1. Hangarau tāpiri paura karapoi silicon
Mā te tāpiri i te nui e tika ana o te huānga Ce ki roto i te paura silicon carbide ka taea te whakatutuki i te hua o te tipu pumau o te āhua tioata kotahi o te 4H-SiC. Kua whakaatuhia e ngā wheako mahi ka taea e te tāpiri i ngā huānga Ce ki roto i ngā rauemi paura te whakanui ake i te tere tipu o ngā tioata silicon carbide, ka tere ake te tipu o ngā tioata. Ka taea te whakahaere i te whakatakotoranga o te silicon carbide, ka ōrite ake, ka auau ake te ahunga tipu o te tioata. Ka aukati i te whakaputanga o ngā poke i roto i ngā tioata, ka whakaiti i te hanganga o ngā hapa, ā, ka māmā ake te whiwhi tioata āhua tioata kotahi me ngā tioata kounga teitei. Ka taea e ia te aukati i te waikura i te tuara o te tioata, ka whakanui ake i te tere o te tioata kotahi o te tioata.
2. Hangarau whakahaere i te pikinga o te pāmahana o te tuaka me te radial
Ko te pikinga pāmahana tuaka te mea nui ka pā ki te āhua tipu tioata me te whai huatanga o te tipu tioata. Mēnā he iti rawa te pikinga pāmahana ka puta mai ngā heterocrystals i te wā o te tipu tioata, ā, ka pā hoki ki te tere o te kawe i ngā matū hau, ka heke te tere tipu tioata. Mā ngā pikinga pāmahana tuaka me te radial e tika ana ka tere te tipu o ngā tioata SiC, ā, ka mau tonu te pumau o te kounga tioata.
3. Hangarau whakahaere i te nekehanga papa turanga (BPD)
Ko te tino take o te hanganga o te hapa BPD ko te nui ake o te ahotea kutikuti i roto i te karaihe i te ahotea kutikuti matua o teTioata SiC, ka ārahi ki te whakahohenga o te pūnaha paheke. Nā te mea he poutū te ahunga tipu o te tioata o BPD, ka puta te nuinga i te wā o te tukanga tipu tioata me te tukanga whakamatao tioata i muri mai.
4. Te hangarau whakahaere me te whakahaere i te ōwehenga wāhanga hau
I roto i te tukanga tipu tioata, ko te whakanui ake i te ōwehenga waro-hirikawa me te ōwehenga wāhanga hau-āhuatanga i roto i te taiao tipu he huarahi whai hua hei whakatutuki i te tipu pumau o te āhua tioata kotahi. Nā te mea ka taea e te ōwehenga waro-hirikawa teitei te whakaiti i te hononga nui o ngā taahiraa me te pupuri i te tuku iho o ngā mōhiohio tipu ki te mata tioata purapura, ka taea e ia te pehi i te polymorphism.
5. Hangarau whakahaere ahotea-iti
I te wā o te tipu o te tioata, ka taea e te ahotea te whakararu i ngā papa tioata o roto oSiCki te piko, ka hua ake he kounga tioata ngoikore, ā, ka pakaru hoki te tioata. Heoi anō, ka taea e te ahotea nui te whakanui ake i ngā nekehanga i te papa turanga o te papa. Ka taea e ēnei hapa te uru ki te paparanga epitaxial i te wā o te tukanga epitaxial, ka pā kino ki te mahi a te taputapu i te wāhanga o muri mai.
Anei ētahi tikanga hei whakapai ake i te tukanga mō te whakaiti i te ahotea i roto i te tioata:
1.Whakatikahia te tohatoha āpure pāmahana me ngā tawhā tukanga hei whakahohe i te SiC takitahite tipu tioatakia haere tonu i raro i ngā āhuatanga e tata ana ki te taurite.
2. Whakapaitia te hanganga me te āhua o te oko whakarewa kia taea ai e te karaihe te tipu māhorahora i roto i te āhua kore here.
3. Mō te whakapiripiri i te tioata purapura, whakarerekētia te tukanga whakapiripiri hei whakaiti i te rerekētanga o ngā tauwehenga whānui wera i waenga i te tioata purapura me te pupuri karāpeti i te wā whakamahana, kia whakaitihia ai te ahotea ā-roto i roto i te tioata kotahi 4H-SiC. Ko te huarahi noa ko te waiho i te āputa 2 mm i waenga i te tioata purapura me te pupuri karāpeti.
4. Whakarerekētia te tukanga whakamahana tioata mā te whakamahi i te whakamahana i roto i te oumu mō te tioata. Whakatikatikahia te pāmahana me te roa o te whakamahana kia tukuna katoatia te ahotea o roto i te tioata.
I te tirohanga whakamua, ka whanake te hangarau whakarite karaihe kotahi kounga teitei mō te silicon carbide (SiC) i roto i ētahi huarahi matua:
1. Te whakanui ake i te rahi o te papa whakarewa: Kua piki haere te diameter o te tioata SiC mai i ngā mirimita tīmatanga ki ngā papa whakarewa 6-inihi, 8-inihi, me ngā papa whakarewa nui ake 12-inihi. Mā te whakarite i ngā tioata SiC nui ake ka pai ake te whakaputa, ka whakaiti i ngā utu, ā, ka tutuki i ngā hiahia o ngā taputapu mana-teitei.
2. Te whakapai ake i te kounga o te tioata: He mea nui ngā tioata SiC kounga teitei mō ngā taputapu mahi teitei. Ahakoa kua nui te ahunga whakamua, kei te mau tonu ngā hapa pēnei i ngā paipa iti, ngā nekehanga, me ngā poke, e pā ana ki te mahi me te pono o te taputapu.
3. Te whakaiti i ngā utu whakaputa: Ko te utu nui o te whakarite karaihe SiC ka whakawhāiti i tōna whakamahinga i roto i ētahi mara. Ka taea te whakaiti i ngā utu mā te arotau i ngā tukanga tipu, te whakapai ake i te whai huatanga o te whakaputa, me te whakaiti i ngā whakapaunga rauemi mata.
4. Te whakatinana i te hanga atamai: Me ngā whanaketanga o te AI me ngā raraunga nui, ka piki haere te whakamahi a te hangarau tipu tioata SiC i te atamai. Ko te aroturuki me te whakahaere i te wā-tūturu mā roto i ngā pūoko me ngā pūnaha whakahaere aunoa ka whakarei ake i te pumau me te kaha whakahaere o te tukanga. I te wā kotahi, mā te whakamahi i ngā tātari raraunga nui ka arotau i ngā raraunga tipu, ā, ka whakapai ake i te kounga tioata me te whai huatanga o te whakaputa.
Ko te hangarau whakarite o ngā tioata takitahi silicon carbide kounga teitei tētahi o ngā wāhi rongonui o te rangahau rauemi semiconductor. I te haere tonu o te hangarau, ka haere tonu te whanaketanga me te whakapai ake o te hangarau tipu tioata silicon carbide, ka whakarato i tētahi turanga pakari ake mō te whakamahinga o te silicon carbide i roto i ngā mara pāmahana teitei, auau teitei, mana teitei me ētahi atu mara.
Wā tuku: Hōngongoi-10-2025