1. Teknụzụ doping ntụ ntụ silicon carbide
Ịtinye ihe ruru eru nke Ce na ntụ silicon carbide nwere ike ime ka uto kwụsiri ike nke otu ụdị kristal nke 4H-SiC pụta ìhè. Ahụmịhe bara uru egosila na itinye ihe ndị dị na Ce na ihe ntụ ntụ nwere ike ime ka ọnụego uto nke kristal silicon carbide dịkwuo elu, na-eme ka kristal ahụ too ngwa ngwa. Enwere ike ijikwa nhazi nke silicon carbide, na-eme ka ntụziaka uto kristal dịkwuo otu ma na-adịgide adịgide. Na-egbochi mmepụta nke ihe ndị na-adịghị ọcha na kristal, na-ebelata nhazi nke ntụpọ, ma mee ka ọ dịrị mfe inweta kristal ụdị kristal na kristal dị elu. Ọ nwere ike igbochi ire ere n'azụ kristal ahụ ma mee ka ọnụego kristal otu kristal dịkwuo elu.
2. Teknụzụ njikwa ọnọdụ okpomọkụ nke mpaghara Axial na radial
Oke okpomọkụ axial na-emetụtakarị ụdị uto kristal na arụmọrụ uto kristal. Obere oke okpomọkụ ga-eduga na ọdịdị nke heterocrystals n'oge usoro uto kristal ma na-emetụtakwa ọnụego mbufe nke ihe gas, na-ebute mbelata na ọnụego uto kristal. Oke okpomọkụ axial na radial kwesịrị ekwesị na-eme ka uto ngwa ngwa nke kristal SiC dịkwuo mma ma na-eme ka ịdị mma kristal kwụsie ike.
3. Teknụzụ njikwa nkesa ụgbọelu (BPD)
Isi ihe kpatara mmebi BPD bụ na nrụgide shear dị na kristal karịrị nrụgide shear dị oke mkpa nkeKristal SiC, na-eduga n'ịrụ ọrụ nke sistemụ mmịpụta ahụ. Ebe ọ bụ na BPD dị n'akụkụ uto kristal ahụ, a na-emepụta ya karịsịa n'oge usoro uto kristal na usoro oyi kristal na-esote.
4. Usoro nhazi na njikwa nke akụkụ gas
N'usoro uto kristal, ịbawanye oke carbon-silicon na oke akụkụ gas-phase na gburugburu uto bụ ihe dị irè iji nweta uto kwụsiri ike nke otu ụdị kristal. N'ihi na oke carbon-silicon dị elu nwere ike ibelata oke njikọ ukwu ma nọgide na-enwe ihe nketa nke ozi uto na elu kristal mkpụrụ, ọ nwere ike igbochi polymorphism.
5. Teknụzụ njikwa nrụgide dị ala
N'oge usoro uto kristal, ọnụnọ nke nrụgide nwere ike ibute mbara ala kristal dị n'ime nkeSiCịgbagọ, na-ebute adịghị mma na ịdị mma kristal na ọbụna mgbawa kristal. Ọzọkwa, nnukwu nrụgide nwere ike ibute mmụba na mgbagọ na isi ala nke wafer. Nrụhie ndị a nwere ike ịbanye na akwa epitaxial n'oge usoro epitaxial, na-emetụta arụmọrụ nke ngwaọrụ ahụ n'ọkwa ikpeazụ.
Lee ọtụtụ ụzọ iji melite usoro maka ibelata nrụgide n'ime kristal ahụ:
1. Gbanwee nkesa okpomọkụ na paramita usoro iji mee ka SiC rụọ ọrụuto kristalịga n'ihu n'ọnọdụ dị nso na nguzozi dịka o kwere mee.
2. Mee ka usoro na ọdịdị nke ihe mkpuchi ahụ ka mma ka kristal ahụ too nke ọma dịka o kwere mee n'ọnọdụ enweghị mmachi.
3. Banyere nhazi kristal mkpụrụ, gbanwee usoro nhazi iji belata ọdịiche dị na njikọta mgbasa okpomọkụ dị n'etiti kristal mkpụrụ na onye na-ejide graphite n'oge ikpo ọkụ, si otú a belata nrụgide dị n'ime kristal otu 4H-SiC. Ụzọ a na-emekarị bụ ịhapụ oghere 2 mm n'etiti kristal mkpụrụ na onye na-ejide graphite.
4. Gbanwee usoro nhazi kristal site n'itinye nhazi oyi nke e ji ọkụ mee maka kristal ahụ. Gbanwee okpomọkụ na oge nhazi iji wepụta nrụgide dị n'ime kristal ahụ kpamkpam.
N'ile anya n'ihu, teknụzụ nkwadebe kristal silicon carbide dị elu (SiC) ga-etolite n'ọtụtụ ntụziaka dị mkpa:
1. Ịkwalite nha wafer: Dayameta kristal SiC agafeela site na milimita mbụ ruo na wafers nke dị sentimita isii, sentimita asatọ, na ọbụna nke ka ibu karịa nke dị sentimita iri na abụọ. Ịkwadebe kristal SiC buru ibu na-eme ka mmepụta arụmọrụ dịkwuo mma, na-ebelata ọnụ ahịa, ma na-emezu ihe achọrọ nke ngwaọrụ ndị nwere ike dị elu.
2. Imeziwanye mma kristal: kristal SiC dị elu dị oke mkpa maka ngwaọrụ ndị nwere arụmọrụ dị elu. Ọ bụ ezie na e nweela ọganihu dị ukwuu, ntụpọ dịka obere paịpụ, mwepụ, na ihe ndị na-adịghị ọcha ka dịgidere, na-emetụta arụmọrụ na ntụkwasị obi nke ngwaọrụ ahụ.
3. Ibelata ọnụ ahịa mmepụta: Ọnụ ego dị elu nke nkwadebe kristal SiC na-ebelata ojiji ya n'akụkụ ụfọdụ. Enwere ike ime ka mbelata ọnụ ahịa dị site na ime ka usoro uto dịkwuo mma, ime ka arụmọrụ mmepụta dịkwuo mma, na ibelata mmefu ihe eji emepụta ihe.
4. Imejuputa mmepụta nwere ọgụgụ isi: Site na ọganihu na AI na nnukwu data, teknụzụ uto kristal SiC ga-eji ọgụgụ isi na-anabatawanye. Nlekota na njikwa oge a site na sensọ na sistemụ njikwa akpaaka na-eme ka nkwụsi ike usoro na njikwa dịkwuo mma. N'otu oge ahụ, iji nnukwu nyocha data na-eme ka data uto dịkwuo mma, si otú a na-eme ka mma kristal na arụmọrụ mmepụta dịkwuo mma.
Teknụzụ nkwadebe nke kristal silicon carbide dị elu bụ otu n'ime ihe ndị a na-ahụkarị n'oge a na nchọpụta ihe semiconductor. Site na ọganihu teknụzụ na-aga n'ihu, teknụzụ uto kristal silicon carbide ga-anọgide na-etolite ma na-akawanye mma, na-enye ntọala siri ike karị maka itinye silicon carbide n'ọrụ n'ọhịa okpomọkụ dị elu, ugboro ugboro dị elu, ike dị elu na ndị ọzọ.
Oge ozi: Julaị-10-2025