Касета и носач SiC плочице

Касета и носач SiC плочице

Касета од силицијум-карбидне плочицепрвенствено је за подршку и транспорт плочица у термичким процесима полупроводничких плочица на високим температурама као што су дифузија, оксидација и жарење. Његове перформансе директно утичу на квалитет плочица и ефикасност производње.

Структурни дизајн чамца од силицијум-карбидних плочица:
Обично има прорезну или чешљасту структуру;
Вишеструки слотови за постављање и одвајање плочица;
Дизајнирано да узме у обзир расподелу протока гаса, обезбеђујући равномерно грејање и хлађење;
Погодно за вертикалну пећ и хоризонталну пећ;
Дизајниран за различите величине као што су плочице од 3 инча, 4 инча, 6 инча, 8 инча, 12 инча.

Силицијум-карбидне плочице компаније VET Energy израђене су коришћењем напредне технологије синтеровања и посебно су дизајниране да испуне строге захтеве ношења процеса у напредној производњи полупроводника. Њихове супериорне техничке предности се првенствено огледају у следећим аспектима:

1. Врхунска чистоћа и ултраниска контаминација
Коришћењем сировина ултра високе чистоће, осигуравамо да производ има изузетно низак садржај металних јона (мање од 1 ppm за Na, K, Fe и Ca). Минимално таложење на високим температурама ефикасно спречава контаминацију плочица, обезбеђујући висок принос чипа и поузданост, што их чини идеалним избором за оне који теже савршенству процеса.
2. Одличне термичке перформансе и стабилност
Наши SiC чамци од плочица поседују изузетно високу топлотну проводљивост и одличну отпорност на термичке ударе. Могу да издрже брзе температурне флуктуације од собне температуре до 1600℃ без пуцања или деформације, осигуравајући поновљивост и конзистентност процеса, значајно смањујући непланиране застоје због проблема са носачем.
3. Изузетна отпорност на корозију и механичка чврстоћа
Висока тврдоћа и јака отпорност на хабање, заједно са изузетном отпорношћу на киселе и алкалне средине, далеко надмашују кварц и графит. Његова изузетна механичка чврстоћа ефикасно спречава стварање честица током честог аутоматизованог руковања, значајно продужавајући његов век трајања и смањујући укупне трошкове рада.
4. Прецизан дизајн и одлична конзистентност
Користећи напредне технологије обликовања и обраде, осигуравамо да сваки чамац за вафле поседује прецизне геометријске димензије и одличну тачност површине, обезбеђујући равномерни размак између вафли и стабилан проток ваздуха.

Чишћење и одржавање SiC чамца за вафле:
Потребно је редовно чишћење како би се уклониле потенцијалне наслаге;
Користи специјализована средства и методе чишћења како би се избегла оштећења;