Лодка из высокочистого кварца для обработки кремниевых пластин

Кварцевая вафельная лодкаЭто ключевой инструмент в производстве полупроводников, фотоэлектрических элементов и передовых материалов, предназначенный для стабильной передачи и позиционирования пластин в высокотемпературных процессах. Изделие изготовлено из сверхчистого плавленого кварца (SiO2), обладающего превосходной термостойкостью, химической стабильностью и сверхнизким содержанием металлических примесей. Подходит для диффузионных печей, оксидных печей, PECVD/LPCVD и другого оборудования, широко используется в процессах нанесения покрытий на пластины, ионной имплантации, высокотемпературного отжига и других основных процессах.

Основные преимущества кварцевого катера VET Energy:

• Материал сверхвысокой чистоты
  Чистота ≥99,99%: содержание примесей (Na, K, Fe и др.) <5 ppm, что предотвращает загрязнение пластин и гарантирует выход годных чипов.
  Низкое осаждение и адсорбция: поверхность отполирована до сверхвысокой шероховатости (Ra≤0,4 мкм) для уменьшения адгезии частиц и остаточного содержания газа.
• Высокая термостойкость
  Температурный предел: длительная рабочая температура 1100℃, кратковременный пик 1300℃, отсутствие деформации, отсутствие осаждения кристаллов.
  Низкий коэффициент теплового расширения (5,5 х 10⁻⁷/℃), превосходная термостойкость, пригодность для процессов быстрого повышения и понижения температуры (например, быстрого отжига RTP).
• Точное проектирование конструкции
  Точность зазора ±0,1 мм: соответствие пластин размером от 2 до 12 дюймов, погрешность равномерности зазора <0,05 мм, что гарантирует отсутствие смещения пластин.
  Высокая грузоподъемность: максимальная загрузка 50 пластин (в пересчете на 12-дюймовые пластины) в одном лотке, обеспечивающая стабильную передачу тонких пластин (≥100 мкм).
• Химическая инертность
  Коррозионная стойкость: Устойчивость к воздействию кислот (кроме HF), щелочей и органических растворителей, совместимость с процессом химико-механической полировки (CMP).
  Превосходная газонепроницаемость: скорость утечки <5x10⁻¹⁰ Па·м³/с, подходит для вакуумной среды и сред с защитными газами.
• Долгий срок службы и простота обслуживания
  Срок службы ≥ 5000 циклов (в нормальных условиях эксплуатации), поверхность можно многократно чистить и использовать, что снижает общие затраты.
  Модульная конструкция: позволяет производить частичную замену (например, одного зуба в форме лодки), сокращая время простоя.

Мы предлагаем как прозрачные, так и матовые поверхности в соответствии с требованиями заказчика:

Компания Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd. — высокотехнологичное предприятие, специализирующееся на производстве и продаже высококачественных современных материалов, включая графит, карбид кремния, керамику, а также на обработке поверхностей, такой как покрытия SiC, TaC, стеклоуглерод, пиролитический углерод и др. Эти продукты широко используются в фотовольтаике, полупроводниковой промышленности, возобновляемой энергетике, металлургии и других отраслях.

Наша техническая команда состоит из специалистов ведущих отечественных научно-исследовательских институтов, разработала множество запатентованных технологий, гарантирующих производительность и качество продукции, а также может предложить клиентам профессиональные решения в области материалов.