Графитовая подложка с покрытием из карбида кремния для полупроводников, MOCVD-приемник

Краткое описание:

VET Energy SiC Coated Susceptor — это высокопроизводительный продукт, разработанный для обеспечения стабильной и надежной работы в течение длительного периода. Он обладает очень хорошей термостойкостью и тепловой однородностью, высокой чистотой, эрозионной стойкостью, что делает его идеальным решением для приложений обработки пластин.

Место происхождения:Чжэцзян, Китай (материк)

Химический состав:Графит с покрытием SiC

Прочность на изгиб:470МПа

Теплопроводность:300 Вт/мК

Качество:Идеальный

Функция:CVD-SiC

Приложение:Полупроводники/Фотоэлектрические

Плотность:3,21 г/см3

Тепловое расширение:4 10-6/К

Пепел: <5 частей на миллион

Образец:Доступно

Код ТН ВЭД:6903100000

Напишите нам письмо Загрузить как PDF

Подробности продукта

Теги продукта

Токоприемник с карбид-оксидным покрытием VET Energy— это высокопроизводительное решение, тщательно разработанное для обеспечения надежной и стабильной работы в течение длительного срока службы, отвечающее строгим требованиям производства полупроводников. Обладая исключительной термостойкостью, превосходной тепловой однородностью и высокой чистотой, этот продукт идеально подходит для носителей пластин MOCVD и других приложений обработки пластин, требующих стабильности и точности. Его надежная устойчивость к эрозии делает его первоклассным выбором для сред, где долговечность и химическая стойкость имеют решающее значение.

НашГрафитовый токоприемник с покрытием SiCвыступает в качестве критического компонента в процессе производства полупроводников, используя эксклюзивную запатентованную технологию VET Energy для достижения чрезвычайно высокой чистоты, превосходной однородности покрытия и замечательной термической стабильности. Покрытие усиливает графитовую подложку высокой химической стойкостью и значительно продлевает срок службы. Приверженность VET Energy качеству привела к созданию токоприемника с покрытием SiC, который отвечает меняющимся потребностям рынка носителей графитовых пластин, устанавливая высокий стандарт для токоприемников с покрытием SiC, используемых вПроцессы MOCVD.

Основные характеристики токоприемников с покрытием SiC:

1. Стойкость к высокотемпературному окислению:Выдерживает температуру до 1700℃, что делает его пригодным для экстремальных условий обработки.

2. Высокая чистота и термическая однородность:Обеспечивает стабильные результаты, жизненно важные дляРецепторы MOCVDи другие точные приложения.

3. Отличная коррозионная стойкость:Устойчив к воздействию кислот, щелочей, солей и различных органических реагентов.

4. Повышенная твердость поверхности:Плотная поверхность с мелкими частицами, обеспечивающая большую прочность и долговечность.

5. Увеличенный срок службы:Разработаны для обеспечения стабильной работы, превосходящей стандартные токоприемники с покрытием из карбида кремния в жестких условиях обработки.

Будучи ведущим производителем, VET Energy специализируется на изготовлении графита по индивидуальному заказу иизделия из карбида кремнияс различными вариантами покрытия, в том числеПокрытие SiC, покрытие TaC, стеклоуглеродное покрытиеи пиролитическое углеродное покрытие. Мы с гордостью обслуживаем полупроводниковую и фотоэлектрическую промышленность, поставляя графитовые токоприемники с покрытием из карбида кремния, которые отвечают особым эксплуатационным требованиям.

Наша техническая команда, имеющая опыт работы в ведущих отечественных научно-исследовательских институтах, стремится разрабатывать решения в области материалов для удовлетворения меняющихся потребностейГрафитовый токоприемник с покрытием SiCрынок. Благодаря нашему запатентованному процессу компания VET Energy разработала уникальную технологию, которая значительно улучшает прочность связи между покрытием из карбида кремния и подложкой, снижая риск отслоения и повышая долгосрочную надежность.

Применение и преимущества в обработке полупроводников

TheПокрытие SiC для MOCVDпозволяетграфитовый токоприемниккомпоненты для поддержания целостности в условиях высоких температур и коррозионных сред, что жизненно важно для производства прецизионных полупроводников. Эти графитовые компоненты с покрытием SiC особенно ценятся в процессах, требующих токоприемников с покрытием из карбида кремния дляграфитовые пластинчатые носители, которые требуют высокой термической стабильности, чистоты и устойчивости к химической эрозии.

Благодаря нашим передовым технологиям нанесения покрытий из карбида кремния компания VET Energy продолжает поддерживать рынок графитовых носителей пластин, поставляя индивидуальные, высокопроизводительные решения.Графитовые токоприемники с покрытием SiCкоторые решают специфические для отрасли задачи: от процессов MOCVD до высокочистых приложений в области полупроводников.