Casét a Chludwr Wafer SiC

Casét a Chludwr Wafer SiC

Casét wafer silicon carbidyn bennaf ar gyfer cynnal a chludo'r wafers mewn prosesau thermol tymheredd uchel o wafers lled-ddargludyddion fel trylediad, ocsidiad ac anelio. Mae ei berfformiad yn effeithio'n uniongyrchol ar ansawdd cynnyrch wafer ac effeithlonrwydd cynhyrchu.

Dyluniadau strwythurol cwch wafer silicon carbid:
Fel arfer mae ganddo strwythur holltog neu debyg i grib;
Slotiau lluosog ar gyfer gosod a gwahanu wafferi;
Wedi'i gynllunio i ystyried dosbarthiad llif nwy, gan sicrhau gwresogi ac oeri unffurf;
Addas ar gyfer ffwrnais fertigol a ffwrnais lorweddol;
Wedi'i gynllunio ar gyfer gwahanol feintiau fel wafers 3 modfedd, 4 modfedd, 6 modfedd, 8 modfedd, 12 modfedd.

Mae cychod waffer silicon carbid VET Energy wedi'u crefftio gan ddefnyddio technoleg sinteru uwch ac wedi'u cynllunio'n benodol i fodloni gofynion cludwr proses llym gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion uwch. Mae eu manteision technegol uwchraddol yn cael eu hadlewyrchu'n bennaf yn yr agweddau canlynol:

1. Purdeb Eithaf a Halogiad Ultra-Isel
Gan ddefnyddio deunyddiau crai pur iawn, rydym yn sicrhau bod gan y cynnyrch gynnwys ïonau metel hynod o isel (llai nag 1 ppm ar gyfer Na, K, Fe, a Ca). Mae gwlybaniaeth leiaf ar dymheredd uchel yn atal halogiad waffer yn effeithiol, gan sicrhau cynnyrch sglodion uchel a dibynadwyedd, gan eu gwneud yn ddewis delfrydol i'r rhai sy'n ymdrechu am berffeithrwydd prosesau.
2. Perfformiad Thermol a Sefydlogrwydd Rhagorol
Mae gan ein cwch waffer SiC ddargludedd thermol eithriadol o uchel a gwrthwynebiad sioc thermol rhagorol. Gallant wrthsefyll amrywiadau tymheredd cyflym o dymheredd ystafell i 1600℃ heb gracio na dadffurfio, gan sicrhau ailadroddadwyedd a chysondeb prosesau, gan leihau amser segur heb ei gynllunio yn sylweddol oherwydd problemau cludwyr.
3. Gwrthiant Cyrydiad Eithriadol a Chryfder Mecanyddol
Mae caledwch uchel a gwrthiant cryf i wisgo, ynghyd â gwrthiant eithriadol i amgylcheddau asidig ac alcalïaidd, yn rhagori o bell ffordd ar gwarts a graffit. Mae ei gryfder mecanyddol eithriadol yn atal cynhyrchu gronynnau yn effeithiol yn ystod trin awtomataidd mynych, gan ymestyn ei oes gwasanaeth yn sylweddol a lleihau costau gweithredu cyffredinol.
4. Dylunio Manwl a Chysondeb Rhagorol
Gan fanteisio ar dechnolegau mowldio a phrosesu uwch, rydym yn sicrhau bod gan bob cwch wafer ddimensiynau geometrig manwl gywir a chywirdeb arwyneb rhagorol, gan sicrhau bylchau wafer unffurf a llif aer sefydlog.

Glanhau a Chynnal a Chadw cwch wafer SiC:
Angen glanhau'n rheolaidd i gael gwared ar waddodion posibl;
Yn defnyddio atebion a dulliau glanhau arbenigol i osgoi difrod;