Лодочка из перекристаллизованной кремниевой карбидной пластины с CVD-покрытием

Краткое описание:

Рекристаллизованные кремниевые карбидные пластины VET Energy в форме лодочки — это высокоэффективный продукт, разработанный для обеспечения стабильной и надежной работы в течение длительного периода времени. Они обладают превосходной термостойкостью и равномерностью распределения тепла, высокой чистотой и устойчивостью к эрозии, что делает их идеальным решением для обработки кремниевых пластин.


Подробная информация о товаре

Метки товаров

Свойства рекристаллизованного карбида кремния

Рекристаллизованный карбид кремния (R-SiC) — это высокоэффективный материал, по твердости уступающий только алмазу, который образуется при высокой температуре выше 2000℃. Он сохраняет многие превосходные свойства SiC, такие как высокая термостойкость, высокая коррозионная стойкость, отличная стойкость к окислению, хорошая термостойкость и т.д.

● Превосходные механические свойства. Рекристаллизованный карбид кремния обладает большей прочностью и жесткостью, чем углеродное волокно, высокой ударопрочностью, хорошо работает в условиях экстремальных температур, обеспечивает лучшую балансировку в различных ситуациях. Кроме того, он обладает хорошей гибкостью и не подвержен повреждениям при растяжении и изгибе, что значительно улучшает его характеристики.

● Высокая коррозионная стойкость. Рекристаллизованный карбид кремния обладает высокой коррозионной стойкостью к различным средам, предотвращает эрозию под воздействием различных агрессивных сред, сохраняет свои механические свойства в течение длительного времени, обладает сильной адгезией, что обеспечивает более длительный срок службы. Кроме того, он обладает хорошей термической стабильностью, может адаптироваться к определенному диапазону температурных изменений, что повышает эффективность его применения.

● Спекание не вызывает усадки. Поскольку в процессе спекания не происходит усадки, остаточные напряжения не вызывают деформации или растрескивания изделия, что позволяет изготавливать детали сложной формы и высокой точности.

IMG_9497
IMG_9503

重结晶碳 и 硅物理特性

Физические свойства перекристаллизованного карбида кремния

性质 / Свойство

典型数值 / Типичное значение

使用温度/ Рабочая температура (°C)

1600 °C (с кислородом), 1700 °C (восстановительная среда)

SiC含量/ Содержание SiC

> 99,96%

自由Си含量/ Содержание свободного Si

< 0,1%

体积密度/Объемная плотность

2,60-2,70 г/см³3

气孔率/ Кажущаяся пористость

< 16%

抗压强度/ Прочность на сжатие

> 600МПа

常温抗弯强度/Прочность на изгиб в холодном состоянии

80-90 МПа (20°C)

高温抗弯强度Прочность на горячую гибку

90-100 МПа (1400°C)

热膨胀系数Тепловое расширение при 1500°C

4.70 10-6/°C

导热系数/Теплопроводность при 1200 °C

23Вт/м•К

杨氏模量Модуль упругости

240 ГПа

抗热震性Устойчивость к термическому удару

Очень хорошо

VET Energy — это тотНастоящий производитель изделий из графита и карбида кремния, изготовленных по индивидуальному заказу с использованием CVD-покрытия.может поставлятьразличныйИзготовление деталей на заказ для полупроводниковой и фотоэлектрической промышленности. OНаша техническая команда состоит из специалистов ведущих отечественных научно-исследовательских институтов, что позволяет нам предлагать более профессиональные решения в области материалов.для тебя.

Мы постоянно совершенствуем технологические процессы для производства более совершенных материалов.иРазработана эксклюзивная запатентованная технология, позволяющая сделать сцепление между покрытием и подложкой более прочным и менее склонным к отслоению.

ССВ SiC薄膜基本物理性能

Основные физические свойства CVD SiCпокрытие

性质 / Свойство

典型数值 / Типичное значение

晶体结构 Кристаллическая структура

β-фаза ГЦК多晶,主要为(111)取向

密度 / Плотность

3,21 г/см³

硬度 / Твердость

2500 维氏硬度 (загрузка 500 г)

晶粒大小 / Размер зерна

2–10 мкм

纯度 / Химическая чистота

99,99995%

热容 / Теплоемкость

640 Дж·кг-1·К-1

升华温度 Температура сублимации

2700℃

抗弯强度 / Прочность на изгиб

415 МПа RT 4-точечный

杨氏模量 Модуль Юнга

4-точечный изгиб 430 ГПа, 1300℃

导热系数 / ТермалПроводимость

300 Вт·м-1·К-1

热膨胀系数 / Коэффициент теплового расширения (КТР)

4,5×10-6K-1

1

2

Мы будем рады видеть вас на нашем заводе, давайте обсудим все подробности!

生产设备

 

公司客户

 


  • Предыдущий:
  • Следующий:

  • Онлайн-чат в WhatsApp!