חלק חצי ירח גרפיט מצופה SiCהוא רכיב מפתח המשמש בתהליכי ייצור מוליכים למחצה, במיוחד עבור ציוד אפיטקסיאלי SiC. אנו משתמשים בטכנולוגיה הרשומה כפטנט שלנו כדי לייצר את חלק חצי הירח בעל טוהר גבוה במיוחד, אחידות ציפוי טובה וחיי שירות מצוינים, כמו גם עמידות כימית גבוהה ותכונות יציבות תרמית.
חומר בסיס: גרפיט טוהר גבוה
דרישות טוהר:תכולת פחמן ≥99.99%, תכולת אפר ≤5ppm, כדי להבטיח שלא יושקעו זיהומים שיזהמו את השכבה האפיטקסיאלית בטמפרטורות גבוהות.
יתרונות ביצועים:
מוליכות תרמית גבוהה:מוליכות תרמית בטמפרטורת החדר מגיעה ל-150W/(m・K), קרובה לרמה של נחושת ויכולה להעביר חום במהירות.
מקדם התפשטות נמוך:5×10-6/℃ (25-1000℃), תואם למצע סיליקון קרביד (4.2×10-6/℃), הפחתת סדקים בציפוי הנגרמים כתוצאה מלחץ תרמי.
דיוק עיבוד:סובלנות ממדית של ±0.05 מ"מ מושגת באמצעות עיבוד שבבי CNC כדי להבטיח את איטום התא.
יישומים מובחנים של CVD SiC ו- CVD TaC
| שִׁכבָה | תַהֲלִיך | השוואה | יישום טיפוסי |
| CVD-SiC | טמפרטורה: 1000-1200℃ לחץ: 10-100 טור | קשיות HV2500, עובי 50-100um, עמידות מצוינת לחמצון (יציבה מתחת ל-1600℃) | תנורים אפיטקסיאליים אוניברסליים, המתאימים לאטמוספרות קונבנציונליות כגון מימן וסילאן |
| CVD-TaC | טמפרטורה: 1600-1800℃ לחץ: 1-10 טור | קשיות HV3000, עובי 20-50 מיקרון, עמידות במיוחד בפני קורוזיה (יכול לעמוד בגזים קורוזיביים כגון HCl, NH₃ וכו') | סביבות קורוזיביות ביותר (כגון ציוד אפיטקסיה וחריטה של GaN), או תהליכים מיוחדים הדורשים טמפרטורות גבוהות במיוחד של 2600 מעלות צלזיוס |
בדיקת איכות
עובי ציפוי: מד עובי לייזר (דיוק ±1 מיקרון) או ניתוח חתך רוחב SEM.
חוזק הדבקה: בדיקת שריטה (עומס קריטי > 50N) או בדיקה אולטרסאונד (מהירות קול > 5000 מטר/שנייה).
עמידות בפני קורוזיה: קצב אובדן מסה (<0.1 מ"ג/סמ"ר・שעה) נבדק באטמוספירת HCl (5% נפח, 1600℃).
VET Energy היא יצרנית מקצועית המתמקדת במחקר ופיתוח ובייצור של חומרים מתקדמים באיכות גבוהה כגון גרפיט, סיליקון קרביד, קוורץ, וכן בטיפול בחומרים כגון ציפוי SiC, ציפוי TaC, ציפוי פחמן זכוכיתי, ציפוי פחמן פירוליטי וכו'. המוצרים נמצאים בשימוש נרחב בתחומי הפוטו-וולטאית, מוליכים למחצה, אנרגיה חדשה, מטלורגיה וכו'.
הצוות הטכני שלנו מגיע ממוסדות מחקר מקומיים מובילים, ויכול לספק לך פתרונות חומר מקצועיים יותר.
יתרונות VET Energy כוללים:
• מפעל משלו ומעבדה מקצועית;
• רמות טוהר ואיכות מובילות בתעשייה;
• מחיר תחרותי וזמן אספקה מהיר;
• שותפויות מרובות בתעשייה ברחבי העולם;
אנו מזמינים אתכם לבקר במפעל ובמעבדה שלנו בכל עת!
