Kazeta a nosič SiC destiček

Kazeta a nosič SiC destiček

Kazeta s destičkami z karbidu křemíkuslouží primárně k podepření a transportu destiček při vysokoteplotních tepelných procesech polovodičových destiček, jako je difúze, oxidace a žíhání. Jeho výkon přímo ovlivňuje kvalitu destiček a efektivitu výroby.

Konstrukční návrhy lodičky z karbidu křemíku:
Obvykle má štěrbinovou nebo hřebenovou strukturu;
Více slotů pro umisťování a oddělování waferů;
Navrženo s ohledem na distribuci proudění plynu a zajišťuje rovnoměrné vytápění a chlazení;
Vhodné pro vertikální i horizontální pec;
Určeno pro různé velikosti, jako jsou 3palcové, 4palcové, 6palcové, 8palcové a 12palcové destičky.

Lodičky z karbidu křemíku od společnosti VET Energy jsou vyrobeny s využitím pokročilé technologie spékání a jsou speciálně navrženy tak, aby splňovaly přísné požadavky na nosiče procesů pro pokročilou výrobu polovodičů. Jejich vynikající technické výhody se odrážejí především v následujících aspektech:

1. Maximální čistota a ultranízká kontaminace
Použitím ultra čistých surovin zajišťujeme extrémně nízký obsah kovových iontů (méně než 1 ppm pro Na, K, Fe a Ca). Minimální srážení při vysokých teplotách účinně zabraňuje kontaminaci destiček, což zajišťuje vysoký výtěžek a spolehlivost čipů, což z nich činí ideální volbu pro ty, kteří usilují o dokonalost procesů.
2. Vynikající tepelný výkon a stabilita
Naše SiC wafery se vyznačují extrémně vysokou tepelnou vodivostí a vynikající odolností vůči tepelným šokům. Dokážou odolat rychlým teplotním výkyvům od pokojové teploty do 1600 °C bez praskání nebo deformace, což zajišťuje opakovatelnost a konzistenci procesu a výrazně snižuje neplánované prostoje způsobené problémy s nosiči.
3. Mimořádná odolnost proti korozi a mechanická pevnost
Vysoká tvrdost a silná odolnost proti opotřebení spolu s výjimečnou odolností vůči kyselému a zásaditému prostředí daleko převyšuje křemen a grafit. Jeho výjimečná mechanická pevnost účinně zabraňuje tvorbě částic během časté automatizované manipulace, čímž výrazně prodlužuje jeho životnost a snižuje celkové provozní náklady.
4. Precizní design a vynikající konzistence
Využíváním pokročilých technologií lisování a zpracování zajišťujeme, aby každá lodička s destičkami měla přesné geometrické rozměry a vynikající přesnost povrchu, což zajišťuje rovnoměrné rozteče destiček a stabilní proudění vzduchu.

Čištění a údržba lodičky z SiC destiček:
Vyžaduje pravidelné čištění k odstranění případných usazenin;
Používá specializované čisticí roztoky a metody, aby se zabránilo poškození;