Täiustatud SiC konsoollaba vahvlite töötlemiseks

Lühike kirjeldus:

Vet-china turule toodud täiustatud SiC konsoollaba vahvlite töötlemiseks kasutab kõrgtehnoloogilisi SiC materjale, et parandada vahvlite töötlemise efektiivsust ja täpsust. Vet-china konsoollaba on suurepärase kuumakindluse ja korrosioonikindlusega, tagades vahvlite stabiilse käsitsemise karmides tootmiskeskkondades, muutes selle ideaalseks valikuks tootmissaagise parandamiseks.

Saada meile e-kiri Laadi alla PDF-failina

Toote üksikasjad

Tootesildid

EdasijõudnudSiC konsoolmõlavet-china loodud kiipide töötlemiseks pakub suurepärast lahendust pooljuhtide tootmiseks. See konsoollaba on valmistatud ränikarbiidist (SiC) ning selle kõrge kõvadus ja kuumakindlus võimaldavad sellel säilitada suurepärase jõudluse kõrgel temperatuuril ja söövitavas keskkonnas. Konsoollaba disain võimaldab kiipi töötlemise ajal usaldusväärselt toetada, vähendades killustumise ja kahjustumise ohtu.

SiC konsoolmõlaon spetsiaalne komponent, mida kasutatakse pooljuhtide tootmisseadmetes, näiteks oksüdatsiooniahjus, difusioonahjus ja lõõmutusahjus, mille peamine kasutusala on vahvlite laadimine ja mahalaadimine, toetamine ja transportimine kõrgel temperatuuril toimuvate protsesside ajal.

Levinud struktuuridkohtaSiCckangivastanepnõrgenema: Ühest otsast fikseeritud ja teisest vaba konsoolkonstruktsioon on tavaliselt lameda ja mõlakujulise kujundusega.

VET Energy kasutab kvaliteedi tagamiseks kõrge puhtusastmega rekristalliseerunud ränikarbiidi materjale.

Rekristalliseerunud ränikarbiidi füüsikalised omadused
Kinnisvara	Tüüpiline väärtus
Töötemperatuur (°C)	1600 °C (hapnikuga), 1700 °C (redutseerivas keskkonnas)
SiC sisaldus	> 99,96%
Tasuta Si sisu	< 0,1%
Mahutihedus	2,60–2,70 g/cm³³
Nähtav poorsus	< 16%
Survetugevus	> 600MPa
Külmpaindetugevus	80–90 MPa (20 °C)
Kuumpaindetugevus	90–100 MPa (1400 °C)
Soojuspaisumine @1500°C	4.70 10^-6/°C
Soojusjuhtivus 1200 °C juures	23W/m•K
Elastsusmoodul	240 GPa
Termiline löögikindlus	Äärmiselt hea