Графитовая подложка с покрытием из карбида кремния для полупроводников, MOCVD-подложка.

Краткое описание:

Покрытие из карбида кремния VET Energy SiC Coated Susceptor — это высокоэффективный продукт, разработанный для обеспечения стабильной и надежной работы в течение длительного периода времени. Оно обладает превосходной термостойкостью и равномерностью распределения тепла, высокой чистотой и устойчивостью к эрозии, что делает его идеальным решением для обработки кремниевых пластин.

Место происхождения:Чжэцзян, Китай (материк)

Химический состав:графит, покрытый карбидом кремния

Прочность на изгиб:470 МПа

Теплопроводность:300 Вт/мК

Качество:Идеальный

Функция:CVD-SiC

Приложение:Полупроводниковые/фотоэлектрические элементы

Плотность:3,21 г/см³

Тепловое расширение:4 10-6/K

Пепел: <5 ppm

Образец:Доступно

Код ТН ВЭД:6903100000

Отправьте нам электронное письмо Скачать в формате PDF

Подробная информация о товаре

Метки товаров

Токоприемник с карбид-оксидным покрытием VET EnergyЭто высокоэффективное решение, тщательно разработанное для обеспечения надежной и стабильной работы в течение длительного срока службы, отвечающее строгим требованиям полупроводникового производства. Обладая исключительной термостойкостью, превосходной равномерностью распределения тепла и высокой чистотой, этот продукт идеально подходит для носителей пластин MOCVD и других применений в обработке пластин, требующих стабильности и точности. Его высокая устойчивость к эрозии делает его первоклассным выбором для сред, где долговечность и химическая стойкость имеют первостепенное значение.

НашГрафитовый сусцептор с покрытием из карбида кремнияЭтот материал является важнейшим компонентом в процессе производства полупроводников, используя эксклюзивную запатентованную технологию VET Energy для достижения чрезвычайно высокой чистоты, превосходной однородности покрытия и замечательной термической стабильности. Покрытие повышает химическую стойкость графитовой подложки и значительно увеличивает срок ее службы. Приверженность VET Energy качеству привела к созданию SiC-покрытого подложки, отвечающего меняющимся потребностям рынка графитовых подложек, устанавливая высокий стандарт для SiC-покрытых графитовых подложек, используемых впроцессы MOCVD.

Основные характеристики суцепторов с покрытием из карбида кремния:

1. Устойчивость к высокотемпературному окислению:Выдерживает температуру до 1700℃, что делает его пригодным для экстремальных условий обработки.

2. Высокая чистота и термическая однородность:Обеспечивает стабильные результаты, что крайне важно дляMOCVD-сусцепторыи другие высокоточные приложения.

3. Превосходная коррозионная стойкость:Устойчив к кислотам, щелочам, солям и различным органическим реагентам.

4. Повышенная твердость поверхности:Плотная поверхность с мелкими частицами, обеспечивающая повышенную прочность и долговечность.

5. Увеличенный срок службы:Разработаны для стабильной работы, превосходя по характеристикам стандартные подложки с покрытием из карбида кремния в жестких технологических условиях.

Компания VET Energy, являясь ведущим производителем, специализируется на изготовлении графита по индивидуальному заказу.изделия из карбида кремнияс различными вариантами покрытия, в том числеПокрытие из карбида кремния, покрытие TaC, стекловидное углеродное покрытиеи пиролитическое углеродное покрытие. Мы с гордостью обслуживаем полупроводниковую и фотоэлектрическую отрасли, поставляя графитовые подложки с покрытием из карбида кремния, отвечающие конкретным эксплуатационным требованиям.

Наша техническая команда, обладающая опытом работы в ведущих отечественных научно-исследовательских институтах,致力于 продвижению материальных решений для удовлетворения меняющихся потребностейГрафитовый сусцептор с покрытием из карбида кремниярынок. Благодаря запатентованной технологии компания VET Energy разработала уникальное решение, которое значительно улучшает прочность сцепления между покрытием из карбида кремния и подложкой, снижая риск отслоения и повышая долговременную надежность.

Области применения и преимущества в полупроводниковой промышленности

ОнПокрытие из карбида кремния для MOCVDвключаетграфитовый сусцепторКомпоненты, сохраняющие целостность в условиях высоких температур и агрессивных сред, что крайне важно для производства прецизионных полупроводников. Эти графитовые компоненты с покрытием из карбида кремния особенно ценятся в процессах, требующих использования подложек с покрытием из карбида кремния.графитовые держатели пластин, которые требуют высокой термической стабильности, чистоты и устойчивости к химической эрозии.

Благодаря передовым технологиям нанесения покрытий из карбида кремния, компания VET Energy продолжает поддерживать рынок графитовых подложек, предлагая высокоэффективные решения, разработанные с учетом индивидуальных потребностей.Графитовые сусцепторы с покрытием из карбида кремниякоторые решают специфические отраслевые задачи, от процессов MOCVD до применения высокочистых материалов в полупроводниковой промышленности.