SiC vafeļu kasete un nesējs

SiC vafeļu kasete un nesējs

Silīcija karbīda vafeļu kasetegalvenokārt paredzēts pusvadītāju plākšņu atbalstam un transportēšanai augstas temperatūras termiskajos procesos, piemēram, difūzijā, oksidācijā un atkvēlināšanā. Tās veiktspēja tieši ietekmē plākšņu izstrādājumu kvalitāti un ražošanas efektivitāti.

Silīcija karbīda vafeļu laivas konstrukcijas:
Parasti ir ar spraugām vai ķemmveida struktūru;
Vairākas spraugas vafeļu ievietošanai un atdalīšanai;
Izstrādāts, ņemot vērā gāzes plūsmas sadalījumu, nodrošinot vienmērīgu sildīšanu un dzesēšanu;
Piemērots vertikālām un horizontālām krāsnīm;
Paredzēts dažādiem izmēriem, piemēram, 3 collu, 4 collu, 6 collu, 8 collu, 12 collu vafelēm.

VET Energy silīcija karbīda plākšņu laivas ir izgatavotas, izmantojot progresīvu sintēzes tehnoloģiju, un ir īpaši izstrādātas, lai atbilstu stingrajām progresīvas pusvadītāju ražošanas procesa nesēju prasībām. To izcilās tehniskās priekšrocības galvenokārt atspoguļojas šādos aspektos:

1. Maksimāla tīrība un īpaši zems piesārņojums
Izmantojot īpaši augstas tīrības pakāpes izejvielas, mēs nodrošinām, ka produktam ir ārkārtīgi zems metālu jonu saturs (mazāk nekā 1 ppm Na, K, Fe un Ca). Minimāla nokrišņu veidošanās augstās temperatūrās efektīvi novērš plākšņu piesārņojumu, nodrošinot augstu mikroshēmu ražu un uzticamību, padarot tās par ideālu izvēli tiem, kas tiecas pēc procesa pilnības.
2. Lieliska termiskā veiktspēja un stabilitāte
Mūsu SiC plātņu laivām ir ārkārtīgi augsta siltumvadītspēja un lieliska termiskā trieciena izturība. Tās var izturēt straujas temperatūras svārstības no istabas temperatūras līdz 1600 ℃ bez plaisāšanas vai deformācijas, nodrošinot procesa atkārtojamību un konsekvenci, ievērojami samazinot neplānotas dīkstāves nesēju problēmu dēļ.
3. Ārkārtas izturība pret koroziju un mehāniskā izturība
Augsta cietība un spēcīga nodilumizturība, kā arī izcila izturība pret skābu un sārmainu vidi, ievērojami pārspēj kvarcu un grafītu. Tā izcilā mehāniskā izturība efektīvi novērš daļiņu veidošanos biežas automatizētas apstrādes laikā, ievērojami pagarinot tā kalpošanas laiku un samazinot kopējās ekspluatācijas izmaksas.
4. Precīzs dizains un lieliska konsekvence
Izmantojot progresīvas formēšanas un apstrādes tehnoloģijas, mēs nodrošinām, ka katrai plāksnīšu laivai ir precīzi ģeometriskie izmēri un lieliska virsmas precizitāte, nodrošinot vienmērīgu plāksnīšu atstarpi un stabilu gaisa plūsmu.

SiC vafeļu laivas tīrīšana un apkope:
Nepieciešama regulāra tīrīšana, lai noņemtu iespējamos nogulsnes;
Izmanto specializētus tīrīšanas līdzekļus un metodes, lai izvairītos no bojājumiem;