SiC-Obleta Kasedo kaj Portilo

SiC-Obleta Kasedo kaj Portilo

Siliciokarbida oblata kasedoestas ĉefe por subteni kaj transporti la oblatojn en alttemperaturaj termikaj procezoj de duonkonduktaĵaj oblatoj kiel ekzemple difuzo, oksidado kaj kalcinado. Ĝia funkciado rekte influas la kvaliton kaj produktadan efikecon de la oblato-produkto.

La strukturaj dezajnoj de silicia karbida vafla boato:
Tipe havas fendetan aŭ kombilsimilan strukturon;
Multoblaj fendoj por lokigo kaj apartigo de oblatoj;
Dizajnita por konsideri la distribuadon de gasfluo, certigante unuforman hejtadon kaj malvarmigon;
Taŭga por vertikala forno kaj horizontala forno;
Dezajnita por malsamaj grandecoj kiel 3-colaj, 4-colaj, 6-colaj, 8-colaj, 12-colaj oblatoj.

La siliciaj karbidaj obleboatoj de VET Energy estas kreitaj per altnivela sinteriga teknologio kaj estas specife desegnitaj por plenumi la striktajn postulojn pri procezportiloj de altnivela semikonduktaĵa fabrikado. Iliaj superaj teknikaj avantaĝoj ĉefe speguliĝas en la jenaj aspektoj:

1. Plej alta pureco kaj ekstreme malalta poluado
Uzante ultra-purecajn krudmaterialojn, ni certigas, ke la produkto havas ekstreme malaltan enhavon de metaljonoj (malpli ol 1 ppm por Na, K, Fe, kaj Ca). Minimuma precipitaĵo je altaj temperaturoj efike malhelpas poluadon de la oblatoj, certigante altan rendimenton kaj fidindecon de la ĉipo, igante ilin ideala elekto por tiuj, kiuj strebas al proceza perfekteco.
2. Bonega Termika Elfaro kaj Stabileco
Niaj SiC-platboatoj posedas ekstreme altan varmokonduktecon kaj bonegan varmoŝokreziston. Ili povas elteni rapidajn temperaturfluktuojn de ĉambra temperaturo ĝis 1600℃ sen fendiĝo aŭ deformado, certigante ripeteblecon kaj konstantecon de la procezo, signife reduktante neplanitan malfunkcitempon pro problemoj kun la ŝarĝo-kartoĉigiloj.
3. Eksterordinara Kororezisto kaj Mekanika Forto
Alta malmoleco kaj forta eluziĝrezisto, kune kun escepta rezisto al acidaj kaj alkalaj medioj, multe superas kvarcon kaj grafiton. Ĝia escepta mekanika forto efike malhelpas partiklan generadon dum ofta aŭtomata manipulado, signife plilongigante ĝian servodaŭron kaj reduktante la totalajn funkciajn kostojn.
4. Preciza Dezajno kaj Bonega Konsistenco
Utiligante progresintajn muldajn kaj prilaborajn teknologiojn, ni certigas, ke ĉiu vafla boato posedas precizajn geometriajn dimensiojn kaj bonegan surfacan precizecon, certigante unuforman vaflan interspacon kaj stabilan aerfluon.

La Purigado kaj Prizorgado de SiC-vafla Boato:
Postulas regulan purigadon por forigi eblajn deponejojn;
Uzas specialajn purigajn solvojn kaj metodojn por eviti difekton;