Hobaneng ha TaC Coating e le ea Bohlokoa bakeng sa Tlhahiso ea Lisebelisoa tsa GaN le SiC?

Ho koahela TaC ho bohlokoa bakeng sa tlhahiso ea lisebelisoa tsa GaN le SiC. E fana ka tšireletso e phahameng khahlanong le tikoloho ea ts'ebetso e senyang, e ntlafatsa botsitso ba mocheso, 'me e thibela tšilafalo. Lintlha tsena li bohlokoa bakeng sa ho fihlela ts'ebetso e phahameng ea lisebelisoa le chai. 'Maraka oa lisebelisoa tsa motlakase oa GaN oa Asia-Pacific o rera Sekhahla sa Kholo ea Selemo le Selemo sa 19.33% pakeng tsa 2025 le 2032. 'Maraka ka kakaretso oa lisebelisoa tsena, o nang le boleng ba USD 2.24 bilione ka 2023, o lebeletse ho fihla ho USD 18 bilione ka 2032, o hola ho 25% CAGR. Katoloso ena ea bohlokoa ea 'maraka e totobatsa tlhoko ea litharollo tse matla tsa tlhahiso.

Lintlha tsa Bohlokoa

• Sekoahelo sa TaC se sireletsa lisebelisoa tse sebelisoang ho etsa lisebelisoa tsa GaN le SiC. Se thibela tšenyo e bakoang ke lik'hemik'hale tse matla le mocheso o phahameng.
• Lisebelisoa tsa GaN le SiC li betere ho feta lisebelisoa tsa khale tsa silicon. Li sebetsa ka potlako 'me li sebelisa matla a fokolang, empa ho thata ho li etsa.
• Sekoahelo sa TaC se thusa ho hlwekisa disebediswa tsa GaN le SiC. Se thibela ditshila tse nyane ho kena disebedisweng.
• Ho penta ka TaC ho etsa bonnete ba hore disebediswa di etswa ka tsela e tshwanang nako le nako. Sena se bolela hore ho etswa disebediswa tse ngata tse ntle mme tse mmalwa di senyeha.
• Ho koahela ka TaC ho bohlokoa haholo bakeng sa ho etsa lisebelisoa tse ncha tsa motlakase. Ho thusa lisebelisoa tsena tse tsoetseng pele ho sebetsa hantle le ho tšoarella nako e telele.

Lisebelisoa tsa GaN le SiC: Moloko o Latelang oa Matla a Elektroniki

Kakaretso ea Melemo ea Sesebelisoa sa GaN le SiC

Disebediswa tsa Gallium Nitride (GaN) le Silicon Carbide (SiC) di emela kgatelopele e kgolo ho tsa motlakase wa elektroniki. Di fana ka dintlafatso tse kgolo ho feta dikarolo tsa setso tse thehilweng ho silicon. Disebediswa tsa SiC, mohlala, di bontsha dibopeho tse phahameng ho pholletsa le diparamente tse mmalwa tsa bohlokwa:

Disebediswa tsa SiC di fihlella bokgoni bo phahameng le tahlehelo e tlase ya matla. Di fokotsa tahlehelo ya ho tsamaisa le ho fetola. Lekhalo la bandgap la SiC le phahame hararo ho feta la silicon, e leng se dumellang dikarolo tse tshesane tsa ho kheloha. Sena se fokotsa ho hanyetsa ka makgetlo a fihlang ho a leshome bakeng sa tekanyo e tshwanang ya motlakase. MOSFET ya 1200V SiC e na le tahlehelo ya ho tsamaisa e tlase ka makgetlo a mahlano ho feta silicon IGBT. Disebediswa tsa SiC le tsona di fetoha ka makgetlo a 10 ho isa ho a 100 ka potlako ho feta silicon, e leng se fokotsang tahlehelo ya nakoana. Di-diode tsa SiC Schottky di fedisa ho kgutlela morao, di tlosa mohlodi o moholo wa tahlehelo. Disebediswa tsena di sebetsa dithempereichara tse phahameng, ka mocheso o phahameng wa kgokelo wa 200–250°C, o habeli ho feta wa silicon. Di boetse di na le ho tsamaisa mocheso ho betere ka makgetlo a 2.5, e leng se eketsang ho qhalana ha mocheso. Ditlamo tse matla tsa athomo tsa SiC di hanela ho falla ha motlakase ka motlakase le ho senyeha ha oxide ya gate, e leng se tlatsetsang bophelong bo bolelele.

