Pala en voladizo de SiC avanzada para o procesamento de obleas

Pala en voladizo avanzada de SiC para o procesamento de obleas Imaxe destacada

Descrición curta:

A paleta cantilever avanzada de SiC para o procesamento de obleas lanzada por vet-china emprega materiais de SiC de alta tecnoloxía para mellorar a eficiencia e a precisión do procesamento de obleas. A paleta cantilever de Vet-china presenta unha excelente resistencia á calor e á corrosión, o que garante un rendemento estable na manipulación de obleas en ambientes de fabricación agresivos, o que a converte nunha opción ideal para mellorar o rendemento da produción.

Envíanos un correo electrónico Descargar como PDF

Detalle do produto

Etiquetas do produto

O AvanzadoPala en voladizo de SiCpara o procesamento de obleas creado por vet-china ofrece unha excelente solución para a fabricación de semicondutores. Esta paleta en voladizo está feita de material SiC (carburo de silicio) e a súa alta dureza e resistencia á calor permítenlle manter un excelente rendemento en ambientes corrosivos e de alta temperatura. O deseño da paleta en voladizo permite que a oblea se soporte de forma fiable durante o procesamento, o que reduce o risco de fragmentación e danos.

Pala en voladizo de SiCé un compoñente especializado empregado en equipos de fabricación de semicondutores, como fornos de oxidación, fornos de difusión e fornos de recocido. O seu uso principal é para a carga e descarga de obleas, así como para soportar e transportar obleas durante procesos de alta temperatura.

Estruturas comúnsdeSiCcantiapalancamientopadelgazar: Unha estrutura en voladizo, fixa nun extremo e libre no outro, normalmente ten un deseño plano e semellante a unha paleta.

VET Energy emprega materiais de carburo de silicio recristalizado de alta pureza para garantir a calidade.

Propiedades físicas do carburo de silicio recristalizado
Propiedade	Valor típico
Temperatura de traballo (°C)	1600 °C (con osíxeno), 1700 °C (ambiente redutor)
contido de SiC	> 99,96%
Contido gratuíto de Si	< 0,1%
densidade aparente	2,60-2,70 g/cm³³
Porosidade aparente	< 16%
Resistencia á compresión	> 600MPa
Resistencia á flexión en frío	80-90 MPa (20 °C)
Resistencia á flexión en quente	90-100 MPa (1400 °C)
Expansión térmica a 1500 °C	4,70 10^-6/°C
Condutividade térmica a 1200 °C	23W/m•K
Módulo elástico	240 GPa
Resistencia ao choque térmico	Moi bo