1. Tekonolosi fa'aopoopo o le pauta carbide silicon
O le fa'aopoopoina o se aofa'iga talafeagai o le elemene Ce i le pauta silicon carbide e mafai ona ausia ai le aafiaga o le tuputupu a'e mautu o le foliga tioata e tasi o le 4H-SiC. Ua fa'aalia e le poto masani o le fa'aopoopoina o elemene Ce i mea pauta e mafai ona fa'ateleina ai le saoasaoa o le tuputupu a'e o tioata silicon carbide, ma fa'avave ai le tuputupu a'e o tioata. E mafai ona pulea le fa'atulagaina o le silicon carbide, ma fa'atulaga ai le itu e tuputupu a'e ai le tioata. Taofia ai le gaosia o mea leaga i tioata, fa'aitiitia ai le fausiaina o fa'aletonu, ma fa'afaigofie ai ona maua ni tioata foliga tioata e tasi ma tioata maualuga. E mafai ona taofia ai le 'ele i tua o le tioata ma fa'ateleina ai le saoasaoa o le tioata e tasi o le tioata.
2. Tekinolosi pulea o le gradient o le fanua vevela axial ma radial
O le axial temperature gradient e aʻafia ai le foliga o le tuputupu aʻe o le tioata ma le lelei o le tuputupu aʻe o le tioata. O le laʻititi tele o le vevela o le a iʻu ai i le aliali mai o heterocrystals i le taimi o le faagasologa o le tuputupu aʻe o le tioata ma e aʻafia ai foʻi le saoasaoa o felauaiga o mea kesi, ma iʻu ai i le faʻaitiitia o le saoasaoa o le tuputupu aʻe o le tioata. O le axial ma le radial temperature gradients talafeagai e faʻafaigofie ai le tuputupu aʻe vave o tioata SiC ma faʻatumauina le mautu o le lelei o le tioata.
3. Tekinolosi pulea o le dislocation o le vaalele autu (BPD)
O le mafuaʻaga autū o le faʻavaeina o le faʻaletonu o le BPD ona o le mamafa o le shear i totonu o le tioata e sili atu nai lo le mamafa o le shear taua o leKirisitala SiC, e oʻo atu ai i le faʻagaoioia o le faiga o le slip. Talu ai ona o le BPD e faʻasaga saʻo i le itu e tuputupu aʻe ai le tioata, e tele lava ina gaosia i le taimi o le faagasologa o le tuputupu aʻe o le tioata ma le faagasologa mulimuli ane o le faʻamālūlūina o le tioata.
4. Fa'atonutonuina o le fua fa'atatau o vaega o le kesi ma tekinolosi pulea
I le faagasologa o le tuputupu aʻe o le tioata, o le faʻateleina o le fua faatatau o le carbon-silicon ma le fua faatatau o le vaega o le kesi i le siosiomaga tuputupu aʻe o se fua lelei lea e ausia ai le tuputupu aʻe mautu o se foliga tioata e tasi. Talu ai o le fua faatatau maualuga o le carbon-silicon e mafai ona faʻaitiitia ai le laʻasaga tele o le coalescence ma faʻatumauina le tofi o faʻamatalaga tuputupu aʻe i luga o le fogāeleele o le fatu tioata, e mafai ona taofia ai le polymorphism.
5. Tekinolosi pulea maualalo-mafaufau
I le taimi o le faagasologa o le tuputupu aʻe o le tioata, o le iai o le atuatuvale e mafai ona mafua ai ona faaleagaina vaega o tioata i totonu o le tioata.SiCe pi'o, ma i'u ai i le leaga o le tulaga o le tioata ma e o'o lava i le māvaevae o le tioata. E le gata i lea, o le tele o le mamafa e mafai ona o'o atu ai i le fa'ateleina o le fe'avea'i i le vaega autu o le wafer. O nei fa'aletonu e mafai ona ulufale atu i le vaega epitaxial i le taimi o le fa'agasologa o le epitaxial, ma a'afia ai le fa'atinoga o le masini i le la'asaga mulimuli ane.
