tetthet: høy tetthet, høy mekanisk styrke, tåler høy temperatur og høyt trykk i PECVD-miljøet.

▪ God dimensjonsstabilitet: liten dimensjonsendring ved høy temperatur, noe som sikrer prosessstabilitet.

▪ Utmerket varmeledningsevne: overfører effektivt varme for å forhindre overoppheting av waferen.

▪ Sterk korrosjonsbestandighet: i stand til å motstå erosjon fra ulike korrosive gasser og plasma.

▪ Tilpasset service: grafittbærere i forskjellige størrelser og former kan tilpasses etter kundens behov.

Grafittmateriale fra SGL:

Typisk parameter: R6510
Indeks	Teststandard	Verdi	Enhet
Gjennomsnittlig kornstørrelse	ISO 13320	10	mikrometer
Bulktetthet	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm²³
Åpen porøsitet	DIN66133	10	%
Middels porestørrelse	DIN66133	1.8	mikrometer
Permeabilitet	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rockwell-hardhet HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Spesifikk elektrisk resistivitet	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Bøyestyrke	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Trykkfasthet	DIN 51910	130	MPa
Youngs modul	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Termisk ekspansjon (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Varmeledningsevne (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Den er spesielt utviklet for høyeffektiv solcelleproduksjon, og støtter prosessering av store G12-wafere. Optimalisert bærerdesign øker gjennomstrømningen betydelig, noe som muliggjør høyere utbytte og lavere produksjonskostnader.

Punkt	Type	Nummer waferbærer
PEVCD Grephite-båt - 156-serien	156-13 grepittbåt	144
	156-19 grepittbåt	216
	156-21 grepittbåt	240
	156-23 grafittbåt	308
PEVCD Grephite-båt - 125-serien	125-15 grefittbåt	196
	125-19 grefittbåt	252
	125-21 grafittbåt	280