CVD örtügi

Ösen ýarymgeçirijileri gaýtadan işlemek üçin CVD örtükleri

Ýarymgeçiriji önümçilik gurşawlary üçin niýetlenen, himiki bug çökündisi (CVD) kremniý karbidi (SiC), tantal karbidi (TaC) we pirolitik uglerod (PyC) örtüklerimiz ajaýyp himiki inertligi, örän termal durnuklylygy we örän ýokary arassalygy (< 5 ppm) üpjün edýär. Ýokary arassa grafit we keramiki substratlary agressiw plazmadan, reaktiv proses gazlaryndan we ýokary termal siklden goramak üçin niýetlenen ösen örtüklerimiz bölejikleriň döremegini azaldýar we komponentleriň ömrüni ep-esli uzaldýar.Kremniý/SiC Epitaksiýasy, MOCVD, Plazma aşındyrmasy we Monokristal Ösüşiprogrammalar.

Ultra-Ýokary Arassalyk (< 5 ppm)

Kritiki proseslerde wafli hapalanmagynyň öňüni almak üçin GDMS tarapyndan tassyklanan pes metal garyndylary.

Ýokary derejeli plazma we gaz garşylygy

Dykyz kristal gurluşy galogen plazmasyndan (CF₄, NF₃, Cl₂) we korroziýa ediji gazlardan goraýar.

Optimallaşdyrylan Termal Gabatlaşyk

Güýçli termal şoklar astynda CTE-niň berk gözegçiligi mikro çatlamalary we örtük delaminasiýasyny aradan aýyrýar.

Örtük görnüşi	Esasy tehniki artykmaçlyk	Esasy proses ulanylyşy
CVD SiC örtügi	Ýokary ýylylyk geçirijiligi, plazma eroziýasyna ajaýyp garşylyk	Gury aşındyrma, Si epitaksiýasy, MOCVD, Kristal ösüşi
CVD TaC örtügi	Ýokary temperatura garşylygy (>2000°C), H₂/SiH₄ korroziýa garşylygy	SiC Epitaksiýasy, Bir Kristally SiC PVT Ösüşi
PyC örtügi	Germetik gaz möhürleme, ultra ýumşak anizotrop uglerod ýüzi	Termal meýdan izolýasiýasy, CZ Monokristal Silikon