1. Theknoloji ea ho sebelisa phofo ea silicon carbide
Ho sebelisa tekanyo e loketseng ea karolo ea Ce ka har'a phofo ea silicon carbide ho ka fihlella phello ea kholo e tsitsitseng ea mofuta o le mong oa kristale oa 4H-SiC. Phihlelo e sebetsang e bontšitse hore ho sebelisa metsoako ea Ce ka har'a thepa ea phofo ho ka eketsa sekhahla sa kholo ea likristale tsa silicon carbide, ho etsa hore likristale li hole ka potlako. Tsela eo silicon carbide e shebaneng ka eona e ka laoloa, e leng se etsang hore tataiso ea kholo ea kristale e tšoane haholoanyane le e tloaelehileng. Thibela tlhahiso ea litšila likristale, fokotsa ho thehoa ha liphoso, 'me u nolofatse ho fumana likristale tsa mofuta o le mong oa kristale le likristale tsa boleng bo holimo. E ka thibela ho bola ka morao ho kristale le ho eketsa sekhahla sa kristale e le 'ngoe ea kristale.
2.Theknoloji ea taolo ea gradient ea tšimo ea mocheso oa Axial le radial
Mocheso o bataletseng o ama haholo sebopeho sa kgolo ya kristale le bokgoni ba kgolo ya kristale. Mocheso o bataletseng o tla lebisa ponahalong ya dikristale tse nyane nakong ya tshebetso ya kgolo ya kristale mme hape o ama sekgahla sa ho tsamaiswa ha dintho tse nang le kgase, e leng se fellang ka phokotseho ya sekgahla sa kgolo ya kristale. Mocheso o bataletseng o bataletseng le o bataletseng o thusa kgolo e potlakileng ya dikristale tsa SiC le ho boloka botsitso ba boleng ba kristale.
3. Theknoloji ea taolo ea ho falla ha sefofane (BPD) ea motheo
Sesosa se seholo sa ho thehoa ha sekoli sa BPD ke hore khatello ea shear ka har'a kristale e feta khatello ea bohlokoa ea shear eaKristale ea SiC, e lebisang ho kenngweng tshebetsong ha sistimi ya ho thella. Hobane BPD e shebane le tataiso ya kgolo ya kristale, e hlahiswa haholoholo nakong ya tshebetso ya kgolo ya kristale le tshebetso ya ho phodisa kristale hamorao.
4. Taolo le taolo ea karolelano ea karolo ea khase
Mokgweng wa kgolo ya kristale, ho eketsa karolelano ya carbon-silicon le karolelano ya karolo ya kgase tikolohong ya kgolo ke mohato o sebetsang wa ho fihlella kgolo e tsitsitseng ya foromo e le nngwe ya kristale. Hobane karolelano e phahameng ya carbon-silicon e ka fokotsa ho kopana ha mehato e meholo mme ya boloka lefa la tlhahisoleseding ya kgolo hodima bokahodimo ba kristale ya peo, e ka thibela polymorphism.
5.Theknoloji ea taolo ea khatello e tlase
Nakong ea ts'ebetso ea kholo ea kristale, boteng ba khatello ea maikutlo bo ka baka lifofane tsa kristale tsa ka hare tsaSiCho kobeha, e leng se fellang ka boleng bo bobe ba kristale le ho petsoha ha kristale. Ho feta moo, kgatello e kgolo e ka lebisa keketsehong ya ho falla ha karolo e ka tlase ya wafer. Diphoso tsena di ka kena lera la epitaxial nakong ya tshebetso ya epitaxial, mme tsa ama tshebetso ya sesebediswa haholo mohatong wa morao.
Mona ke mekhoa e 'maloa ea ho ntlafatsa ts'ebetso ea ho fokotsa khatello ea maikutlo ka har'a kristale:
1. Fetola kabo ea tšimo ea mocheso le liparamente tsa ts'ebetso ho nolofalletsa SiC e le 'ngoekholo ea kristaleho tswela pele tlasa maemo a haufi le tekatekano kamoo ho ka kgonehang.
