Njira yokulira kristalo ya silicon carbide ndi ukadaulo wa zida

1. Njira yaukadaulo yokulira makristalo a SiC

PVT (njira yochepetsera kutentha),

HTCVD (CVD yotentha kwambiri),

LPE(njira ya gawo lamadzimadzi)

ndi zitatu zofananaSiC kristalonjira zokulira;

Njira yodziwika bwino kwambiri mumakampani ndi njira ya PVT, ndipo makhiristo opitilira 95% a SiC single crystals amalimidwa ndi njira ya PVT;

ZamakampaniSiC kristaloChitofu chokulirapo chimagwiritsa ntchito njira yaukadaulo ya PVT yomwe ikugwiritsidwa ntchito kwambiri mumakampaniwa.

2. Njira yokulira makristalo a SiC

Kupanga ufa-mankhwala a kristalo wa mbewu-kukula kwa kristalo-kunyowa kwa ingot-chikwama cha mkatekukonza.

3. Njira ya PVT yokuliraMakristalo a SiC

Zinthu zopangira za SiC zimayikidwa pansi pa chopangira cha graphite, ndipo kristalo wa mbewu ya SiC amakhala pamwamba pa chopangira cha graphite. Posintha chotenthetsera, kutentha kwa zinthu zopangira za SiC kumakhala kwakukulu ndipo kutentha kwa kristalo wa mbewu kumakhala kotsika. Zinthu zopangira za SiC pa kutentha kwakukulu zimaphwanyidwa ndikuwola kukhala zinthu za gasi, zomwe zimatumizidwa ku kristalo wa mbewu ndi kutentha kochepa ndikupanga makristalo a SiC. Njira yoyambira yokulira imaphatikizapo njira zitatu: kuwola ndi kuphwanyidwa kwa zinthu zopangira, kusamutsa zinthu zambiri, ndi kuphwanyidwa kwa makristalo a mbewu.

Kuwonongeka ndi kuchepetsedwa kwa zipangizo zopangira:

SiC(S)= Si(g)+C(S)

2SiC(S)= Si(g)+ SiC2(g)

2SiC(S)=C(S)+SiC2(g)

Pa nthawi yotumiza zinthu zambiri, Si vapor imakumananso ndi khoma la graphite crucible kuti ipange SiC2 ndi Si2C:

Si(g)+2C(S) =SiC2(g)

2Si(g) +C(S)=Si2C(g)

Pamwamba pa kristalo wa mbewu, magawo atatu a mpweya amakula kudzera mu njira ziwiri zotsatirazi kuti apange makristasi a silicon carbide:

SiC2_(g)+Si2C_(g)=3SiC_(s)

Si_(g)+SiC2_(g)=2SiC_(S)

4. Njira ya PVT yolimira njira yaukadaulo yokulira zida za SiC crystal growth

Pakadali pano, kutentha kwa induction ndi njira yodziwika bwino yaukadaulo wa PVT method SiC crystal growth furnaces;

Kutentha kwakunja kwa coil ndi kutentha kwa graphite ndi njira yopititsira patsogoloSiC kristaloziwiya zokulira.

5. Chitofu chotenthetsera cha SiC chotenthetsera cha mainchesi 8

(1) Kutenthachophikira cha graphite chinthu chotenthetserakudzera mu mphamvu ya maginito; kuwongolera kutentha kwa malo mwa kusintha mphamvu ya kutentha, malo a coil, ndi kapangidwe ka insulation;

(2) Kutenthetsa chotenthetsera cha graphite kudzera mu kutentha kosagwirizana ndi graphite komanso kutentha kwa radiation; kuwongolera kutentha kwa malo mwa kusintha mphamvu ya chotenthetsera cha graphite, kapangidwe ka chotenthetsera, ndi kayendetsedwe ka mphamvu ya zone;