Ke kaʻina hana ulu kristal silikona carbide a me ka ʻenehana lako

1. Ke ala ʻenehana ulu kristal SiC

PVT (ʻano hana sublimation),

HTCVD (CVD wela kiʻekiʻe),

LPE(ʻano hana pae wai)

ʻekolu mau mea maʻamauʻO ke aniani SiCnā ʻano ulu;

ʻO ke ʻano hana i ʻike nui ʻia ma ka ʻoihana ʻo ia ke ʻano PVT, a ʻoi aku ma mua o 95% o nā kristal SiC hoʻokahi i ulu ʻia e ke ʻano PVT;

ʻOihanaʻO ke aniani SiCHoʻohana ka umu ulu i ke ala ʻenehana PVT maʻamau o ka ʻoihana.

2. Ke kaʻina hana ulu kristal SiC

Hoʻohuihui pauka-lāʻau lapaʻau kristal hua-ulu kristal-annealing ingot-waferka hana ʻana.

3. Ke ʻano hana PVT e ulu aiNā kristal SiC

Hoʻokomo ʻia ka mea maka SiC ma lalo o ke kapuahi graphite, a aia ka kristal hua SiC ma luna o ke kapuahi graphite. Ma ka hoʻoponopono ʻana i ka insulation, ʻoi aku ke kiʻekiʻe o ka mahana ma ka mea maka SiC a emi ka mahana ma ka kristal hua. Hoʻohaʻahaʻa a hoʻoheheʻe ʻia ka mea maka SiC ma ke ana wela kiʻekiʻe i nā mea kinoea, kahi e lawe ʻia ai i ka kristal hua me ka mahana haʻahaʻa a hoʻokalakala e hana i nā kristal SiC. ʻO ke kaʻina hana ulu kumu e pili ana i ʻekolu mau kaʻina hana: ka hoʻohaʻahaʻa ʻana a me ka hoʻohaʻahaʻa ʻana i nā mea maka, ka hoʻoili nuipa, a me ka crystallization ma nā kristal hua.

Ka hoʻoheheʻe ʻana a me ka sublimation o nā mea maka:

SiC(S)= Si(g)+C(S)

2SiC(S)= Si(g)+ SiC2(g)

2SiC(S)=C(S)+SiC2(g)

I ka wā o ka hoʻoili nuipa, hana hou ka mahu Si me ka paia ipu hoʻoheheʻe graphite e hana iā SiC2 a me Si2C:

Si(g)+2C(S) =SiC2(g)

2Si(g) +C(S)=Si2C(g)

Ma luna o ka ʻili o ke kristal hua, ulu nā ʻano kinoea ʻekolu ma o nā ʻano ʻelua e hiki mai ana e hana i nā kristal silicon carbide:

SiC2_(g)+Si2C_(g)=3SiC_(mau)

Si_(g)+SiC2_(g)=2SiC_(S)

4. Ke ʻano PVT e ulu ai i ke ala ʻenehana lako ulu kristal SiC

I kēia manawa, ʻo ka hoʻomehana induction kahi ala ʻenehana maʻamau no nā umu ulu kristal SiC me ke ʻano PVT;

ʻO ka hoʻomehana hoʻokomo waho Coil a me ka hoʻomehana kū'ē graphite ke kuhikuhi hoʻomohala oʻO ke aniani SiCnā umu ulu.

5. 8-'īniha SiC induction ulu umu hoʻomehana

(1) Ke hoʻomehana nei i kaipu hoʻoheheʻe graphite ʻāpana hoʻomehanama o ka hoʻokomo ʻana o ke kahua magnetic; ke hoʻoponopono ʻana i ke kahua mahana ma ka hoʻoponopono ʻana i ka mana hoʻomehana, ke kūlana coil, a me ke ʻano insulation;

(2) Ke hoʻomehana ʻana i ka ipu hoʻoheheʻe graphite ma o ka hoʻomehana ʻana i ke kū'ē ʻana o ka graphite a me ka hoʻoili ʻana o ka radiation thermal; ke kāohi ʻana i ke kahua mahana ma ka hoʻoponopono ʻana i ke au o ka mea hoʻomehana graphite, ke ʻano o ka mea hoʻomehana, a me ka kaohi o ke au o ka ʻāpana;