Ìlànà ìdàgbàsókè kírísítà sílíkọ́nì káàbídì àti ìmọ̀ ẹ̀rọ ohun èlò

1. Ọ̀nà ìmọ̀-ẹ̀rọ ìdàgbàsókè kírísítà SiC

PVT (ọ̀nà ìfàsẹ́yìn),

HTCVD (CVD iwọn otutu giga),

LPE(ọ̀nà ìpele omi)

jẹ mẹta ti o wọpọKírísítà SiCawọn ọna idagbasoke;

Ọ̀nà tí a mọ̀ jùlọ ní ilé iṣẹ́ náà ni ọ̀nà PVT, àti pé ó ju 95% àwọn kirisita SiC kan ṣoṣo lọ ni a ń gbìn nípasẹ̀ ọ̀nà PVT;

Ti ṣe ile-iṣẹKírísítà SiCIlé ìgbóná ìdàgbàsókè ń lo ọ̀nà ìmọ̀-ẹ̀rọ PVT pàtàkì ti ilé-iṣẹ́ náà.

2. Ilana idagbasoke kirisita SiC

Ìṣẹ̀dá lulú-ìtọ́jú irúgbìn kirisita-ìdàgbàsókè kirisita-ingot annealing-waferṣíṣe iṣẹ́.

3. Ọ̀nà PVT láti dàgbàÀwọn kirisita SiC

A gbé ohun èlò aise SiC sí ìsàlẹ̀ graphite crucible, àti pé SiC irugbin kristali wà ní orí graphite crucible. Nípa ṣíṣe àtúnṣe ìdábòbò, ìwọ̀n otútù ní ohun èlò aise SiC ga ju àti ìwọ̀n otútù ní ohun èlò aise sí i lọ. Ohun èlò aise SiC ní ìwọ̀n otútù gíga máa ń yọ sí i, ó sì máa ń yọ́ sí i, èyí tí a máa ń gbé lọ sí inú sírísílì irugbin pẹ̀lú ìwọ̀n otútù tó kéré sí i, tí a sì máa ń yọ́ sí i láti ṣẹ̀dá àwọn sírísílì SiC. Ìlànà ìdàgbàsókè ìpìlẹ̀ náà ní àwọn ìlànà mẹ́ta: ìtúpalẹ̀ àti ìtúpalẹ̀ àwọn ohun èlò aise, ìyípadà ibi-pupọ, àti ìtúpalẹ̀ lórí àwọn sírísílì irugbin.

Ìbàjẹ́ àti ìtúpalẹ̀ àwọn ohun èlò aise:

SiC(S)= Si(g)+C(S)

2SiC(S)= Si(g)+ SiC2(g)

2SiC(S)=C(S)+SiC2(g)

Nígbà tí a bá ń gbé ìgbìn kiri, Si vapor tún máa ń ṣe àtúnṣe pẹ̀lú ògiri graphite crucible láti ṣẹ̀dá SiC2 àti Si2C:

Si(g)+2C(S) =SiC2(g)

2Si(g) +C(S)=Si2C(g)

Lórí ojú ìrísí kírísítà irúgbìn náà, àwọn ìpele gáàsì mẹ́ta náà ń dàgbà nípasẹ̀ àwọn fọ́múlá méjì wọ̀nyí láti mú kí àwọn kírísítà kírísítà sílíkọ́nì kábídì jáde:

SiC2_(g)+Si2C_(g)=3SiC_(àwọn)

Si_(g)+SiC2_(g)=2SiC_(S)

4. Ọ̀nà PVT láti gbin ipa ọ̀nà ìmọ̀ ẹ̀rọ ìdàgbàsókè SiC kristali

Lọ́wọ́lọ́wọ́, ìgbóná induction jẹ́ ọ̀nà ìmọ̀-ẹ̀rọ tí ó wọ́pọ̀ fún ọ̀nà PVT SiC crystal growth injuries;

Igbona induction ita Coil ati igbona resistance graphite ni itọsọna idagbasokeKírísítà SiCàwọn ilé ìgbóná ìdàgbàsókè.

5. 8-inch SiC induction heavy heatsink growth induction

(1) Gbígbónáàwopọ̀ graphite ohun elo itutunípasẹ̀ ìfàsẹ́yìn pápá oofa; ṣíṣàkóso pápá iwọn otutu nípa ṣíṣàtúnṣe agbára ìgbóná, ipò ìsopọ̀, àti ìṣètò ìdábòbò;

(2) Gbígbóná graphite crucible nípasẹ̀ gbígbóná graphite resistance àti ìdarí ooru radiation; ṣíṣàkóso pápá otutu nípa ṣíṣe àtúnṣe ìṣàn ti graphite heater, ìṣètò ti hot heater, àti ìṣàkóso ìṣàn zone current;