2. Ntlafatsa sebopeho le sebopeho sa ho tjhesa mollo ho dumella kristale ho hola ka bolokolohi kamoo ho ka kgonehang boemong bo sa thibelwang.
3. Mabapi le ho tiea ha kristale ea peo, fetola mokhoa oa ho tiea ho fokotsa phapang ea li-coefficients tsa katoloso ea mocheso pakeng tsa kristale ea peo le sehokelo sa graphite nakong ea ho futhumatsa, ka hona fokotsa khatello ea ka hare ka har'a kristale e le 'ngoe ea 4H-SiC. Mokhoa o tloaelehileng ke ho siea sekheo sa 2 mm pakeng tsa kristale ea peo le sehokelo sa graphite.
4. Fetola mokhoa oa ho hoamisa kristale ka ho kenya tšebetsong hoamisa ho pholileng ka ontong bakeng sa kristale. Fetola mocheso oa ho annealing le nako ea ho lokolla khatello ea ka hare ka botlalo ka har'a kristale.
Ha re sheba pele, theknoloji ea boleng bo holimo ea ho lokisa kristale e le 'ngoe ea silicon carbide (SiC) e tla nts'etsapele ka litsela tse 'maloa tsa bohlokoa:
1. Ho eketsa boholo ba wafer: Bophara ba kristale ea SiC bo tsoetse pele ho tloha ho limilimithara tsa pele ho ea ho li-wafer tsa hona joale tsa lisenthimithara tse 6, lisenthimithara tse 8, le tse kholoanyane tsa lisenthimithara tse 12. Ho lokisa likristale tse kholoanyane tsa SiC ho ntlafatsa katleho ea tlhahiso, ho fokotsa litšenyehelo, le ho fihlela litlhoko tsa lisebelisoa tse matla haholo.
2. Ho ntlafatsa boleng ba kristale: Likristale tsa SiC tsa boleng bo holimo li bohlokoa bakeng sa lisebelisoa tse sebetsang hantle. Leha ho entsoe tsoelo-pele e kholo, liphoso tse kang liphaephe tse nyane, ho falla le litšila li ntse li tsoela pele, tse amang ts'ebetso ea sesebelisoa le ts'epo.
3. Ho fokotsa litšenyehelo tsa tlhahiso: Litšenyehelo tse phahameng tsa ho lokisa kristale ea SiC li fokotsa ts'ebeliso ea eona masimong a itseng. Phokotso ea litšenyehelo e ka finyelloa ka ho ntlafatsa lits'ebetso tsa kholo, ho ntlafatsa katleho ea tlhahiso, le ho fokotsa litšenyehelo tsa thepa e tala.
4. Ho kenya tshebetsong tlhahiso e bohlale: Ka kgatelopele ho AI le big data, theknoloji ya kgolo ya kristale ya SiC e tla amohela bohlale ka ho eketsehileng. Ho beha leihlo le taolo ka nako ya sebele ka di-sensor le ditsamaiso tsa taolo tse iketsahallang ho ntlafatsa botsitso ba tshebetso le taolo. Ka nako e ts'oanang, ho sebedisa di-analytics tsa big data ho ntlafatsa data ya kgolo, ka hona ho ntlafatsa boleng ba kristale le bokgoni ba tlhahiso.
Theknoloji ea ho lokisa likristale tse le 'ngoe tsa silicon carbide tsa boleng bo holimo ke e 'ngoe ea libaka tse chesang haholo lipatlisisong tsa thepa ea semiconductor. Ka tsoelo-pele e tsoelang pele ea theknoloji, theknoloji ea kholo ea kristale ea silicon carbide e tla tsoela pele ho nts'etsapele le ho ntlafala, e fana ka motheo o tiileng haholoanyane bakeng sa ts'ebeliso ea silicon carbide masimong a mocheso o phahameng, maqhubu a phahameng, matla a phahameng le a mang.
Nako ea poso: Phupu-10-2025