Mathata a Tlhahiso bakeng sa Lisebelisoa tsa GaN le SiC

Ho hlahisa disebediswa tsa GaN le SiC ho hlahisa diphephetso tse ikgethang tsa tlhahiso. Diphephetso tsena di tswa ho thepa ya tlhaho ya thepa le mekgwa e rarahaneng ya tlhahiso.

Bakeng sa lisebelisoa tsa GaN, bahlahisi ba tobana le mathata a 'maloa:

• Boleng ba kristale le Botenya bo Phethahetseng ba Sekoli: Ho fihlella boleng bo phahameng ba kristale ka bongata bo tlase ba sekoli ho thata. Hangata GaN e hola holim'a li-substrate tse kang safire kapa silicon, tse nang le li-constant tse fapaneng tsa lattice. Ho se lumellane hona ho baka likoli nakong ea kholo ea epitaxial, e leng se amang ts'ebetso ea sesebelisoa.
• Mekhoa ea Khōlo ea EpitaxialMekhoa e kang Metal-Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD) e bitsa chelete e ngata 'me e hloka taolo e nepahetseng. Hydride Vapor Phase Epitaxy (HVPE) e fana ka kholo e potlakileng empa e thatafatsa liketso tsa khase le boleng ba bokaholimo.
• Ho sebelisa lithethefatsi tse tahang le ho tšoana: Ho fihlella maemo a tšoanang a doping, haholo-holo bakeng sa p-type GaN, ho thata. Sena se bakoa ke thepa ea thepa le lits'ebetso tse rarahaneng tsa lik'hemik'hale.
• Ho fumaneha ha Substrate le Litšenyehelo: Ho fumaneha le litšenyehelo tsa li-substrate ho ama ho katoloha ha GaN. Li-substrate tsa silicon li theko e tlase empa li hlahisa ho se lumellane ho hoholo ha lattice.

Tlhahiso ea lisebelisoa tsa SiC e boetse e kopana le mathata a maholo:

• Ho ba thata le ho ba bosawana haholo: Ho thatafala ha SiC (Mohs 9) le ho robeha ha bonolo ho thatafatsa tlhahiso. Ho bentsha wafer ho lieha ebile ha ho sebetse hantle, ho hloka slurry e khethehileng.
• Ho Tšoara Wafer: Ho sebetsana le di-wafer tsa SiC ho thata ka lebaka la ho robeha ha tsona. Sena se lebisa ho qhetsoheng, ho petsoheng le ho silafala ha dikarolwana.
• Litlhoko tsa Epitaxy: Epitaxy bakeng sa SiC e hloka mocheso o phahameng ho feta silicon. Sena se khutsufatsa nako ea bophelo ea likarolo tsa kamore mme se eketsa litšenyehelo tsa tlhokomelo.
• Ho Kenngwa ha Ion: Ho kenngoa ha aluminium bakeng sa mathata a botsitso ba mohlodi wa ion wa mofuta wa p. Di-dopant ha di hasane habonolo mme di ka etsa di-crater. Mocheso o phahameng wa annealing (1800°C) o ka etsa hore bokaholimo bo be le carbon.

Bothata ba Bohlokoa: Ho Senyeha ha Thepa le Tšilafalo Ts'ebetsong

Thepa e senyehileng le khoholeho ea mobu libakeng tse thata

Lisebelisoa tsa tlhahiso ea semiconductor li tobane le ho senyeha le ho tsofala ho hoholo ha thepa. Litikoloho tse thata, ho kenyeletsoa le ho pepesehela lik'hemik'hale tse senyang le lits'ebetso tse khorofo, li baka mathata ana. Sena se lebisa ho fokotseng nako ea bophelo ba lisebelisoa le ho sitisoa ha katleho ea tlhahiso. Lisebelisoa tsa ho fata le ho beha, haholo-holo, li mamella maemo a feteletseng. Li kopana le plasma, mocheso o phahameng le lik'hemik'hale tse arabelang. Lintho tsena li fella ka khoholeho ea mobu le tlhaselo ea lik'hemik'hale. Maemo a joalo ka kakaretso a tlatsetsa ho hloleheng ha lisebelisoa ka ho senya thepa le ho fokotsa ts'ebetso ea lisebelisoa.

