SiC kaseta i nosač pločica

SiC kaseta i nosač pločica

Kaseta s pločicom silicij-karbidaprvenstveno je za potporu i transport pločica u visokotemperaturnim termičkim procesima poluvodičkih pločica kao što su difuzija, oksidacija i žarenje. Njegove performanse izravno utječu na kvalitetu proizvoda od pločica i učinkovitost proizvodnje.

Strukturni dizajni broda od silicijevih karbidnih pločica:
Obično ima prorezan ili češljast oblik;
Višestruki utori za postavljanje i odvajanje pločica;
Dizajniran uzimajući u obzir raspodjelu protoka plina, osiguravajući ravnomjerno grijanje i hlađenje;
Pogodno za vertikalnu i horizontalnu peć;
Dizajnirano za različite veličine kao što su pločice od 3 inča, 4 inča, 6 inča, 8 inča, 12 inča.

VET Energyjevi čamci od silicijevog karbida izrađeni su korištenjem napredne tehnologije sinteriranja i posebno su dizajnirani kako bi zadovoljili stroge zahtjeve nositelja procesa napredne proizvodnje poluvodiča. Njihove vrhunske tehničke prednosti prvenstveno se ogledaju u sljedećim aspektima:

1. Vrhunska čistoća i ultra niska kontaminacija
Korištenjem sirovina ultra visoke čistoće osiguravamo da proizvod ima izuzetno nizak sadržaj metalnih iona (manje od 1 ppm za Na, K, Fe i Ca). Minimalno taloženje na visokim temperaturama učinkovito sprječava kontaminaciju pločica, osiguravajući visok prinos čipa i pouzdanost, što ih čini idealnim izborom za one koji teže savršenstvu procesa.
2. Izvrsne toplinske performanse i stabilnost
Naši SiC waferi posjeduju izuzetno visoku toplinsku vodljivost i izvrsnu otpornost na toplinske udare. Mogu podnijeti brze temperaturne fluktuacije od sobne temperature do 1600 ℃ bez pucanja ili deformacija, osiguravajući ponovljivost i konzistentnost procesa, značajno smanjujući neplanirane zastoje zbog problema s nosačem.
3. Izvanredna otpornost na koroziju i mehanička čvrstoća
Visoka tvrdoća i jaka otpornost na habanje, uz iznimnu otpornost na kisele i alkalne sredine, daleko nadmašuju kvarc i grafit. Njegova iznimna mehanička čvrstoća učinkovito sprječava stvaranje čestica tijekom čestog automatiziranog rukovanja, značajno produžujući njegov vijek trajanja i smanjujući ukupne operativne troškove.
4. Precizan dizajn i izvrsna konzistentnost
Koristeći napredne tehnologije oblikovanja i obrade, osiguravamo da svaki čamac za pločice ima precizne geometrijske dimenzije i izvrsnu točnost površine, osiguravajući ujednačen razmak pločica i stabilan protok zraka.

Čišćenje i održavanje SiC wafera:
Zahtijeva redovito čišćenje kako bi se uklonile potencijalne naslage;
Koristi specijalizirana sredstva i metode čišćenja kako bi se izbjegla oštećenja;