Kazeta a nosič SiC Wafer

Kazeta a nosič SiC Wafer

Kazeta s karbidovými doštičkami kremíkaslúži predovšetkým na podporu a prepravu doštičiek pri vysokoteplotných tepelných procesoch polovodičových doštičiek, ako je difúzia, oxidácia a žíhanie. Jeho výkon priamo ovplyvňuje kvalitu doštičiek a efektivitu výroby.

Konštrukčné návrhy lode z karbidu kremíka:
Typicky má štrbinovú alebo hrebeňovitú štruktúru;
Viacero slotov na umiestňovanie a oddeľovanie doštičiek;
Navrhnuté s ohľadom na distribúciu prietoku plynu, čím sa zabezpečí rovnomerné vykurovanie a chladenie;
Vhodné pre vertikálnu pec a horizontálnu pec;
Určené pre rôzne veľkosti, ako napríklad 3-palcové, 4-palcové, 6-palcové, 8-palcové a 12-palcové doštičky.

Kremíkovo-karbidové lodičky od spoločnosti VET Energy sú vyrobené pomocou pokročilej technológie spekania a sú špeciálne navrhnuté tak, aby spĺňali prísne požiadavky na pokročilú výrobu polovodičov. Ich vynikajúce technické výhody sa odrážajú predovšetkým v nasledujúcich aspektoch:

1. Maximálna čistota a ultranízka kontaminácia
Použitím ultra čistých surovín zabezpečujeme extrémne nízky obsah kovových iónov (menej ako 1 ppm pre Na, K, Fe a Ca). Minimálne zrážanie pri vysokých teplotách účinne zabraňuje kontaminácii doštičiek, čím zabezpečuje vysoký výťažok a spoľahlivosť čipov, vďaka čomu sú ideálnou voľbou pre tých, ktorí sa usilujú o dokonalosť procesov.
2. Vynikajúci tepelný výkon a stabilita
Naše SiC wafery majú extrémne vysokú tepelnú vodivosť a vynikajúcu odolnosť voči tepelným šokom. Dokážu odolať rýchlym výkyvom teploty od izbovej teploty do 1600 ℃ bez praskania alebo deformácie, čo zaisťuje opakovateľnosť a konzistentnosť procesu a výrazne znižuje neplánované prestoje spôsobené problémami s nosičmi.
3. Mimoriadna odolnosť proti korózii a mechanická pevnosť
Vysoká tvrdosť a vysoká odolnosť voči opotrebovaniu spolu s výnimočnou odolnosťou voči kyslému a zásaditému prostrediu ďaleko prevyšuje kremeň a grafit. Jeho výnimočná mechanická pevnosť účinne zabraňuje tvorbe častíc počas častej automatizovanej manipulácie, čím výrazne predlžuje jeho životnosť a znižuje celkové prevádzkové náklady.
4. Presný dizajn a vynikajúca konzistencia
Využívaním pokročilých technológií formovania a spracovania zabezpečujeme, aby každá loďka s doštičkami mala presné geometrické rozmery a vynikajúcu presnosť povrchu, čím sa zabezpečuje rovnomerné rozostupy doštičiek a stabilné prúdenie vzduchu.

Čistenie a údržba SiC waferovej lodičky:
Vyžaduje pravidelné čistenie na odstránenie prípadných usadenín;
Používa špecializované čistiace roztoky a metódy, aby sa predišlo poškodeniu;