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SiCコーティングされたグラファイトベースキャリア

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簡単な説明：

VET Energy社のSiCコーティンググラファイトキャリアは、長期間にわたり安定した信頼性の高い性能を発揮するように設計された高性能製品です。優れた耐熱性と熱均一性、高純度、耐侵食性を備えており、ウェーハ処理用途に最適なソリューションです。

 

 

 


  • 原産地：中国
  • 結晶構造：FCCβ相
  • 密度 ：3.21 g/cm
  • 硬度：2500ビッカース
  • 粒度：2～10μm
  • 化学的純度：99.99995%
  • 熱容量：640J・kg⁻¹・K⁻¹
  • 昇華温度：2700℃
  • 屈曲強度：415 MPa (RT 4点)
  • ヤング率：430 GPa（4点曲げ試験、1300℃）
  • 熱膨張係数（CTE）：4.5 10-6K-1
  • 熱伝導率：300（W/MK）
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    製品詳細

    商品タグ

    SiCコーティングされたグラファイトキャリアは、様々な半導体製造プロセスにおいて重要な構成要素です。当社は特許技術を用いて、極めて高い純度、優れたコーティング均一性、長寿命、そして高い耐薬品性と耐熱性を備えた炭化ケイ素キャリアを製造しています。

    当社製品の特徴：

    1. 1700℃までの高温酸化耐性。
    2. 高純度と熱均一性
    3. 優れた耐食性：酸、アルカリ、塩、有機試薬。
    4. 高硬度、緻密な表面、微細粒子。
    5. より長い耐用年数とより優れた耐久性。

    半導体用炭化ケイ素コーティンググラファイト基板
    https://www.vet-china.com/sic-carriersusceptor.html/

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    VET Energyは、グラファイト、炭化ケイ素、石英などのハイエンド先端材料の研究開発および製造、ならびにSiCコーティング、TaCコーティング、ガラス状炭素コーティング、熱分解炭素コーティングなどの材料処理に特化した専門メーカーです。製品は、太陽光発電、半導体、新エネルギー、冶金などの分野で幅広く使用されています。

    当社の技術チームは国内トップクラスの研究機関出身者で構成されており、より専門的な材料ソリューションを提供できます。

    VET Energyの利点は以下のとおりです。
    ・自社工場と専門研究所を所有。
    ・業界最高水準の純度と品質。
    ・競争力のある価格と迅速な配送時間。
    ・世界各地で複数の業界パートナーシップを締結。

    いつでも工場と研究所へのご訪問を歓迎いたします！

    公司客户

     

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