Hangata ho hlaha "mokhoa oa ho hloleha ho kopantsoeng ha ho senyeha ha mafome le ho robeha ha 'mele". Mecha ea ho senya e fokolisa matla a ho kopanya moeli oa lijo-thollo. Ho fokola hona ho lumella mafome a bakoang ke khohlano ho ata ka potlako. Mafome ana a ata libakeng tsa ho bokellana ha likarolo tse ntlafalitsoeng ka tin. Mokhoa ona oa tšenyo e kopaneng o ipaka o le thata ho o thibela ka mahlale a setso a ho koahela bokaholimo, haholo-holo libakeng tse matla tsa khohlano ea mafome.

Tšusumetso ea Tšilafalo Tshebetsong ea Sesebelisoa sa GaN le SiC

Tšilafalo e ama ts'ebetso le tlhahiso ea lisebelisoa tsa GaN le SiC haholo. Esita le litšila tse nyane li ka baka likoli, tse lebisang ho se sebetseng hantle ha sesebelisoa kapa ho fokotseha ha ts'ebetso. Bakeng sa lisebelisoa tsa GaN, litšila tse itseng hangata li baka mathata:

• Maraba a tebileng a dielektrone (E2 le E4): Maraba ana a eketseha ka mora mahlaseli a proton le a dielektrone. A baka diketsahalo tsa heke le drain-lag, tse tlatsetsang ho putlameng le ho senyeha ha hajwale ho AlGaN/GaN HEMTs.
• Ho falla ha litho: Ho sekama ha dikurufu tse bulehileng ho kgothaletsa ho dutla ha menyako ho AlGaN/GaN HEMTs. Ho sekama ho kgabisitsweng ke Indium (In) ho ama InAlN/GaN HEMTs. Hape ho hokahana le maraba a tebileng a dielektrone, ho tshwasa, ho dutla ha motlakase wa subthreshold, le ho senyeha ka kakaretso.
• Likheo tsa Gallium tse rarahaneng ka Silicon (Si) kapa Oxygen (O): Metswako ena e sebetsa e le maraba a maholo a masoba ho n-GaN le n-AlGaN.
• Khabone (C): Khabone e boetse e sebetsa e le leraba le leholo la masoba ho n-GaN le n-AlGaN.
• Haedrojene: Ho se hlweke hona ha bokamorao, ho tlwaelehileng ho thepa e hodisitsweng ya MOCVD le NH3-rich MBE, ho susumetsa diphetoho tsa motlakase wa threshold le ho senyeha ha transconductance tlasa mahlaseli a proton.
• Baamoheli ba tebileng: Ho kenyelletsoa ha li-adceptor tse tebileng lera la thibelo ho hlalosa liphetoho tsa motlakase oa moeli le ho tsamaea ha kanale ho li-transistors tsa AlGaN/GaN.
• Maraba a tebileng ka har'a lera la buffer la GaN: Maraba ana a ka lebisa liphellong tse tšoanang le tsa baamoheli ba tebileng. A tlatsetsa ho fokotseheng ha karolo ea 2DEG le ho hasana ha lielektrone tsa 2DEG.

Kamoo TaC Coating e Sebetsanang le Liphephetso Tse Bohlokoa Tsa Tlhahiso

Ho se sebetse hantle ha lik'hemik'hale tsa TaC Coating ka tsela e ikhethang

Sekoahelo sa TaC se fana ka ho se sebetse hantle ha lik'hemik'hale. Thepa ena e etsa hore e be ea bohlokoa haholo tlhahisong ea li-semiconductor. E hanela khoholeho ea lik'hemik'hale tse senyang joalo ka li-chloride le fluoride ka katleho. Sekoahelo sena se boloka ts'ebetso e tlase maemong a mocheso o phahameng. Sena se thibela liketso tse sa batleheng tsa lik'hemik'hale tse nang le likhase tse arabelang. Tšobotsi ena e bohlokoa bakeng sa ho netefatsa bohloeki ba ts'ebetso le ho kenngoa ha thepa ea boleng bo holimo. E ruisa molemo haholo lits'ebetsong tse kenyeletsang Likepe tsa Silicon Carbide Wafer le likarolo tse ling tsa bohlokoa.

