Kaseta i nośnik płytek SiC

Kaseta i nośnik płytek SiC

Kaseta z waflem z węglika krzemuSłuży przede wszystkim do podtrzymywania i transportu płytek półprzewodnikowych w wysokotemperaturowych procesach obróbki cieplnej, takich jak dyfuzja, utlenianie i wyżarzanie. Jego parametry bezpośrednio wpływają na jakość płytek i wydajność produkcji.

Projekt konstrukcyjny łódki z płytek węglika krzemu:
Zwykle ma strukturę szczelinową lub grzebieniową;
Wiele gniazd do umieszczania i oddzielania płytek;
Zaprojektowano z myślą o rozłożeniu przepływu gazu, zapewniając równomierne ogrzewanie i chłodzenie;
Nadaje się do pieców pionowych i poziomych;
Przeznaczone do płytek o różnych rozmiarach, takich jak 3 cale, 4 cale, 6 cali, 8 cali, 12 cali.

Łódeczki z węglika krzemu firmy VET Energy są wytwarzane z wykorzystaniem zaawansowanej technologii spiekania i zaprojektowane specjalnie, aby spełnić rygorystyczne wymagania dotyczące nośników procesowych w zaawansowanej produkcji półprzewodników. Ich wyjątkowe zalety techniczne znajdują odzwierciedlenie przede wszystkim w następujących aspektach:

1. Najwyższa czystość i wyjątkowo niskie zanieczyszczenie
Wykorzystując surowce o ultrawysokiej czystości, zapewniamy produkt o wyjątkowo niskiej zawartości jonów metali (poniżej 1 ppm dla Na, K, Fe i Ca). Minimalne wytrącanie w wysokich temperaturach skutecznie zapobiega zanieczyszczeniu wafli, zapewniając wysoką wydajność i niezawodność chipów, co czyni je idealnym wyborem dla firm dążących do perfekcji procesu.
2. Doskonała wydajność termiczna i stabilność
Nasze łódki z płytek SiC charakteryzują się wyjątkowo wysoką przewodnością cieplną i doskonałą odpornością na szok termiczny. Wytrzymują one gwałtowne wahania temperatury od temperatury pokojowej do 1600°C bez pęknięć i odkształceń, zapewniając powtarzalność i spójność procesu, a tym samym znacznie redukując nieplanowane przestoje spowodowane problemami z nośnikiem.
3. Wyjątkowa odporność na korozję i wytrzymałość mechaniczna
Wysoka twardość i wysoka odporność na zużycie, a także wyjątkowa odporność na działanie środowiska kwaśnego i zasadowego, znacznie przewyższają kwarc i grafit. Wyjątkowa wytrzymałość mechaniczna skutecznie zapobiega tworzeniu się cząstek podczas częstego, zautomatyzowanego transportu, co znacznie wydłuża żywotność i obniża ogólne koszty eksploatacji.
4. Precyzyjna konstrukcja i doskonała spójność
Wykorzystując zaawansowane technologie formowania i przetwarzania, zapewniamy, że każda łódeczka waflowa ma precyzyjne wymiary geometryczne i doskonałą dokładność powierzchni, co gwarantuje równomierne odstępy między płytkami i stabilny przepływ powietrza.

Czyszczenie i konserwacja łodzi z płytkami SiC:
Wymaga regularnego czyszczenia w celu usunięcia potencjalnych osadów;
Stosuje specjalistyczne środki i metody czyszczące, aby uniknąć uszkodzeń;