SiC Wafer кассет болон зөөгч

SiC Wafer кассет болон зөөгч

Цахиурын карбидын вафлины кассетЭнэ нь голчлон хагас дамжуулагч вафлийн өндөр температурт дулааны процесст, тухайлбал диффуз, исэлдэлт, шарах процесст вафлигуудыг дэмжих, тээвэрлэх зориулалттай. Үүний гүйцэтгэл нь вафлийн бүтээгдэхүүний чанар болон үйлдвэрлэлийн үр ашигт шууд нөлөөлдөг.

Цахиурын карбидын вафли завины бүтцийн загварууд:
Ерөнхийдөө үүртэй эсвэл сам хэлбэртэй бүтэцтэй байдаг;
Вафли байрлуулах болон салгах олон үүр;
Хийн урсгалын тархалтыг харгалзан үзэх, жигд халаалт, хөргөлтийг хангах зориулалттай;
Босоо болон хэвтээ зууханд тохиромжтой;
3 инч, 4 инч, 6 инч, 8 инч, 12 инчийн вафли гэх мэт янз бүрийн хэмжээтэй зориулалттай.

VET Energy компанийн цахиурын карбидын вафли завь нь дэвшилтэт шаталтын технологийг ашиглан бүтээгдсэн бөгөөд дэвшилтэт хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн хатуу процессын тээвэрлэгчийн шаардлагыг хангахаар тусгайлан бүтээгдсэн. Тэдгээрийн давуу тал нь голчлон дараах талуудад тусгагдсан болно.

1. Хамгийн цэвэр ариун байдал ба маш бага бохирдол
Бид хэт өндөр цэвэршилттэй түүхий эдийг ашиглан бүтээгдэхүүн нь маш бага металл ионы агууламжтай (Na, K, Fe, Ca-ийн агууламж 1 ppm-ээс бага) гэдгийг баталгаажуулдаг. Өндөр температурт хамгийн бага тунадас орох нь вафлийн бохирдлоос үр дүнтэй сэргийлж, өндөр чипс гарц, найдвартай байдлыг хангаж, процессыг төгс болгохыг эрмэлздэг хүмүүст тохиромжтой сонголт болгодог.
2. Маш сайн дулааны гүйцэтгэл ба тогтвортой байдал
Манай SiC вафли завь нь маш өндөр дулаан дамжуулалттай бөгөөд дулааны цохилтод маш сайн тэсвэртэй. Эдгээр нь өрөөний температураас 1600℃ хүртэлх температурын огцом хэлбэлзлийг хагарал, хэв гажилтгүйгээр тэсвэрлэх чадвартай бөгөөд энэ нь үйл явцын давтагдах байдал, тогтвортой байдлыг хангаж, тээвэрлэгчийн асуудлаас болж төлөвлөөгүй зогсолтыг эрс багасгадаг.
3. Онцгой зэврэлтээс хамгаалах чадвар ба механик бат бөх чанар
Өндөр хатуулаг, элэгдэлд тэсвэртэй байдал, хүчиллэг болон шүлтлэг орчинд онцгой тэсвэртэй байдал нь кварц болон бал чулуунаас хамаагүй илүү юм. Түүний онцгой механик бат бөх чанар нь байнга автоматжуулсан ачааллын үед бөөмс үүсэхээс сэргийлж, ашиглалтын хугацааг мэдэгдэхүйц уртасгаж, нийт ашиглалтын зардлыг бууруулдаг.
4. Нарийвчлалтай дизайн ба маш сайн тогтвортой байдал
Дэвшилтэт хэвлэх, боловсруулах технологийг ашиглан бид вафли завь бүрийг нарийн геометрийн хэмжээстэй, гадаргуугийн маш сайн нарийвчлалтай байлгаж, вафли хоорондын зай жигд, агаарын тогтвортой урсгалыг хангадаг.

SiC вафли завины цэвэрлэгээ, засвар үйлчилгээ:
Боломжит хуримтлалыг арилгахын тулд тогтмол цэвэрлэгээ шаарддаг;
Гэмтлээс зайлсхийхийн тулд тусгай цэвэрлэгээний уусмал, аргыг ашигладаг;