SiC plokštelių kasetė ir nešiklis

SiC plokštelių kasetė ir nešiklis

Silicio karbido plokštelių kasetėdaugiausia skirtas puslaidininkinių plokštelių laikymui ir transportavimui aukštos temperatūros terminiuose procesuose, tokiuose kaip difuzija, oksidacija ir atkaitinimas. Jo veikimas tiesiogiai veikia plokštelių gaminių kokybę ir gamybos efektyvumą.

Silicio karbido plokštelių valties konstrukciniai projektai:
Paprastai turi plyšinę arba šukuotą struktūrą;
Keli lizdai plokštelėms įdėti ir atskirti;
Sukurta atsižvelgiant į dujų srauto pasiskirstymą, užtikrinant vienodą šildymą ir vėsinimą;
Tinka vertikaliai ir horizontaliai krosnims;
Sukurta įvairių dydžių plokštėms, tokioms kaip 3 colių, 4 colių, 6 colių, 8 colių, 12 colių.

„VET Energy“ silicio karbido plokštelių valtys pagamintos naudojant pažangią sukepinimo technologiją ir yra specialiai sukurtos taip, kad atitiktų griežtus pažangios puslaidininkių gamybos procesų nešėjų reikalavimus. Jų pranašesni techniniai pranašumai pirmiausia atsispindi šiuose aspektuose:

1. Visiškas grynumas ir itin mažas užterštumas
Naudodami itin grynas žaliavas, užtikriname, kad produkte būtų itin mažas metalų jonų kiekis (Na, K, Fe ir Ca mažiau nei 1 ppm). Minimalus kritulių kiekis aukštoje temperatūroje efektyviai apsaugo nuo plokštelių užteršimo, užtikrindamas didelę lustų išeigą ir patikimumą, todėl tai idealus pasirinkimas tiems, kurie siekia tobulo proceso.
2. Puikus šiluminis našumas ir stabilumas
Mūsų SiC plokštelių valtys pasižymi itin dideliu šilumos laidumu ir puikiu atsparumu šiluminiam smūgiui. Jos gali atlaikyti staigius temperatūros svyravimus nuo kambario temperatūros iki 1600 ℃ be įtrūkimų ar deformacijų, užtikrindamos proceso kartojamumą ir nuoseklumą, žymiai sumažindamos neplanuotas prastovas dėl nešėjų problemų.
3. Ypatingas atsparumas korozijai ir mechaninis stiprumas
Didelis kietumas ir didelis atsparumas dilimui, kartu su išskirtiniu atsparumu rūgštinei ir šarminei aplinkai, gerokai lenkia kvarcą ir grafitą. Išskirtinis mechaninis stiprumas efektyviai apsaugo nuo dalelių susidarymo dažno automatizuoto apdorojimo metu, žymiai pailgindamas tarnavimo laiką ir sumažindamas bendras eksploatavimo išlaidas.
4. Tikslus dizainas ir puikus nuoseklumas
Naudodami pažangias liejimo ir apdorojimo technologijas, užtikriname, kad kiekviena plokštelių valtis turėtų tikslius geometrinius matmenis ir puikų paviršiaus tikslumą, užtikrindama vienodą plokštelių išdėstymą ir stabilų oro srautą.

SiC plokštelių valties valymas ir priežiūra:
Reikalingas reguliarus valymas, siekiant pašalinti galimas nuosėdas;
Naudoja specializuotus valymo tirpalus ir metodus, kad būtų išvengta žalos;