Pièce demi-lune en graphite revêtue de SiCIl s'agit d'un composant essentiel utilisé dans les procédés de fabrication des semi-conducteurs, notamment pour les équipements épitaxiaux SiC. Sa conception structurelle et ses propriétés matérielles déterminent directement la qualité et l'efficacité de production des plaquettes épitaxiales.
Construction de la chambre de réaction :
La partie demi-lune est composée de deux parties, la partie supérieure et la partie inférieure, qui sont attachées ensemble pour former une chambre de croissance fermée, qui accueille le substrat en carbure de silicium (généralement 4H-SiC ou 6H-SiC) et réalise la croissance de la couche épitaxiale en contrôlant précisément le champ d'écoulement du gaz (comme un mélange de SiH₄, C₃H₈ et H₂).
Régulation du champ de température :
La base en graphite de haute pureté combinée à la bobine de chauffage par induction peut maintenir l'uniformité de la température de la chambre (à ± 5 °C) à une température élevée de 1 500 à 1 700 °C pour assurer la cohérence de l'épaisseur de la couche épitaxiale.
Guidage du flux d'air :
En concevant la position de l'entrée et de la sortie d'air (comme l'entrée d'air latérale et la sortie d'air supérieure du corps du four horizontal), le flux laminaire du gaz de réaction est guidé à travers la surface du substrat pour réduire les défauts de croissance causés par la turbulence.
Matériau de base : graphite de haute pureté
Exigences de pureté :teneur en carbone ≥ 99,99 %, teneur en cendres ≤ 5 ppm, pour garantir qu'aucune impureté ne précipite pour contaminer la couche épitaxiale à haute température.
Avantages en termes de performances :
Haute conductivité thermique :La conductivité thermique à température ambiante atteint 150 W/(m・K), ce qui est proche du niveau du cuivre et peut transférer rapidement la chaleur.
Faible coefficient de dilatation :5×10-6/℃ (25-1000℃), correspondant au substrat en carbure de silicium (4,2×10-6/℃), réduisant la fissuration du revêtement causée par le stress thermique.
Précision du traitement :Une tolérance dimensionnelle de ±0,05 mm est obtenue grâce à l'usinage CNC pour assurer l'étanchéité de la chambre.
Applications différenciées du CVD SiC et du CVD TaC
| Revêtement | Processus | Comparaison | Application typique |
| CVD-SiC | Température : 1000-1200℃Pression : 10-100 Torr | Dureté HV2500, épaisseur 50-100 um, excellente résistance à l'oxydation (stable en dessous de 1600 ℃) | Fours épitaxiaux universels, adaptés aux atmosphères conventionnelles telles que l'hydrogène et le silane |
| CVD-TaC | Température : 1600-1800℃Pression : 1-10 Torr | Dureté HV3000, épaisseur 20-50um, extrêmement résistant à la corrosion (peut supporter des gaz corrosifs tels que HCl, NH₃, etc.) | Environnements hautement corrosifs (tels que les équipements d'épitaxie et de gravure GaN) ou procédés spéciaux nécessitant des températures ultra-élevées de 2600°C |
VET Energy est un fabricant professionnel axé sur la R&D et la production de matériaux avancés haut de gamme tels que le graphite, le carbure de silicium, le quartz, ainsi que le traitement des matériaux comme le revêtement SiC, le revêtement TaC, le revêtement en carbone vitreux, le revêtement en carbone pyrolytique, etc. Les produits sont largement utilisés dans le photovoltaïque, les semi-conducteurs, les nouvelles énergies, la métallurgie, etc.
Notre équipe technique est issue des meilleures institutions de recherche nationales et peut vous fournir des solutions matérielles plus professionnelles.
Les avantages de VET Energy comprennent :
• Propre usine et laboratoire professionnel ;
• Niveaux de pureté et de qualité à la pointe de l’industrie ;
• Prix compétitif et délai de livraison rapide ;
• Partenariats industriels multiples à travers le monde ;
Nous vous invitons à visiter notre usine et notre laboratoire à tout moment !
-
Carbone vitreux de haute qualité résistant à la corrosion ...
-
Suscepteur de plaquette avec revêtement TaC pour G5 G10
-
Pièce de revêtement en carbure de tantale personnalisée en usine
-
Suscepteur en graphite revêtu de carbure de silicium pour L...
-
Pièce en demi-lune avec revêtement en carbure de tantale
-
Corps revêtu de carbure de tantale poreux