Графитовый токоприемник с покрытием из карбида кремния для травления светодиодов

Краткое описание:

Карбидокремниевый токоприемник для травления светодиодов (SiC-лоток) — это специальная принадлежность для глубокого травления кремния (машина для травления ICP). носитель пластин, также известный как носитель пластин, носитель кремниевых пластин, также известный как карманная пластина. Широко используется в полупроводниковом химическом осаждении из газовой фазы и вакуумном напылении.


Подробности продукта

Теги продукта

Токоприемник с покрытием из карбида кремнияa ключкомпонент, используемый в различных процессах производства полупроводников.Мы используем нашу запатентованную технологию для изготовления токоприемника с покрытием из карбида кремниячрезвычайно высокая чистота,хорошийпокрытиеоднородностьи отличный срок службы, а такжевысокие свойства химической стойкости и термической стабильности.

VET Энергия - это настоящий производитель индивидуальных изделий из графита и карбида кремния с покрытием CVD,может поставлятьразличныйиндивидуальные детали для полупроводниковой и фотоэлектрической промышленности. OНаша техническая команда состоит из ведущих отечественных научно-исследовательских институтов, которые могут предложить более профессиональные решения в области материалов.для тебя.

Мы постоянно разрабатываем передовые процессы для предоставления более совершенных материалов,иразработали эксклюзивную запатентованную технологию, которая позволяет сделать сцепление покрытия с основой более прочным и менее подверженным отслоению.

FОсобенности нашей продукции:

1. Стойкость к высокотемпературному окислению до 1700°С..
2. Высокая чистота итепловая однородность
3. Отличная коррозионная стойкость: кислоты, щелочи, соли и органические реагенты.
4. Высокая твердость, плотная поверхность, мелкие частицы.
5. Более длительный срок службы и большая прочность

ССЗ SiC薄膜基本物理性能

Основные физические свойства CVD SiCпокрытие

性质 / Свойство

典型数值 / Типичное значение

晶体结构 / Кристаллическая структура

FCC β фаза多晶,主要为(111)取向

密度 / Плотность

3,21 г/см³

硬度 / Твёрдость

2500 维氏硬度 (загрузка 500 г)

晶粒大小 / Размер зерна

2~10мкм

纯度 / Химическая чистота

99,99995%

热容 / Теплоемкость

640 Дж·кг-1·К-1

升华温度 / Температура сублимации

2700℃

抗弯强度 / Прочность на изгиб

415 МПа RT 4-точечный

杨氏模量 / Модуль Юнга

430 ГПа 4-точечный изгиб, 1300℃

导热系数 / ТермалПроводимость

300Вт·м-1·К-1

热膨胀系数 / Тепловое расширение (КТР)

4,5×10-6K-1

1

2

Приглашаем Вас посетить наш завод и обсудить детали!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Предыдущий:
  • Следующий:

  • Онлайн-чат WhatsApp!