Sciath CVD

Bratuithe CVD le haghaidh Próiseáil Leathsheoltóra Ardleibhéil

Deartha do thimpeallachtaí criticiúla déantúsaíochta leathsheoltóirí, soláthraíonn ár sciatha Sileacain Charbaíde Sileacain (SiC), Carbaíde Tantalaim (TaC), agus Carbón Piralaíoch (PyC) Taisceadh Ceimiceach Gaile (CVD) táimhe ceimiceach den scoth, cobhsaíocht theirmeach foircneach, agus íonacht thar a bheith ard (< 5 ppm). Deartha chun foshraitheanna graifíte agus ceirmeacha ardíonachta a chosaint ó phlasma ionsaitheach, gáis phróisis imoibríocha, agus timthriall teirmeach ard, laghdaíonn ár sciatha chun cinn giniúint cáithníní agus síneann siad saolré comhpháirteanna go suntasach iEipeatacsaíocht Sileacain/SiC, MOCVD, Greanadh Plasma, agus Fás Monachriostailiarratais.

Íonacht Thar a Bheith Ard (< 5 ppm)

Eisíontais mhiotalacha ísle fíoraithe ag GDMS chun éilliú vaiféir a chosc i bpróisis chriticiúla.

Friotaíocht níos fearr do plasma agus gás

Cosnaíonn struchtúr criostalach dlúth i gcoinne plasma halaigine (CF₄, NF₃, Cl₂) agus gás creimneach.

Meaitseáil Teirmeach Optamaithe

Cuireann rialú dian CTE deireadh le micrea-scoilteadh agus dí-lamináil sciath faoi turraingí teirmeacha tromchúiseacha.

Cineál Cumhdaigh	Príomhbhuntáiste Teicniúil	Feidhmchlár Próisis Phríomhúil
Sciathán SiC CVD	Seoltacht theirmeach ard, friotaíocht creimeadh plasma den scoth	Greanadh Tirim, Eipeatacsas Si, MOCVD, Fás Criostail
Sciathán CVD TaC	Friotaíocht teochta foircní (>2000°C), bacainn creimeadh H₂/SiH₄	Eipeatacsas SiC, Fás PVT SiC Aonchriostail
Sciath PyC	Séalaithe gáis heirméiteach, dromchla carbóin anisotropic thar a bheith réidh	Insliú réimse teirmeach, Sileacan Monacriostalach CZ