Кассета и носитель для кремниевых пластин SiC

Кассета и носитель для кремниевых пластин SiC

кассета из кремниевой карбидной пластиныОн предназначен в первую очередь для поддержки и транспортировки пластин в высокотемпературных термических процессах обработки полупроводниковых пластин, таких как диффузия, окисление и отжиг. Его характеристики напрямую влияют на качество выпускаемой продукции и эффективность производства.

Конструкция лодочки из кремниево-карбидной пластины:
Обычно имеет щелевую или гребенчатую структуру;
Несколько слотов для размещения и разделения пластин;
Конструкция учитывает распределение газового потока, обеспечивая равномерный нагрев и охлаждение;
Подходит для вертикальных и горизонтальных печей;
Предназначен для вафель разных размеров: 3, 4, 6, 8 и 12 дюймов.

Лодочки из карбида кремния компании VET Energy изготавливаются с использованием передовой технологии спекания и специально разработаны для соответствия строгим требованиям к технологическим носителям в современном полупроводниковом производстве. Их превосходные технические преимущества в первую очередь проявляются в следующих аспектах:

1. Исключительная чистота и сверхнизкий уровень загрязнения.
Используя сырье сверхвысокой чистоты, мы гарантируем чрезвычайно низкое содержание ионов металлов в продукте (менее 1 ppm для Na, K, Fe и Ca). Минимальное осаждение при высоких температурах эффективно предотвращает загрязнение пластин, обеспечивая высокую производительность и надежность чипов, что делает их идеальным выбором для тех, кто стремится к совершенству технологического процесса.
2. Превосходные тепловые характеристики и стабильность.
Наши литники для кремниевых пластин обладают чрезвычайно высокой теплопроводностью и превосходной термостойкостью. Они выдерживают резкие перепады температуры от комнатной до 1600℃ без растрескивания или деформации, обеспечивая повторяемость и стабильность процесса, что значительно сокращает незапланированные простои из-за проблем с литниками.
3. Исключительная коррозионная стойкость и механическая прочность.
Высокая твердость и износостойкость, а также исключительная устойчивость к кислотным и щелочным средам значительно превосходят кварц и графит. Исключительная механическая прочность эффективно предотвращает образование частиц при частой автоматизированной обработке, значительно продлевая срок службы и снижая общие эксплуатационные расходы.
4. Точная конструкция и превосходная стабильность.
Благодаря использованию передовых технологий формования и обработки, мы гарантируем, что каждая лодочка для вафель имеет точные геометрические размеры и превосходную чистоту поверхности, обеспечивая равномерное расстояние между вафельными пластинами и стабильный воздушный поток.

Очистка и техническое обслуживание лодочек с кремниевыми пластинами SiC:
Требуется регулярная чистка для удаления возможных отложений;
Использует специальные чистящие средства и методы для предотвращения повреждений;