Κασέτα και φορέας πλακιδίων SiC

Κασέτα και φορέας πλακιδίων SiC

Κασέτα πλακιδίων καρβιδίου του πυριτίουΠροορίζεται κυρίως για την υποστήριξη και μεταφορά των πλακιδίων σε θερμικές διεργασίες υψηλής θερμοκρασίας ημιαγωγών πλακιδίων, όπως διάχυση, οξείδωση και ανόπτηση. Η απόδοσή του επηρεάζει άμεσα την ποιότητα του προϊόντος πλακιδίων και την αποδοτικότητα της παραγωγής.

Τα δομικά σχέδια του σκάφους από πλακίδια καρβιδίου του πυριτίου:
Συνήθως έχει μια σχισμοειδή ή χτενοειδή δομή.
Πολλαπλές υποδοχές για την τοποθέτηση και τον διαχωρισμό των πλακιδίων.
Σχεδιασμένο για να λαμβάνει υπόψη την κατανομή της ροής αερίου, εξασφαλίζοντας ομοιόμορφη θέρμανση και ψύξη.
Κατάλληλο για κάθετο φούρνο και οριζόντιο φούρνο.
Σχεδιασμένο για διαφορετικά μεγέθη όπως γκοφρέτες 3 ιντσών, 4 ιντσών, 6 ιντσών, 8 ιντσών, 12 ιντσών.

Τα σκάφη από πλακίδια καρβιδίου του πυριτίου της VET Energy κατασκευάζονται με προηγμένη τεχνολογία πυροσυσσωμάτωσης και έχουν σχεδιαστεί ειδικά για να πληρούν τις αυστηρές απαιτήσεις των μεταφορέων διεργασιών της προηγμένης κατασκευής ημιαγωγών. Τα ανώτερα τεχνικά τους πλεονεκτήματα αντικατοπτρίζονται κυρίως στις ακόλουθες πτυχές:

1. Απόλυτη καθαρότητα και εξαιρετικά χαμηλή μόλυνση
Χρησιμοποιώντας πρώτες ύλες εξαιρετικά υψηλής καθαρότητας, διασφαλίζουμε ότι το προϊόν έχει εξαιρετικά χαμηλή περιεκτικότητα σε μεταλλικά ιόντα (λιγότερο από 1 ppm για Na, K, Fe και Ca). Η ελάχιστη καθίζηση σε υψηλές θερμοκρασίες αποτρέπει αποτελεσματικά τη μόλυνση των πλακιδίων, εξασφαλίζοντας υψηλή απόδοση και αξιοπιστία στα τσιπ, καθιστώντας τα ιδανική επιλογή για όσους επιδιώκουν την τελειότητα της διαδικασίας.
2. Άριστες θερμικές απόδοση και σταθερότητα
Τα σκάφη μας από πλακίδια SiC διαθέτουν εξαιρετικά υψηλή θερμική αγωγιμότητα και εξαιρετική αντοχή σε θερμικά σοκ. Μπορούν να αντέξουν σε γρήγορες διακυμάνσεις θερμοκρασίας από θερμοκρασία δωματίου έως 1600℃ χωρίς ρωγμές ή παραμορφώσεις, διασφαλίζοντας την επαναληψιμότητα και τη συνέπεια της διαδικασίας, μειώνοντας σημαντικά τον απρόβλεπτο χρόνο διακοπής λειτουργίας λόγω προβλημάτων με τους φορείς.
3. Εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση και μηχανική αντοχή
Η υψηλή σκληρότητα και η ισχυρή αντοχή στη φθορά, μαζί με την εξαιρετική αντοχή σε όξινα και αλκαλικά περιβάλλοντα, ξεπερνούν κατά πολύ τον χαλαζία και τον γραφίτη. Η εξαιρετική μηχανική του αντοχή αποτρέπει αποτελεσματικά την παραγωγή σωματιδίων κατά τον συχνό αυτοματοποιημένο χειρισμό, παρατείνοντας σημαντικά τη διάρκεια ζωής του και μειώνοντας το συνολικό λειτουργικό κόστος.
4. Σχεδιασμός ακριβείας και εξαιρετική συνέπεια
Αξιοποιώντας προηγμένες τεχνολογίες χύτευσης και επεξεργασίας, διασφαλίζουμε ότι κάθε σκάφος πλακιδίων διαθέτει ακριβείς γεωμετρικές διαστάσεις και εξαιρετική ακρίβεια επιφάνειας, εξασφαλίζοντας ομοιόμορφη απόσταση μεταξύ των πλακιδίων και σταθερή ροή αέρα.

Ο καθαρισμός και η συντήρηση του σκάφους SiC wafer:
Απαιτείται τακτικός καθαρισμός για την απομάκρυνση πιθανών επικαθίσεων.
Χρησιμοποιεί εξειδικευμένα διαλύματα και μεθόδους καθαρισμού για την αποφυγή ζημιών.