"Ha e bapisoa le sekoahelo sa SiC, TaC e na le ho se sebetse hantle ha lik'hemik'hale le ho hanyetsa mafome ho hoholo."

Likoahelo tsa TaC li hanela ammonia e chesang. Li boetse li hanela mouoane oa haedrojene, mouoane oa silicon le litšepe tse qhibilihisitsoeng. Likoahelo tsena li fana ka tšireletso khahlanong le H2, NH3, SiH4, le Si libakeng tse matla tsa lik'hemik'hale.

Ho Tsitsisa Mocheso o Phahameng le ho Tiea ha Mechine ha TaC Coating

Ho tsitsa ho phahameng ha mocheso le ho thatafala ha mechini ke tsa bohlokoa bakeng sa likarolo tlhahisong ea GaN le SiC. Graphite e koahetsoeng ka TaC e bontša khanyetso e phahameng ea ho bola ha lik'hemik'hale ha e bapisoa le graphite e se nang letho kapa graphite e koahetsoeng ka SiC. E lula e tsitsitse mochesong o phahameng, e fihla ho 2600°C. Ha e arabele ka likarolo tse ngata tsa tšepe. Sena se etsa hore e be seaparo se ratoang bakeng sa kholo ea kristale e le 'ngoe ea semiconductor ea moloko oa boraro le ho betla ha wafer. E bohlokoa haholo bakeng sa lisebelisoa tsa MOCVD kholong ea kristale e le 'ngoe ea GaN kapa AlN le lisebelisoa tsa PVT kholong ea kristale e le 'ngoe ea SiC. Sena se ntlafatsa boleng ba kristale haholo.

Liaparo tsa Tantalum Carbide (TaC) li ka sebelisoa ka mokhoa o tsitsitseng mochesong o phahameng ho fihlela ho 2600°C. Ha li arabele ka likarolo tse ngata tsa tšepe. Seaparo sena se nkoa se le molemo bakeng sa kholo ea kristale e le 'ngoe ea semiconductor ea moloko oa boraro le ho betla ha wafer. Ka ho khetheha, se thusa kholo ea lisebelisoa tsa MOCVD tsa likristale tse le 'ngoe tsa GaN kapa AlN le kholo ea lisebelisoa tsa PVT tsa likristale tse le 'ngoe tsa SiC.

Bothata ba mechine ba thepa ena le bona bo tlatsetsa ho tšoarelleng ha eona. E na le boima ba Vickers ba hoo e ka bang 1,880 HV.

Ho Hloeka ho Phahameng ka ho Fetisisa le ho Hlahisa Likaroloana tse Tlase ka TaC Coating

Ho boloka bohloeki bo phahameng haholo le ho fokotsa tlhahiso ea likaroloana ke tsa bohlokoa tlhahisong ea li-semiconductor. Li-carrier tse koahetsoeng ka CVD TaC li tsebahala ka sekhahla sa tsona se tlase haholo sa tlhahiso ea likaroloana. Litšobotsi tsa tsona tse boreleli tsa bokaholimo li fokotsa haholo monyetla oa tšilafalo ea likaroloana. Sena, le sona, se thusa ho ntlafatsa bohloeki le chai nakong ea lits'ebetso tsa kholo ea epitaxial.

Ho Pheta-pheta ha Ts'ebetso le Tlhahiso e Ntlafetseng kaSekoahelo sa TaC

Ho koahela ka TaC ho ntlafatsa haholo ho pheta-pheta ha ts'ebetso tlhahisong ea lisebelisoa tsa GaN le SiC. Ho tšoarella ho ikhethang ha sekoahelo le ho hanyetsa tikoloho e thata ea ts'ebetso ho netefatsa hore likarolo tsa reactor li boloka botšepehi ba tsona le litšobotsi tsa bokaholimo ka nako e telele ea ts'ebetso. Ho tsitsa hona ho bohlokoa bakeng sa ho fihlela ho beoa ha filimi ka mokhoa o ts'oanang, liprofaele tse nepahetseng tsa doping, le maemo a tsitsitseng a mocheso ho pholletsa le mefuta e mengata ea tlhahiso. Ha libaka tsa lisebelisoa li lula li tsitsitse ebile li se na ho senyeha, bahlahisi ba ka hlahisa liparamente tsa ts'ebetso tse lakatsehang ka mokhoa o tšepahalang. Ho bolela esale pele hona ho fokotsa liphetoho litšobotsing tsa sesebelisoa ho tloha ho wafer ho ea ho wafer le sehlopha ho ea ho sehlopha.

