Касета та носій для пластин SiC

Касета та носій для пластин SiC

Касета з пластинами карбіду кремніюпризначений, головним чином, для підтримки та транспортування пластин у високотемпературних термічних процесах напівпровідникових пластин, таких як дифузія, окислення та відпал. Його характеристики безпосередньо впливають на якість пластин та ефективність виробництва.

Структурні конструкції човна з карбід-кремнієвих пластин:
Зазвичай має прорізнуту або гребінчасту структуру;
Кілька слотів для розміщення та розділення пластин;
Розроблено з урахуванням розподілу потоку газу, забезпечуючи рівномірний нагрів та охолодження;
Підходить для вертикальної та горизонтальної печі;
Розроблено для пластин різних розмірів, таких як 3-дюймові, 4-дюймові, 6-дюймові, 8-дюймові, 12-дюймові.

Кремнієві карбід-кремнієві пластини-човники від VET Energy виготовляються з використанням передової технології спікання та спеціально розроблені для задоволення суворих вимог до технологічних носіїв передового виробництва напівпровідників. Їхні чудові технічні переваги відображаються, перш за все, в таких аспектах:

1. Абсолютна чистота та наднизький рівень забруднення
Використовуючи надвисокочисту сировину, ми гарантуємо надзвичайно низький вміст іонів металів у продукті (менше 1 ppm для Na, K, Fe та Ca). Мінімальне осадження за високих температур ефективно запобігає забрудненню пластин, забезпечуючи високий вихід кристалів та надійність, що робить їх ідеальним вибором для тих, хто прагне досконалості процесу.
2. Відмінні теплові характеристики та стабільність
Наші кремнієві пластини-човники мають надзвичайно високу теплопровідність та чудову стійкість до термоударів. Вони можуть витримувати швидкі коливання температури від кімнатної до 1600℃ без розтріскування чи деформації, забезпечуючи повторюваність та стабільність процесу, значно зменшуючи незапланований час простою через проблеми з носієм.
3. Надзвичайна стійкість до корозії та механічна міцність
Висока твердість і висока зносостійкість, а також виняткова стійкість до кислотних і лужних середовищ, значно перевершують кварц і графіт. Його виняткова механічна міцність ефективно запобігає утворенню частинок під час частого автоматизованого поводження, значно подовжуючи термін його служби та знижуючи загальні експлуатаційні витрати.
4. Точний дизайн та відмінна узгодженість
Використовуючи передові технології лиття та обробки, ми гарантуємо, що кожен вафельний човник має точні геометричні розміри та відмінну точність поверхні, забезпечуючи рівномірну відстань між пластинами та стабільний потік повітря.

Очищення та обслуговування човника з вафельних пластин SiC:
Потребує регулярного очищення для видалення потенційних відкладень;
Використовує спеціальні засоби та методи очищення, щоб уникнути пошкоджень;