Kvarcni brod visoke čistoće za obradu pločica

Kvarcni brodić od oblatneje ključni alat za prijenos u proizvodnji poluvodiča, proizvodnji fotonaponskih ćelija i naprednom istraživanju i razvoju materijala, dizajniran za stabilan prijenos i pozicioniranje pločica u visokotemperaturnim procesima. Ovaj proizvod izrađen je od ultra čistog taljenog silicija (SiO2), s izvrsnom temperaturnom otpornošću, kemijskom stabilnošću i ultra niskim karakteristikama onečišćenja metalima, pogodan za difuzijske peći, oksidacijske peći, PECVD/LPCVD i drugu opremu, široko se koristi u premazivanju pločica, ionskoj implantaciji, visokotemperaturnom žarenju i drugim procesima jezgre.

Glavne prednosti kvarcnog čamca VET Energy:

• Materijal ultra visoke čistoće
  Čistoća ≥99,99%: Sadržaj nečistoća (Na, K, Fe, itd.) <5 ppm, izbjegavajući kontaminaciju pločice i jamčeći prinos čipa.
  Niska taloženja i adsorpcija: površina je super polirana (Ra≤0,4 μm) kako bi se smanjilo prianjanje čestica i ostaci plina.
• Stabilnost na visokim temperaturama
  Temperaturno ograničenje: Dugotrajna radna temperatura od 1100 ℃, kratkotrajni vrh od 1300 ℃, bez deformacije, bez taloženja kristala.
  Nizak koeficijent toplinskog širenja (5,5x10-7/℃), izvrsna otpornost na toplinske udare, prilagodljivo naglim porastima i padovima temperature (npr. brzo RTP žarenje).
• Precizan strukturni dizajn
  Preciznost utora ±0,1 mm: podudaranje pločica od 2” do 12”, pogreška ujednačenosti razmaka <0,05 mm, osiguravajući da pločice nemaju pomak.
  Visoka nosivost: Maksimalno opterećenje od 50 pločica (u smislu pločica od 12”) u jednom spremniku, što podržava stabilan prijenos tankih pločica (≥100um).
• Kemijska inertnost
  Otpornost na koroziju: Otporno na kiseline (osim HF), lužine i koroziju uzrokovanu organskim otopinama, kompatibilno s CMP postupkom čišćenja.
  Izvrsna plinonepropusnost: Brzina propuštanja <5x10-10 Pa.m3/s, pogodno za vakuum i okruženja sa zaštitnim plinom.
• Dug vijek trajanja i održavanje
  Vijek trajanja ≥ 5000 ciklusa (normalni radni uvjeti), površina se može više puta čistiti i koristiti, smanjujući ukupne troškove.
  Modularni dizajn: podržava djelomičnu zamjenu (npr. jedan zub broda), smanjujući vrijeme zastoja.

Nudimo prozirne i matirane površine prema zahtjevima kupaca:

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd je visokotehnološko poduzeće usmjereno na proizvodnju i prodaju vrhunskih naprednih materijala, materijala i tehnologije uključujući grafit, silicijev karbid, keramiku, površinsku obradu poput SiC premaza, TaC premaza, premaza od staklastog ugljika, pirolitičkog ugljičnog premaza itd., ovi proizvodi se široko koriste u fotonaponskim sustavima, poluvodičima, novoj energiji, metalurgiji itd.

Naš tehnički tim dolazi iz vodećih domaćih istraživačkih institucija i razvio je više patentiranih tehnologija kako bi osigurao performanse i kvalitetu proizvoda, a kupcima može pružiti i profesionalna materijalna rješenja.