Ho phetoa hona ho ntlafetseng ho fetolela ka ho toba ho hlahiseng chai e phahameng. Tikoloho e tsitsitseng ea ts'ebetso e fokotsa ho ata ha liphoso tse bakoang ke ho senyeha ha thepa, tšilafalo, kapa maemo a ts'ebetso a sa tsitsang. Mohlala, ho se sebetse ha lik'hemik'hale ha sekoahelo sa TaC ho thibela liketso tse sa batleheng lipakeng tsa likhase tsa ts'ebetso le mabota a reactor, tse ka hlahisang litšila kapa tsa fetola matla a phallo ea khase. Ho tsitsa ha eona ho phahameng ha mocheso ho netefatsa hore likarolo ha li sothe kapa lia senyeha tlas'a mocheso o feteletseng, li boloka li-geometri tse nepahetseng tse hlokahalang bakeng sa kholo e ts'oanang. Ho feta moo, bohloeki bo phahameng haholo le tlhahiso e tlase ea likaroloana tse amanang le sekoahelo sa TaC li fokotsa tšilafalo ea likaroloana haholo, e leng sesosa se seholo sa ho hloleha ha sesebelisoa. Ka ho fokotsa mehloli ena e tloaelehileng ea ho feto-fetoha le liphoso, bahlahisi ba hlahisa palo e kholo ea lisebelisoa tse sebetsang tsa GaN le SiC ka wafer, ba ntlafatsa katleho ea tlhahiso ka kakaretso le ho fokotsa litšila.

Litšebeliso tsa Bohlokoa tsa Sekoahelo sa TaC tlhahisong ea GaN le SiC

Sekoahelo sa TaC bakeng sa Likarolo tsa Reactor

Ho koahela ka TaC ho bapala karolo ea bohlokoa ho sireletseng likarolo tse fapaneng tsa reactor ka har'a tlhahiso ea GaN le SiC. Likarolo tse ikhethileng tse ruang molemo ho sekoahelo sena se tsoetseng pele li kenyelletsa lijari tsa wafer, li-injector, li-susceptor le li-heater. Li-reactor tsa SiC CVD, likarolo tsa bohlokoa tse koahetsoeng ka Tantalum Carbide li bontša ntlafatso e kholo ea ts'ebetso. Seaparo sena se ikhetha ka ho thatafala ha sona ho feteletseng le ho tsamaisa tšepe. Se fana ka khanyetso e ikhethang khahlanong le halogen le hydrogen crisis, e leng se etsang hore e be e loketseng plasma e matla le libaka tse nang le mocheso o phahameng.

Sekoahelo sena se boetse se fana ka phallo e phahameng ea mocheso, se felisa mocheso ka katleho le ho thibela ho chesa haholo sebakeng seo nakong ea lits'ebetso tsa mocheso o phahameng. Se sireletsa likarolo tsa bohlokoa tsa sebōpi le reactor mochesong o fihlang ho 2200°C, se boloka botsitso ba lik'hemik'hale le mechini. Tantalum carbide e na le khanyetso e matla ea ho bola ho li-acid le li-alkali tse ngata, e thibela tšenyo ea substrate libakeng tse senyang. E hanela hydrogen, ammonia, monosilane le silicon, e fana ka tšireletso maemong a thata a lik'hemik'hale. Tšireletso ena e ntlafalitsoeng e lebisa bophelong bo bolelele ba karolo. Sekoahelo sa TaC se boetse se na le bohloeki bo phahameng haholo, ka maemo a litšila hangata a ka tlase ho 5 ppm. Sena se fokotsa haholo liphoso tse kang li-micropores le likoti tsa etch ka likristale tsa SiC, se ntlafatsa boleng ba kristale.

Sekoahelo sa TaC bakeng sa Likamore tsa Etch le Lisebelisoa tsa Ts'ebetso ea Plasma

Sekoahelo sa TaC se bohlokoa ka ho lekana bakeng sa likamore tsa ho tjhesa le lisebelisoa tsa ho sebetsana le plasma. Ho thatafala ha sona ho ikhethang le ho se sebetse ha lik'hemik'hale ho hanela ho tsofala le ho bola ho tsoa libakeng tsa plasma tse khorofo le liketso tse matla tsa lik'hemik'hale. Sena se etsa bonnete ba hore likarolo li lula li sebetsa tlas'a maemo a feteletseng. Bohloeki bo phahameng haholo ba sekoahelo, ka maemo a litšila a ka tlase ho 5 ppm, bo fokotsa likotsi tsa tšilafalo lits'ebetsong tsa kholo ea kristale.

