Didelio grynumo kvarco valtis vaflių apdorojimui

Kvarco vaflinė valtisyra pagrindinis nešiklis puslaidininkių gamyboje, fotovoltinių elementų gamyboje ir pažangiuose medžiagų tyrimuose bei plėtroje, skirtas stabiliam plokštelių perkėlimui ir pozicionavimui aukštos temperatūros procesuose. Šis produktas pagamintas iš itin didelio grynumo lydyto silicio dioksido (SiO2), pasižyminčio puikiu atsparumu temperatūrai, cheminiu stabilumu ir itin mažu metalų užterštumu, tinkančiu difuzijos krosnims, oksidacijos krosnims, PECVD/LPCVD ir kitai įrangai, plačiai naudojamas plokštelių dengimui, jonų implantavimui, aukštos temperatūros atkaitinimui ir kitiems pagrindiniams procesams.

Pagrindiniai „VET Energy“ kvarcinio laivo privalumai:

• Itin didelio grynumo medžiaga
  Grynumas ≥99,99 %: priemaišų kiekis (Na, K, Fe ir kt.) <5 ppm, taip išvengiama plokštelių užteršimo ir užtikrinama mikroschemų išeiga.
  Mažas kritulių kiekis ir adsorbcija: paviršius yra itin poliruotas (Ra≤0,4 μm), kad sumažėtų dalelių sukibimas ir dujų likučiai.
• Aukštos temperatūros stabilumas
  Temperatūros riba: ilgalaikė darbinė temperatūra 1100 ℃, trumpalaikė maksimali 1300 ℃ temperatūra, nėra deformacijos, nėra kristalų kritulių.
  Mažas šiluminio plėtimosi koeficientas (5,5x10-7/℃), puikus atsparumas šiluminiam smūgiui, prisitaiko prie greito temperatūros kilimo ir kritimo procesų (pvz., RTP greito atkaitinimo).
• Tikslus konstrukcinis projektavimas
  Lizdo tikslumas ±0,1 mm: suderinamos 2–12 colių plokštelės, tarpo vienodumo paklaida <0,05 mm, užtikrinant, kad plokštelės neturėtų poslinkio.
  Didelė keliamoji galia: maksimali 50 plokštelių apkrova (skaičiuojant pagal 12 colių plokšteles) vienoje valtyje, užtikrinanti stabilų plonų plokštelių (≥100 μm) perkėlimą.
• Cheminis inertiškumas
  Atsparumas korozijai: Atsparus rūgštims (išskyrus HF), šarmams ir organinių tirpiklių korozijai, suderinamas su CMP valymo procesu.
  Puikus dujų sandarumas: nuotėkio greitis <5x10-10 Pa.m3/s, tinka vakuuminėms ir apsauginių dujų aplinkoms.
• Ilgas tarnavimo laikas ir priežiūra
  Tarnavimo trukmė ≥ 5000 ciklų (įprastomis darbo sąlygomis), paviršių galima pakartotinai valyti ir naudoti, taip sumažinant bendras išlaidas.
  Modulinė konstrukcija: palaiko dalinį pakeitimą (pvz., vieno valties danties), taip sumažinant prastovas.

Pagal kliento reikalavimus siūlome tiek skaidrius, tiek matinius paviršius:

„Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd.“ yra aukštųjų technologijų įmonė, orientuota į aukščiausios klasės pažangių medžiagų, įskaitant grafitą, silicio karbidą, keramiką, paviršiaus apdorojimo, pvz., SiC dangos, TaC dangos, stiklinės anglies dangos, pirolizės anglies dangos ir kt., gamybą ir pardavimą. Šie produktai plačiai naudojami fotovoltinėse medžiagose, puslaidininkiuose, naujosios energijos, metalurgijos ir kt. srityse.

Mūsų techninė komanda yra iš geriausių šalies mokslinių tyrimų institucijų ir sukūrė keletą patentuotų technologijų, siekdama užtikrinti produkto našumą ir kokybę, taip pat gali pasiūlyti klientams profesionalius medžiagų sprendimus.