Suporte de grafite para processo PECVD

Descrição resumida:

VET EnergiaO suporte de grafite para painéis solares, fabricado por PECVD, é um componente avançado projetado especificamente para a produção de painéis solares de alto desempenho. Utilizado em processos de Deposição Química de Vapor Assistida por Plasma (PECVD), este suporte de grafite garante o manuseio ideal do material e a deposição uniforme de filmes finos em células solares. Projetado para precisão e durabilidade, ele proporciona condutividade térmica superior, alta resistência à corrosão e contaminação mínima, características essenciais para a produção de painéis solares eficientes e de alta qualidade.

Envie-nos um e-mail Baixar como PDF

Detalhes do produto

Etiquetas do produto

VET EnergiaO suporte de grafite para o processo PECVD é um consumível de alta qualidade desenvolvido especificamente para o processo de deposição química de vapor assistida por plasma (PECVD). Fabricado com grafite de alta pureza e alta densidade, apresenta excelente resistência a altas temperaturas, à corrosão e estabilidade dimensional, proporcionando uma plataforma estável para o processo PECVD e garantindo a uniformidade e a planicidade da deposição de filmes finos.

Os suportes de grafite para o processo PECVD apresentam as seguintes características:

▪ Alta pureza: teor de impurezas extremamente baixo, evitando a contaminação do filme e garantindo sua qualidade.

▪ Alta densidade: alta densidade, alta resistência mecânica, capaz de suportar o ambiente PECVD de alta temperatura e alta pressão.

▪ Boa estabilidade dimensional: pequena variação dimensional em altas temperaturas, garantindo a estabilidade do processo.

▪ Excelente condutividade térmica: transfere calor de forma eficaz para evitar o superaquecimento do wafer.

▪ Forte resistência à corrosão: capaz de resistir à erosão causada por diversos gases corrosivos e plasma.

▪ Serviço personalizado: suportes de grafite de diferentes tamanhos e formatos podem ser personalizados de acordo com as necessidades do cliente.

Material de grafite da SGL:

Parâmetro típico: R6510
Índice	Padrão de teste	Valor	Unidade
Tamanho médio do grão	ISO 13320	10	μm
densidade aparente	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Porosidade aberta	DIN66133	10	%
Tamanho de poro médio	DIN66133	1.8	μm
Permeabilidade	DIN 51935	0,06	cm²/s
Dureza Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Resistividade elétrica específica	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Resistência à flexão	DIN IEC 60413/501	60	MPa
resistência à compressão	DIN 51910	130	MPa
Módulo de Young	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Expansão térmica (20-200℃)	DIN 51909	4,2 x 10^-6	K^-1
Condutividade térmica (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Foi projetado especificamente para a fabricação de células solares de alta eficiência, suportando o processamento de wafers de grande porte G12. O design otimizado da estrutura de suporte aumenta significativamente a produtividade, permitindo maiores taxas de rendimento e menores custos de produção.

Item	Tipo	Número de wafers de suporte
Barco PEVCD Grephite - Série 156	156-13 barco de grefita	144
	156-19 barco de grefita	216
	156-21 barco de grefita	240
	Barco de grafite 156-23	308
Barco PEVCD Grephite - Série 125	125-15 barco de grefita	196
	125-19 barco de grefita	252
	125-21 barco de grife	280