Ho khomarela ho matla le katoloso e tlase ea mocheso ho thibela ho petsoha kapa ho arohana ha mocheso nakong ea potoloho ea mocheso. Sena se bohlokoa bakeng sa ho boloka ho nepahala le botsitso tlhahisong ea semiconductor. Kholong ea epitaxial ea GaN/SiC, sekoahelo se thibela liketso tsa khase 'me se fokotsa liphoso, se ntlafatsa chai ka kakaretso. Lisebelisoa tse hloekileng haholo le sekoahelo se tšoarellang sa TaC li fokotsa tlhahiso ea likaroloana le ho tsoa ha khase. Sena se fokotsa kotsi ea tšilafalo ea wafer le liphoso. sekoahelo se matla se fana ka khanyetso e ntle khahlanong le khoholeho ea plasma le tlhaselo ea lik'hemik'hale, e leng se eketsang bophelo ba ts'ebetso ea likarolo.

Ho koahela TaC ha ho na molemo feela; ho bohlokoa bakeng sa ho nolofalletsa tlhahiso e tšepahalang, e sebetsang hantle, le e theko e tlaase ea lisebelisoa tsa GaN le SiC. E fokotsa liphephetso tsa tšilafalo le ho senyeha tse teng lits'ebetsong tsa tsona tsa tlhahiso. Karolo ea eona e tla hola feela ha mahlale ana a tsoetseng pele a ntse a tsoela pele ho hola. Sena se netefatsa boqapi bo tsitsitseng le katoloso ea 'maraka.

LBH

Sekoahelo sa TaC ke eng?

Sekoahelo sa TaC ke lera le sireletsang la Tantalum Carbide le sebelisitsoeng likarolong tsa graphite. Bahlahisi ba sebelisa mokhoa oa Chemical Vapor Deposition (CVD). Motsoako ona o thata, o hanyetsang oa letsopa o eketsa botsitso le khanyetso ea lik'hemik'hale bakeng sa lits'ebetso tsa semiconductor.

Ho koahela TaC ho ntlafatsa chai ea tlhahiso joang?

Ho koahela TaC ho netefatsa maemo a ts'ebetso a tsitsitseng. Ho thibela ho senyeha ha thepa le tšilafalo. Botsitso bona bo fokotsa liphoso le liphapang litšobotsing tsa sesebelisoa. Bahlahisi ba fumana palo e phahameng ea lisebelisoa tse sebetsang tsa GaN le SiC ka wafer.

Ke hobane'ng ha ho kgethwa ha TaC ho feta ho kgethwa ha SiC lits'ebetsong tse ling?

Sekoahelo sa TaC se fana ka ho se tsitse ha lik'hemik'hale le ho hanyetsa mafome ha se bapisoa le sekoahelo sa SiC. Se mamella tikoloho e thata ea lik'hemik'hale le mocheso o phahameng. Sena se etsa hore se lokele haholoanyane lits'ebetso tse itseng tse hlokang tlhokomelo tlhahisong ea GaN le SiC.

Ke likarolo life tse itseng tse ruang molemo ho pente ea TaC tlhahisong ea GaN/SiC?

Likarolo tsa reactor tse kang lijari tsa wafer, li-injector, li-susceptor le li-heater li rua molemo haholo. Likamore tsa ho qhaqha le lisebelisoa tsa ho sebetsana le plasma le tsona li sebelisa lesela la TaC. E sireletsa likarolo tsena likhase tse senyang, mocheso o phahameng le plasma e khopisang.

Nka Mohato o Latelang

U se u loketse ho tlisa botsitso bo sa tloaelehang le ho inehela lits'ebetsong tsa hau tsa GaN le SiC?

Ikopanye le litsebi tsa rona tsa mahlale a thepa kajenoho buisana ka moo tharollo ea sekoahelo sa TaC e ka fetolang ts'ebetso ea hau ea MOCVD kapa CVD reactor.