سلڪون ڪاربائيڊ ڪرسٽل جي واڌ جو عمل ۽ سامان ٽيڪنالاجي

1. SiC ڪرسٽل واڌ ٽيڪنالاجي رستو

پي وي ٽي (سبليميشن طريقو)،

HTCVD (اعليٰ درجه حرارت CVD)،

ايل پي اي(مائع مرحلي جو طريقو)

ٽي عام آهنسي سي ڪرسٽلواڌ جا طريقا؛

صنعت ۾ سڀ کان وڌيڪ تسليم ٿيل طريقو PVT طريقو آهي، ۽ 95 سيڪڙو کان وڌيڪ SiC سنگل ڪرسٽل PVT طريقي سان پوکيا ويندا آهن؛

صنعتيسي سي ڪرسٽلگروٿ فرنس انڊسٽري جي مين اسٽريم پي وي ٽي ٽيڪنالاجي روٽ استعمال ڪري ٿي.

2. SiC ڪرسٽل جي واڌ جو عمل

پائوڊر سنٿيسس- ٻج جي ڪرسٽل جو علاج- ڪرسٽل جي واڌ- انگوٽ اينيلنگ-ويفرپروسيسنگ.

3. وڌڻ لاءِ PVT طريقوسي سي ڪرسٽل

SiC خام مال گريفائيٽ ڪروسيبل جي تري ۾ رکيل آهي، ۽ SiC ٻج ڪرسٽل گريفائيٽ ڪروسيبل جي چوٽي تي آهي. موصليت کي ترتيب ڏيڻ سان، SiC خام مال تي گرمي پد وڌيڪ هوندو آهي ۽ ٻج ڪرسٽل تي گرمي پد گهٽ هوندو آهي. SiC خام مال تيز گرمي پد تي گئس فيز مادن ۾ سبليميٽ ۽ ڊهي ويندو آهي، جيڪي گهٽ درجه حرارت سان ٻج ڪرسٽل ڏانهن منتقل ڪيا ويندا آهن ۽ ڪرسٽلائيز ٿي SiC ڪرسٽل ٺاهيندا آهن. بنيادي واڌ جي عمل ۾ ٽي عمل شامل آهن: خام مال جي سڙڻ ۽ سبليميشن، ماس ٽرانسفر، ۽ ٻج ڪرسٽل تي ڪرسٽلائيزيشن.

خام مال جي سڙڻ ۽ ذيلي ڪرڻ:

سي سي (ايس) = سي (جي) + سي (ايس)

2SiC(S) = Si(g)+ SiC2(g)

2SiC(S) = C(S) + SiC2(g)

ماس ٽرانسفر دوران، Si وانپ گريفائيٽ ڪروسيبل وال سان وڌيڪ رد عمل ڪري SiC2 ۽ Si2C ٺاهيندو آهي:

سي (جي) + 2 سي (ايس) = سي سي 2 (جي)

2Si(g) +C(S) =Si2C(g)

ٻج جي ڪرسٽل جي مٿاڇري تي، ٽي گئس مرحلا هيٺ ڏنل ٻن فارمولن ذريعي وڌندا آهن ته جيئن سلڪون ڪاربائيڊ ڪرسٽل پيدا ٿين:

سي سي 2_(جي)+سي 2 سي_(جي)= 3 ايس آءِ سي_(ايس)

Si_(جي)+سي سي 2_(جي)= 2 ايس آءِ سي_(ايس)

4. SiC ڪرسٽل جي واڌ جي سامان جي ٽيڪنالاجي جو رستو وڌائڻ لاءِ PVT طريقو

هن وقت، انڊڪشن هيٽنگ PVT طريقي جي SiC ڪرسٽل گروٿ فرنس لاءِ هڪ عام ٽيڪنالاجي رستو آهي؛

ڪوئل خارجي انڊڪشن حرارتي ۽ گريفائٽ مزاحمتي حرارتي ترقي جي هدايت آهنسي سي ڪرسٽلواڌ جون ڀٽيون.

5. 8 انچ سي آءِ سي انڊڪشن هيٽنگ گروٿ فرنس

(1) گرم ڪرڻگريفائيٽ ڪروسيبل گرم ڪرڻ وارو عنصرمقناطيسي ميدان جي انڊڪشن ذريعي؛ حرارتي طاقت، ڪوئلي جي پوزيشن، ۽ موصليت جي جوڙجڪ کي ترتيب ڏيندي گرمي پد جي ميدان کي منظم ڪرڻ؛

(2) گريفائيٽ مزاحمتي حرارتي ۽ حرارتي تابڪاري جي وهڪري ذريعي گريفائيٽ ڪروسيبل کي گرم ڪرڻ؛ گريفائيٽ هيٽر جي ڪرنٽ، هيٽر جي بناوت، ۽ زون ڪرنٽ ڪنٽرول کي ترتيب ڏيندي گرمي پد جي ميدان کي ڪنٽرول ڪرڻ؛