Faiga o le tuputupu aʻe o le tioata silicon carbide ma tekinolosi meafaigaluega

1. Auala fa'atekinolosi tuputupu a'e tioata SiC

PVT (metotia fa'asu'i),

HTCVD (CVD vevela maualuga),

LPE(metotia o le vaega vai)

e tolu e masani aiKirisitala SiCauala e tuputupu aʻe ai;

O le metotia e sili ona lauiloa i le alamanuia o le metotia PVT, ma e silia ma le 95% o tioata taʻitasi SiC e totoina e ala i le metotia PVT;

Fa'a-atina'einaKirisitala SiCE faʻaaogaina e le ogaumu tuputupu aʻe le auala autū o tekinolosi PVT a le alamanuia.

2. Faiga o le tuputupu aʻe o le tioata SiC

Fa'aputuga o le pauta-togafitiga o fatu tioata-tuputupu a'e o le tioata-fa'asusuina o le ingotfalaoa manifinififa'agasologa.

3. Metotia PVT e fa'atupu aiKirisitala SiC

O le mea mata SiC e tuʻu i le pito i lalo o le ogaumu graphite, ae o le tioata fatu SiC o loʻo i le pito i luga o le ogaumu graphite. I le fetuʻunaʻiina o le insulation, e maualuga ai le vevela i le mea mata SiC ma maualalo ai le vevela i le tioata fatu. O le mea mata SiC i le vevela maualuga e sublimates ma pala i ni mea e iai le kesi, lea e feaveaʻi i le tioata fatu i le vevela maualalo ma faʻamaʻalili e fausia ai tioata SiC. O le faiga autu o le tuputupu aʻe e aofia ai faiga e tolu: faʻamaʻalili ma faʻamaʻalili o mea mata, fesiitaiga o le tele, ma le faʻamaʻalili i luga o tioata fatu.

Fa'aleagaina ma le fa'asusuina o mea mata:

SiC(S)= Si(g)+C(S)

2SiC(S)= Si(g)+ SiC2(g)

2SiC(S)=C(S)+SiC2(g)

I le taimi o le fesiitaiga o le tele o mea, e toe tali atu le ausa o le Si ma le puipui o le ogaumu karapite e fausia ai le SiC2 ma le Si2C:

Si(g)+2C(S) = SiC2(g)

2Si(g) +C(S)=Si2C(g)

I luga o le fogāeleele o le fatu tioata, e tuputupu aʻe vaega kesi e tolu e ala i fua faʻatatau e lua nei e faʻatupu ai tioata silicon carbide:

SiC2_(g)+Si2C_(g)=3SiC_(s)

Si_(g)+SiC2_(g)=2SiC_(S)

4. Metotia PVT e fa'atupu ai le auala fa'atekinolosi o meafaigaluega tuputupu a'e tioata SiC

I le taimi nei, o le faʻavevela o le induction o se auala faʻatekonolosi masani mo le metotia PVT SiC crystal growth ovens;

O le fa'avevela fa'aoso i fafo o le u'amea ma le fa'avevela tete'e i le graphite o le itu lea e atiina ae aiKirisitala SiCogaumu tuputupu aʻe.

5. Ogaumu tuputupu a'e fa'avevela SiC 8-inisi

(1) Fa'avevela leogaumu karapiti elemene fa'avevelae ala i le fa'aosoina o le fanua maneta; fa'atonutonuina o le fanua vevela e ala i le fetu'una'iina o le malosiaga fa'avevela, tulaga o le uaea, ma le fausaga o le insulation;

(2) Fa'avevela le ogaumu karapite e ala i le fa'avevela e tete'e atu i le karapite ma le fa'asalalauina o le vevela; puleaina o le vevela e ala i le fetu'una'i o le tafe o le vevela o le ogaumu karapite, le fausaga o le ogaumu, ma le puleaina o le tafe o le vevela i le sone;