Kõrge puhtusastmega kvartspaat vahvlite töötlemiseks

Kvartsist vahvlipaaton pooljuhtide tootmises, fotogalvaaniliste elementide tootmises ning täiustatud materjalide uurimis- ja arendustegevuses oluline kandevahend, mis on loodud stabiilseks kiipide ülekandeks ja positsioneerimiseks kõrgel temperatuuril toimuvates protsessides. See toode on valmistatud ülikõrge puhtusastmega sulatatud ränidioksiidist (SiO2), millel on suurepärane temperatuurikindlus, keemiline stabiilsus ja ülimadal metalli saastumise sisaldus, mis sobib difusioonahjude, oksüdatsiooniahjude, PECVD/LPCVD ja muude seadmete jaoks, mida kasutatakse laialdaselt kiipide katmisel, ioonide implanteerimisel, kõrgel temperatuuril lõõmutamisel ja muudel südamiku protsessidel.

VET Energy kvartspaadi peamised eelised:

• Ülikõrge puhtusastmega materjal
  Puhtus ≥99,99%: lisandite sisaldus (Na, K, Fe jne) <5 ppm, mis hoiab ära kiibi saastumise ja tagab kiibi saagise.
  Madal sademete ja adsorptsiooni määr: pind on superpoleeritud (Ra≤0,4 μm), et vähendada osakeste adhesiooni ja gaasijääke.
• Kõrge temperatuuri stabiilsus
  Temperatuuripiirang: pikaajaline töötemperatuur 1100 ℃, lühiajaline tipptemperatuur 1300 ℃, deformatsiooni ja kristallide sadestumist ei esine.
  Madal soojuspaisumistegur (5,5x10-7/℃), suurepärane termiline löögikindlus, kohandub kiire temperatuuri tõusu ja languse protsessiga (nt RTP kiirlõõmutamine).
• Täpne konstruktsiooniprojekt
  Pilu täpsus ±0,1 mm: 2–12-tolliste vahvlite sobitamine, vahekauguse ühtluse viga <0,05 mm, tagades, et vahvlitel pole nihet.
  Suur kandevõime: Maksimaalne koormus 50 vahvlit (12-tolliste vahvlite kohta) ühes paadis, toetades õhukeste vahvlite (≥100µm) stabiilset ülekannet.
• Keemiline inerts
  Korrosioonikindlus: Vastupidav hapete (välja arvatud HF), leeliste ja orgaaniliste lahustite korrosioonile, ühildub CMP puhastusprotsessiga.
  Suurepärane gaasikindlus: lekkekiirus <5x10-10 Pa.m3/s, sobib vaakum- ja kaitsva gaasi keskkondadesse.
• Pikk eluiga ja hooldatavus
  Oodatav eluiga ≥ 5000 tsüklit (normaalsed töötingimused), pinda saab korduvalt puhastada ja kasutada, vähendades üldkulusid.
  Modulaarne disain: toetab osalist asendamist (nt üksiku paadihamba asendamine), vähendades seisakuid.

Pakume nii läbipaistvaid kui ka mattpindu vastavalt kliendi soovidele:

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd on kõrgtehnoloogiline ettevõte, mis keskendub tipptasemel täiustatud materjalide, sealhulgas grafiidi, ränikarbiidi, keraamika, pinnatöötluse (nt SiC-kate, TaC-kate, klaasjas süsinikkate, pürolüütiline süsinikkate jne) tootmisele ja müügile. Neid tooteid kasutatakse laialdaselt fotogalvaanikas, pooljuhtides, uue energia tootmises, metallurgias jne.

Meie tehniline meeskond pärineb tipptasemel kodumaistest teadusasutustest ning on välja töötanud mitu patenteeritud tehnoloogiat, et tagada toote toimivus ja kvaliteet, ning pakub klientidele ka professionaalseid materjalilahendusi.