Suporte de grafite para processo PECVD

Imagem em destaque do transportador de grafite para o processo PECVD

Descrição curta:

Energia VETA Barca de Grafite PECVD para Painel Solar é um componente avançado projetado especificamente para a produção de painéis solares de alto desempenho. Utilizada em processos de Deposição Química de Vapor por Plasma (PECVD), esta barca de grafite garante o manuseio ideal do material e a deposição uniforme de filmes finos em células solares. Projetada para precisão e durabilidade, ela oferece condutividade térmica superior, alta resistência à corrosão e contaminação mínima, essenciais para a produção de painéis solares eficientes e de alta qualidade.

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Energia VETO suporte de grafite para o processo PECVD é um consumível de alta qualidade desenvolvido especialmente para o processo PECVD (deposição química de vapor aprimorada por plasma). Este suporte de grafite é feito de material de grafite de alta pureza e alta densidade, com excelente resistência a altas temperaturas, resistência à corrosão, estabilidade dimensional e outras características, podendo fornecer uma plataforma de suporte estável para o processo PECVD, garantindo a uniformidade e a planura da deposição de filmes finos.

Os portadores de grafite para o processo PECVD apresentam as seguintes características:

▪ Alta pureza: teor de impurezas extremamente baixo, evitando contaminação do filme e garantindo a qualidade do filme.

▪ Alta densidade: alta densidade, alta resistência mecânica, capaz de suportar altas temperaturas e ambientes de alta pressão PECVD.

▪ Boa estabilidade dimensional: pequena alteração dimensional em alta temperatura, garantindo estabilidade do processo.

▪ Excelente condutividade térmica: transfere calor de forma eficaz para evitar o superaquecimento do wafer.

▪ Forte resistência à corrosão: capaz de resistir à erosão por vários gases corrosivos e plasma.

▪ Serviço personalizado: transportadores de grafite de diferentes tamanhos e formatos podem ser personalizados de acordo com as necessidades do cliente.

Material de grafite da SGL:

Parâmetro típico: R6510
Índice	Padrão de teste	Valor	Unidade
Tamanho médio do grão	ISO 13320	10	μm
Densidade aparente	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Porosidade aberta	DIN66133	10	%
Poros de tamanho médio	DIN66133	1.8	μm
Permeabilidade	DIN 51935	0,06	cm²/s
Dureza Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Resistividade elétrica específica	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Resistência à flexão	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Resistência à compressão	DIN 51910	130	MPa
Módulo de Young	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Expansão térmica (20-200℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Condutividade térmica (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Ele foi projetado especificamente para a fabricação de células solares de alta eficiência, suportando o processamento de wafers G12 de grande porte. O design otimizado do portador aumenta significativamente a produtividade, permitindo maiores taxas de rendimento e menores custos de produção.

Item	Tipo	Número de portador de wafer
Barco PEVCD Grephite - Série 156	156-13 barco de grefita	144
	156-19 barco de grefita	216
	156-21 barco de grefita	240
	156-23 barco de grafite	308
Barco PEVCD Grephite - Série 125	barco de grefita 125-15	196
	barco de grefita 125-19	252
	barco de grife 125-21	280