Cassette y portador de obleas de SiC

Cassette y portador de obleas de SiC

Casete de oblea de carburo de silicioSu función principal es soportar y transportar las obleas durante los procesos térmicos de alta temperatura de las obleas semiconductoras, como la difusión, la oxidación y el recocido. Su rendimiento influye directamente en la calidad del producto final y en la eficiencia de la producción.

Diseños estructurales de la barquilla para obleas de carburo de silicio:
Normalmente tiene una estructura ranurada o en forma de peine;
Múltiples ranuras para colocar y separar las obleas;
Diseñado para tener en cuenta la distribución del flujo de gas, garantizando una calefacción y refrigeración uniformes;
Adecuado para hornos verticales y horizontales;
Diseñado para obleas de diferentes tamaños, como 3 pulgadas, 4 pulgadas, 6 pulgadas, 8 pulgadas y 12 pulgadas.

Los soportes para obleas de carburo de silicio de VET Energy se fabrican utilizando tecnología de sinterización avanzada y están diseñados específicamente para cumplir con los estrictos requisitos de los soportes de proceso de la fabricación avanzada de semiconductores. Sus ventajas técnicas superiores se reflejan principalmente en los siguientes aspectos:

1. Máxima pureza y contaminación ultrabaja
Utilizando materias primas de ultra alta pureza, garantizamos que el producto tenga un contenido de iones metálicos extremadamente bajo (menos de 1 ppm para Na, K, Fe y Ca). La mínima precipitación a altas temperaturas previene eficazmente la contaminación de las obleas, asegurando un alto rendimiento y fiabilidad de los chips, lo que los convierte en la opción ideal para quienes buscan la perfección en sus procesos.
2. Excelente rendimiento y estabilidad térmica.
Nuestras barquillas para obleas de SiC poseen una conductividad térmica extremadamente alta y una excelente resistencia al choque térmico. Pueden soportar fluctuaciones rápidas de temperatura desde la temperatura ambiente hasta los 1600 °C sin agrietarse ni deformarse, lo que garantiza la repetibilidad y la consistencia del proceso, reduciendo significativamente el tiempo de inactividad no planificado debido a problemas con los soportes.
3. Extraordinaria resistencia a la corrosión y resistencia mecánica.
Su elevada dureza y gran resistencia al desgaste, junto con una excepcional resistencia a ambientes ácidos y alcalinos, superan con creces al cuarzo y al grafito. Su excepcional resistencia mecánica previene eficazmente la generación de partículas durante la manipulación automatizada frecuente, lo que prolonga significativamente su vida útil y reduce los costes operativos generales.
4. Diseño de precisión y excelente consistencia
Gracias a nuestras avanzadas tecnologías de moldeo y procesamiento, garantizamos que cada bandeja de obleas posea dimensiones geométricas precisas y una excelente exactitud superficial, lo que asegura un espaciado uniforme entre las obleas y un flujo de aire estable.

Limpieza y mantenimiento de la barquilla para obleas de SiC:
Requiere una limpieza regular para eliminar posibles depósitos;
Utiliza soluciones y métodos de limpieza especializados para evitar daños;