Cassetta è Trasportatore di Wafer SiC

Cassetta è Trasportatore di Wafer SiC

Cassetta di wafer di carburo di siliciuhè principalmente per sustene è trasportà i wafers in prucessi termichi à alta temperatura di wafers semiconduttori cum'è diffusione, ossidazione è ricottura. E so prestazioni affettanu direttamente a qualità di u pruduttu wafer è l'efficienza di pruduzzione.

I disinni strutturali di a barca à wafer di carburo di siliciu:
Tipicamente hà una struttura à fessure o à forma di pettine;
Parechje slot per piazzà è separà i wafer;
Cuncipitu per cunsiderà a distribuzione di u flussu di gas, assicurendu un riscaldamentu è un raffreddamentu uniformi;
Adattu per fornu verticale è fornu orizzontale;
Cuncepitu per diverse dimensioni cum'è wafer da 3 pollici, 4 pollici, 6 pollici, 8 pollici, 12 pollici.

I battelli di wafer in carburo di siliciu di VET Energy sò fabbricati cù una tecnulugia avanzata di sinterizzazione è sò specificamente cuncipiti per risponde à i rigorosi requisiti di supportu di prucessu di a fabricazione avanzata di semiconduttori. I so vantaghji tecnichi superiori si riflettenu principalmente in i seguenti aspetti:

1. Purezza Massima è Contaminazione Ultra Bassa
Utilizendu materie prime di purezza ultra-alta, assicuremu chì u pruduttu abbia un cuntenutu di ioni metallichi estremamente bassu (menu di 1 ppm per Na, K, Fe è Ca). A precipitazione minima à alte temperature impedisce efficacemente a contaminazione di e cialde, assicurendu un rendimentu è una affidabilità elevati di u chip, rendenduli una scelta ideale per quelli chì cercanu a perfezione di u prucessu.
2. Eccellente prestazione termica è stabilità
I nostri wafer di SiC anu una cunduttività termica estremamente alta è una eccellente resistenza à i shock termichi. Puderanu suppurtà rapide fluttuazioni di temperatura da a temperatura ambiente à 1600 ℃ senza crepe o deformazioni, assicurendu a ripetibilità è a cunsistenza di u prucessu, riducendu significativamente i tempi di inattività imprevisti per via di prublemi di u trasportatore.
3. Resistenza à a currusione straordinaria è forza meccanica
L'alta durezza è a forte resistenza à l'usura, accumpagnate da una resistenza eccezziunale à l'ambienti acidi è alcalini, superanu di gran lunga u quarzu è a grafite. A so resistenza meccanica eccezziunale impedisce efficacemente a generazione di particelle durante a manipulazione automatizata frequente, allungendu significativamente a so vita utile è riducendu i costi operativi generali.
4. Design di precisione è eccellente cunsistenza
Sfruttendu tecnulugie avanzate di stampaggio è trasfurmazione, assicuremu chì ogni barca à wafer pusseda dimensioni geometriche precise è una eccellente precisione superficiale, assicurendu una spaziatura uniforme di e wafer è un flussu d'aria stabile.

A pulizia è a manutenzione di a barca à wafer di SiC:
Richiede una pulizia regulare per rimuovere potenziali depositi;
Utilizza suluzioni è metudi di pulizia specializati per evità danni;