O nisi nei o auala e faʻaleleia atili ai le faʻagasologa mo le faʻaitiitia o le atuatuvale i totonu o le tioata:
1. Fetuuna'i le tufatufaina atu o le vevela o le fanua ma fa'asologa o le faagasologa e mafai ai ona fa'atino le SiC e tasituputupu aʻe o le tioataia fa'agasolo i lalo o tulaga e latalata i le paleni pe a mafai.
2. Fa'aleleia le fausaga ma le foliga o le ogaumu ina ia mafai ai e le tioata ona ola sa'oloto e aunoa ma se fa'alavelave.
3. E tusa ai ma le fa'amautuina o le kirisitala o fatu, sui le faiga o le fa'amautuina e fa'aitiitia ai le eseesega i le fa'alauteleina o le vevela i le va o le kirisitala o fatu ma le mea e uu ai le karapite i le taimi o le fa'avevela, ma fa'aitiitia ai le mamafa i totonu i totonu o le kirisitala e tasi 4H-SiC. O se auala masani o le tu'u lea o se va e 2 mm i le va o le kirisitala o fatu ma le mea e uu ai le karapite.
4. Suia le faagasologa o le fa'amafanafanaina o le tioata e ala i le fa'atinoina o le fa'amafanafanaina i le ogaumu mo le tioata. Fetuuna'i le vevela ma le umi o le fa'amafanafanaina e fa'asa'oloto atoa ai le atuatuvale i totonu o le tioata.
I le vaʻavaʻai atu i le lumanaʻi, o le a atiaʻe le tekinolosi maualuga o le sauniuniga o le silicon carbide (SiC) single crystal i ni vaega autū se tele:
1. Fa'ateleina le tele o le wafer: Ua alualu i luma le lautele o le tioata SiC mai milimita muamua i le 6-inisi, 8-inisi, ma e o'o lava i wafer tetele e 12-inisi. O le sauniaina o tioata SiC tetele e fa'aleleia atili ai le lelei o le gaosiga, fa'aitiitia ai tau, ma fa'afetaui ai mana'oga o masini malolosi.
2. Fa'aleleia atili o le tulaga lelei o le tioata: E taua tele tioata SiC maualuga le tulaga mo masini e maualuga le fa'atinoga. E ui ina ua i ai ni alualu i luma taua, ae o lo'o i ai pea ni fa'aletonu e pei o paipa laiti, se'e ese, ma mea leaga, ma a'afia ai le fa'atinoga ma le fa'atuatuaina o le masini.
3. Fa'aitiitia o tau o gaosiga: O le tau maualuga o le sauniuniga o le tioata SiC e fa'atapula'aina ai lona fa'aogaina i nisi o vaega. E mafai ona ausia le fa'aitiitia o tau e ala i le fa'aleleia atili o faiga o le tuputupu a'e, fa'aleleia atili o le lelei o le gaosiga, ma fa'aitiitia ai tupe fa'aalu mo mea mata.
4. Fa'atinoina o le gaosiga atamai: Faatasi ai ma le alualu i luma i le AI ma fa'amaumauga tetele, o le a fa'ateleina le taliaina e le tekinolosi tuputupu a'e o le tioata SiC le atamai. O le mata'ituina ma le pulea i le taimi moni e ala i masini fa'alogo ma faiga fa'atonutonu otometi e fa'aleleia atili ai le mautu ma le pulea o le faagasologa. I le taimi lava e tasi, o le fa'aaogaina o auiliiliga o fa'amaumauga tetele e fa'aleleia atili ai fa'amaumauga tuputupu a'e, ma fa'aleleia atili ai le lelei o le tioata ma le lelei o le gaosiga.
O le tekinolosi o le sauniuniga o tioata silicon carbide e maualuga le tulaga lelei o se tasi lea o vaega autu o suʻesuʻega i mea semiconductor. Faatasi ai ma le alualu i luma faifai pea o tekinolosi, o le a faaauau pea ona atiina ae ma faaleleia atili le tekinolosi o le tuputupu ae o tioata silicon carbide, ma maua ai se faavae mautu mo le faaaogaina o le silicon carbide i le vevela maualuga, televave maualuga, malosiaga maualuga ma isi vaega.
Taimi na lafoina ai: Iulai-10-2025