סירת פרוסות קוורץהוא כלי נשא מרכזי בייצור מוליכים למחצה, ייצור תאים פוטו-וולטאיים ומחקר ופיתוח חומרים מתקדמים, המיועד להעברה ומיקום יציבים של פרוסות סיליקון בתהליכים בטמפרטורה גבוהה. מוצר זה עשוי מסיליקה מותכת (SiO2) בטוהר גבוה במיוחד, עם עמידות מעולה לטמפרטורה, יציבות כימית ומאפייני זיהום מתכת נמוכים במיוחד, מתאים לתנור דיפוזיה, תנור חמצון, PECVD/LPCVD וציוד אחר, בשימוש נרחב בציפוי פרוסות סיליקון, השתלת יונים, חישול בטמפרטורה גבוהה ותהליכי ליבה אחרים.
היתרונות המרכזיים של סירת הקוורץ של VET Energy:
- חומר בעל טוהר גבוה במיוחד
טוהר ≥99.99%: תכולת טומאה (Na, K, Fe וכו') <5ppm, תוך מניעת זיהום פרוסות סיליקון והבטחת תפוקת שבב.
משקעים וספיחה נמוכים: פני השטח מלוטשים במיוחד (Ra≤0.4μm) כדי להפחית הידבקות חלקיקים ושאריות גז. - יציבות בטמפרטורה גבוהה
מגבלת טמפרטורה: טמפרטורת עבודה לטווח ארוך של 1100 ℃, שיא לטווח קצר של 1300 ℃, ללא עיוות, ללא משקעים גבישיים.
מקדם התפשטות תרמית נמוך (5.5x10-7/℃), עמידות מצוינת לזעזועים תרמיים, ניתנת להתאמה לתהליכי עלייה וירידה מהירים בטמפרטורה (למשל חישול מהיר של RTP). - תכנון מבני מדויק
דיוק חריץ ±0.1 מ"מ: התאמת פרוסות בגודל 2 אינץ' עד 12 אינץ', שגיאת אחידות מרווח <0.05 מ"מ, תוך הבטחת לוופלים ללא היסט.
קיבולת עומס גבוהה: עומס מקסימלי של 50 פרוסות סיליקון (בגודל 12 אינץ') בסירה אחת, התומכת בהעברה יציבה של פרוסות סיליקון דקות (≥100 מיקרון). - אינרטיות כימית
עמידות בפני קורוזיה: עמיד בפני קורוזיה של חומצה (למעט HF), אלקלית וממסים אורגניים, תואם לתהליך ניקוי CMP.
אטימות גז מעולה: קצב דליפה <5x10-10 Pa.m3/s, מתאים לסביבות ואקום וגז מגן. - חיים ארוכים ותחזוקה
תוחלת חיים ≥ 5000 מחזורים (תנאי עבודה רגילים), ניתן לנקות ולהשתמש במשטח שוב ושוב, מה שמפחית את העלות הכוללת.
עיצוב מודולרי: תומך בהחלפה חלקית (למשל שן סירה בודדת), מה שמפחית את זמן ההשבתה.
אנו מציעים משטחים שקופים וגם מצופים חלב בהתאם לדרישות הלקוח:
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd היא מפעל היי-טק המתמקד בייצור ומכירה של חומרים מתקדמים ברמה הגבוהה ביותר, החומרים והטכנולוגיה כוללים גרפיט, סיליקון קרביד, קרמיקה, טיפולי שטח כמו ציפוי SiC, ציפוי TaC, ציפוי פחמן זכוכיתי, ציפוי פחמן פירוליטי וכו'. מוצרים אלה נמצאים בשימוש נרחב בפוטו-וולטאית, מוליכים למחצה, אנרגיה חדשה, מטלורגיה וכו'.
הצוות הטכני שלנו מגיע ממוסדות מחקר מקומיים מובילים, ופיתח מספר טכנולוגיות פטנטיות כדי להבטיח ביצועי מוצר ואיכות, ויכול גם לספק ללקוחות פתרונות חומרים מקצועיים.
