חלק חצי ירח גרפיט מצופה SiCהוא רכיב מפתח המשמש בתהליכי ייצור מוליכים למחצה, במיוחד עבור ציוד אפיטקסיאלי SiC. העיצוב המבני ותכונות החומר שלו קובעים ישירות את האיכות ויעילות הייצור של פרוסות אפיטקסיאליות.
בניית תא התגובה:
חלק חצי הירח מורכב משני חלקים, החלק העליון והתחתון, המחוברים יחד ליצירת תא גידול סגור, אשר מכיל את מצע סיליקון קרביד (בדרך כלל 4H-SiC או 6H-SiC) ומשיג גידול שכבה אפיטקסיאלית על ידי שליטה מדויקת בשדה זרימת הגז (כגון תערובת של SiH₄, C₃H₈ ו-H₂).
ויסות שדה טמפרטורה:
בסיס הגרפיט בעל הטוהר הגבוה בשילוב עם סליל חימום האינדוקציה יכול לשמור על אחידות טמפרטורת החדר (בתוך ±5°C) בטמפרטורה גבוהה של 1500-1700°C כדי להבטיח עקביות של עובי שכבת האפיטקסיה.
הנחיות זרימת אוויר:
על ידי תכנון מיקום כניסת ויציאת האוויר (כגון כניסת האוויר הצדדית ויציאת האוויר העליונה של גוף הכבשן האופקי), זרימת גז התגובה הלמינרית מונחית דרך פני השטח של המצע כדי להפחית פגמי גדילה הנגרמים על ידי טורבולנציה.
חומר בסיס: גרפיט טוהר גבוה
דרישות טוהר:תכולת פחמן ≥99.99%, תכולת אפר ≤5ppm, כדי להבטיח שלא יושקעו זיהומים שיזהמו את השכבה האפיטקסיאלית בטמפרטורות גבוהות.
יתרונות ביצועים:
מוליכות תרמית גבוהה:מוליכות תרמית בטמפרטורת החדר מגיעה ל-150W/(m・K), קרובה לרמה של נחושת ויכולה להעביר חום במהירות.
מקדם התפשטות נמוך:5×10-6/℃ (25-1000℃), תואם למצע סיליקון קרביד (4.2×10-6/℃), הפחתת סדקים בציפוי הנגרמים כתוצאה מלחץ תרמי.
דיוק עיבוד:סובלנות ממדית של ±0.05 מ"מ מושגת באמצעות עיבוד שבבי CNC כדי להבטיח את איטום התא.
יישומים מובחנים של CVD SiC ו- CVD TaC
| שִׁכבָה | תַהֲלִיך | השוואה | יישום טיפוסי |
| CVD-SiC | טמפרטורה: 1000-1200℃ לחץ: 10-100 טור | קשיות HV2500, עובי 50-100um, עמידות מצוינת לחמצון (יציבה מתחת ל-1600℃) | תנורים אפיטקסיאליים אוניברסליים, המתאימים לאטמוספרות קונבנציונליות כגון מימן וסילאן |
| CVD-TaC | טמפרטורה: 1600-1800℃ לחץ: 1-10 טור | קשיות HV3000, עובי 20-50 מיקרון, עמידות במיוחד בפני קורוזיה (יכול לעמוד בגזים קורוזיביים כגון HCl, NH₃ וכו') | סביבות קורוזיביות ביותר (כגון ציוד אפיטקסיה וחריטה של GaN), או תהליכים מיוחדים הדורשים טמפרטורות גבוהות במיוחד של 2600 מעלות צלזיוס |
VET Energy היא יצרנית מקצועית המתמקדת במחקר ופיתוח ובייצור של חומרים מתקדמים באיכות גבוהה כגון גרפיט, סיליקון קרביד, קוורץ, וכן בטיפול בחומרים כגון ציפוי SiC, ציפוי TaC, ציפוי פחמן זכוכיתי, ציפוי פחמן פירוליטי וכו'. המוצרים נמצאים בשימוש נרחב בתחומי הפוטו-וולטאית, מוליכים למחצה, אנרגיה חדשה, מטלורגיה וכו'.
הצוות הטכני שלנו מגיע ממוסדות מחקר מקומיים מובילים, ויכול לספק לך פתרונות חומר מקצועיים יותר.
יתרונות VET Energy כוללים:
• מפעל משלו ומעבדה מקצועית;
• רמות טוהר ואיכות מובילות בתעשייה;
• מחיר תחרותי וזמן אספקה מהיר;
• שותפויות מרובות בתעשייה ברחבי העולם;
אנו מזמינים אתכם לבקר במפעל ובמעבדה שלנו בכל עת!
