Gabhdóir vaiféir le sciath TaC do G5 G10

Tá glacadóir sceallóga sciath cairbíde tantalaim (TaC) CVD, atá forbartha go neamhspleách ag VET Energy, deartha le haghaidh dálaí oibre crua amhail déantúsaíocht leathsheoltóra, fás sceallóga eipitacsach LED (MOCVD), foirnéis fáis criostail, cóireáil teasa folúis ardteochta, etc. Trí theicneolaíocht taiscthe gaile ceimiceach (CVD), cruthaítear sciath dlúth agus aonfhoirmeach cairbíde tantalaim ar dhromchla an tsubstráit graifíte, rud a thugann cobhsaíocht teochta thar a bheith ard (>3000 ℃), friotaíocht in aghaidh creimeadh miotail leáite, friotaíocht turraing theirmigh agus tréithe truaillithe ísle don tráidire, rud a shíneann an saol seirbhíse go suntasach.

Ár buntáistí teicniúla:
1. Cobhsaíocht teochta thar a bheith ard.
Pointe Leá 3880°C: Is féidir le sciath charbaíde tantalaim oibriú go leanúnach agus go cobhsaí os cionn 2500°C, ag sárú i bhfad teocht dianscaoilte 1200-1400°C sciatha sileacain charbaíde (SiC) traidisiúnta.
Friotaíocht turraing theirmeach: Tá comhéifeacht leathnúcháin theirmeach an sciath ag teacht le comhéifeacht leathnúcháin theirmeach an tsubstráit graifíte (6.6 × 10 -6 /K), agus is féidir leis timthriallta ardaithe agus titime tapa teochta a sheasamh le difríocht teochta níos mó ná 1000 ° C chun scoilteadh nó titim a sheachaint.
Airíonna meicniúla ardteochta: Sroicheann cruas an sciath 2000 HK (cruas Vickers) agus is é 537 GPa an modúl leaisteach, agus coinníonn sé neart struchtúrach den scoth ag teochtaí arda fós.

2. Thar a bheith frithsheasmhach in aghaidh creimeadh chun íonacht an phróisis a chinntiú
Friotaíocht den scoth: Tá friotaíocht den scoth aige in aghaidh gás creimneach amhail H₂, NH₃, SiH₄, HCl agus miotail leáite (m.sh. Si, Ga), rud a scarann ​​an tsubstráit graifíte go hiomlán ón timpeallacht imoibríoch agus a sheachnaíonn éilliú carbóin.
Imirce íseal eisíontas: íonacht thar a bheith ard, cuireann sé cosc ​​​​éifeachtach ar imirce nítrigine, ocsaigine agus eisíontas eile chuig an gcriostal nó an ciseal eipitacsach, rud a laghdaíonn ráta locht na micrea-fheadán níos mó ná 50%.

3. Cruinneas nana-leibhéal chun comhsheasmhacht an phróisis a fheabhsú
Aonfhoirmeacht sciath: caoinfhulaingt tiús ≤ ± 5%, sroicheann cothromaíocht an dromchla leibhéal nanaiméadar, rud a chinntíonn comhsheasmhacht ard i bparaiméadar fáis na sceallóga nó criostail, earráid aonfhoirmeachta teirmeach <1%.
Cruinneas toisí: tacaíonn sé le saincheapadh lamháltais ±0.05mm, oiriúnaíonn sé do sceallóga 4-orlach go 12-orlach, agus comhlíonann sé riachtanais chomhéadain trealaimh ardchruinnis.

4. Fadtéarmach agus buan, ag laghdú costais fhoriomlána
Neart nasctha: Is é ≥5 MPa an neart nasctha idir an sciath agus an tsubstráit graifíte, atá frithsheasmhach in aghaidh creimeadh agus caitheamh, agus tá an saol seirbhíse sínte níos mó ná 3 huaire.

Comhoiriúnacht Meaisín
Oiriúnach do threalamh fáis criostail agus eipitacsach príomhshrutha amhail CVD, MOCVD, ALD, LPE, etc., a chlúdaíonn fás criostail SiC (modh PVT), eipitacsas GaN, ullmhú foshraithe AlN agus cásanna eile.
Cuirimid réimse cruthanna gabhdóra ar fáil ar nós cruthanna cothroma, cuasacha, dronnacha, etc. Is féidir an tiús (5-50mm) agus leagan amach an phoill suímh a choigeartú de réir struchtúr an chuasa chun comhoiriúnacht gan uaim leis an trealamh a bhaint amach.

Príomhfheidhmchláir:
Fás criostail SiC: Sa mhodh PVT, is féidir leis an sciath an dáileadh réimse teirmeach a bharrfheabhsú, lochtanna imeall a laghdú, agus achar fáis éifeachtach an chriostail a mhéadú go dtí níos mó ná 95%.
Eipitacsacht GaN: Sa phróiseas MOCVD, is é <1% earráid aonfhoirmeachta teirmeach an ghabhdóra, agus sroicheann comhsheasmhacht thiús an chiseal eipitacsaigh ±2%.
Ullmhú foshraithe AlN: San imoibriú aimíniúcháin ardteochta (>2000°C), is féidir leis an sciath TaC an foshraith graifíte a leithlisiú go hiomlán, éilliú carbóin a sheachaint, agus íonacht chriostal AlN a fheabhsú.