Proses twf crisial silicon carbide a thechnoleg offer

1. Llwybr technoleg twf crisial SiC

PVT (dull sublimiad),

HTCVD (CVD tymheredd uchel),

LPE(dull cyfnod hylif)

mae tri cyffredinGrisial SiCdulliau tyfu;

Y dull mwyaf cydnabyddedig yn y diwydiant yw'r dull PVT, ac mae mwy na 95% o grisialau sengl SiC yn cael eu tyfu gan y dull PVT;

DiwydiannolGrisial SiCMae ffwrnais twf yn defnyddio llwybr technoleg PVT prif ffrwd y diwydiant.

2. Proses twf crisial SiC

Synthesis powdr-triniaeth grisial hadau-twf crisial-anelio ingot-wafferprosesu.

3. Dull PVT i dyfuCrisialau SiC

Mae'r deunydd crai SiC wedi'i osod ar waelod y croeslin graffit, ac mae'r grisial hadau SiC ar frig y croeslin graffit. Drwy addasu'r inswleiddio, mae tymheredd y deunydd crai SiC yn uwch ac mae tymheredd y grisial hadau yn is. Mae'r deunydd crai SiC ar dymheredd uchel yn dyrchafu ac yn dadelfennu i sylweddau cyfnod nwy, sy'n cael eu cludo i'r grisial hadau gyda thymheredd is ac yn crisialu i ffurfio crisialau SiC. Mae'r broses dyfu sylfaenol yn cynnwys tair proses: dadelfennu a dyrchafu deunyddiau crai, trosglwyddo màs, a chrisialu ar grisialau hadau.

Dadelfennu a dyrnu deunyddiau crai:

SiC(S)= Si(g)+C(S)

2SiC(S)= Si(g) + SiC2(g)

2SiC(S)=C(S)+SiC2(g)

Yn ystod trosglwyddo màs, mae anwedd Si yn adweithio ymhellach â wal y pair graffit i ffurfio SiC2 a Si2C:

Si(g)+2C(S) =SiC2(g)

2Si(g) +C(S)=Si2C(g)

Ar wyneb y grisial hadau, mae'r tair cyfnod nwy yn tyfu trwy'r ddwy fformiwla ganlynol i gynhyrchu crisialau silicon carbid:

SiC2_(g)+Si2C_(g)=3SiC_(au)

Si_(g)+SiC2_(g)=2SiC_(S)

4. Dull PVT i dyfu llwybr technoleg offer twf crisial SiC

Ar hyn o bryd, mae gwresogi sefydlu yn llwybr technoleg cyffredin ar gyfer ffwrneisi twf crisial SiC dull PVT;

Gwresogi sefydlu allanol coil a gwresogi ymwrthedd graffit yw cyfeiriad datblyguGrisial SiCffwrneisi twf.

5. Ffwrnais twf gwresogi sefydlu SiC 8 modfedd

(1) Gwresogi'rcrwsibl graffit elfen wresogitrwy anwythiad maes magnetig; rheoleiddio'r maes tymheredd trwy addasu'r pŵer gwresogi, safle'r coil, a strwythur yr inswleiddio;

(2) Gwresogi'r croeslin graffit trwy wresogi gwrthiant graffit a dargludiad ymbelydredd thermol; rheoli'r maes tymheredd trwy addasu cerrynt y gwresogydd graffit, strwythur y gwresogydd, a rheolaeth cerrynt y parth;