Suscepteur en graphite revêtu de carbure de silicium pour gravure LED

Brève description :

Le suscepteur en carbure de silicium pour la gravure de LED (plateau SiC) est un accessoire spécial pour la gravure profonde du silicium (machine de gravure ICP). Support de plaquette, également appelé support de plaquette, support de plaquette en silicium, également appelé support de plaquette de poche. Largement utilisé en CVD et pulvérisation cathodique sous vide pour semi-conducteurs.


Détails du produit

Étiquettes de produit

Le suscepteur revêtu de carbure de silicium esta clécomposant utilisé dans divers procédés de fabrication de semi-conducteurs.Nous utilisons notre technologie brevetée pour fabriquer le suscepteur revêtu de carbure de silicium avecpureté extrêmement élevée,bienrevêtementuniformitéet une excellente durée de vie, ainsi quepropriétés de résistance chimique et de stabilité thermique élevées.

VET Energy est levéritable fabricant de produits personnalisés en graphite et carbure de silicium avec revêtement CVD,peut fournirdiverspièces personnalisées pour l'industrie des semi-conducteurs et du photovoltaïque. ONotre équipe technique est issue des meilleures institutions de recherche nationales et peut fournir des solutions matérielles plus professionnelles.pour toi.

Nous développons continuellement des procédés avancés pour fournir des matériaux plus avancés,etont mis au point une technologie brevetée exclusive, qui permet de rendre la liaison entre le revêtement et le substrat plus étroite et moins sujette au détachement.

Fcaractéristiques de nos produits :

1. Résistance à l'oxydation à haute température jusqu'à 1700°C.
2. Haute pureté etuniformité thermique
3. Excellente résistance à la corrosion : acides, alcalis, sels et réactifs organiques.
4. Dureté élevée, surface compacte, particules fines.
5. Durée de vie plus longue et plus durable

maladies cardiovasculaires SiC薄膜基本物理性能

Propriétés physiques de base du SiC CVDrevêtement

性质 / Propriété

典型数值 / Valeur typique

晶体结构 / Structure cristalline

Phase β du FCC多晶,主要为(111)

密度 / Densité

3,21 g/cm³

硬度 / Dureté

2 500 维氏硬度 (charge de 500 g)

晶粒大小 / Granulométrie

2 à 10 μm

纯度 / Pureté chimique

99,99995%

热容 / Capacité thermique

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Température de sublimation

2700℃

抗弯强度 / Résistance à la flexion

415 MPa RT 4 points

杨氏模量 / Module de Young

430 Gpa 4pt courbé, 1300℃

导热系数 / ThermalConductivité

300 W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Dilatation thermique (CTE)

4,5 × 10-6K-1

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Nous vous invitons chaleureusement à visiter notre usine, discutons-en davantage !

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生产设备

 

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