Silicio karbidu dengtas grafito substratas puslaidininkiams, MOCVD susceptorius

Trumpas aprašymas:

„VET Energy SiC“ dengtas susceptorius yra aukštos kokybės produktas, sukurtas užtikrinti pastovų ir patikimą veikimą ilgą laiką. Jis pasižymi itin geru atsparumu karščiui ir terminiu vienodumu, dideliu grynumu, atsparumu erozijai, todėl tai puikus sprendimas plokštelių apdorojimo reikmėms.

Kilmės vieta:Džedziangas, Kinija (žemyninė dalis)

Cheminė sudėtis:SiC dengtas grafitas

Lenkimo stipris:470 MPa

Šilumos laidumas:300 W/mK

Kokybė:Tobulas

Funkcija:CVD-SiC

Taikymas:Puslaidininkiniai / fotovoltiniai

Tankis:3,21 g/cm³

Šiluminis plėtimasis:4 10-6/K

Pelenai: <5 ppm

Pavyzdys:Galima įsigyti

HS kodas:6903100000

Siųskite mums el. laišką Atsisiųsti kaip PDF

Produkto informacija

Produkto žymės

VET Energy SiC padengtas susceptoriusyra didelio našumo sprendimas, kruopščiai sukurtas siekiant užtikrinti patikimą ir nuoseklų veikimą per visą tarnavimo laiką, atitinkantis griežtus puslaidininkių gamybos reikalavimus. Pasižymintis išskirtiniu atsparumu karščiui, puikiu šiluminiu vienodumu ir dideliu grynumu, šis produktas idealiai tinka MOCVD plokštelių laikikliais ir kitoms plokštelių apdorojimo reikmėms, kurioms reikalingas stabilumas ir tikslumas. Dėl tvirto atsparumo erozijai jis yra puikus pasirinkimas aplinkoms, kuriose labai svarbus patvarumas ir atsparumas cheminėms medžiagoms.

MūsųSiC dengtas grafito susceptoriusyra labai svarbus puslaidininkių gamybos proceso komponentas, pasitelkiant išskirtinę patentuotą „VET Energy“ technologiją, pasiekiamas itin didelis grynumas, puikus dangos vienodumas ir puikus terminis stabilumas. Danga pagerina grafito substrato atsparumą cheminėms medžiagoms ir žymiai pailgina tarnavimo laiką. „VET Energy“ atsidavimas kokybei lėmė SiC dengto susceptoriaus sukūrimą, kuris atitinka besikeičiančius grafito plokštelių laikiklių rinkos poreikius ir nustato aukštus standartus SiC dengtiems grafitiniams susceptoriams, naudojamiems...MOCVD procesai.

Pagrindinės SiC dengtų susceptorių savybės:

1. Atsparumas oksidacijai aukštoje temperatūroje:Atlaiko iki 1700 ℃ temperatūrą, todėl tinka ekstremalioms apdorojimo sąlygoms.

2. Didelis grynumas ir terminis vienodumas:Užtikrina nuoseklius rezultatus, kurie yra gyvybiškai svarbūsMOCVD susceptoriaiir kitos tikslios paskirties programos.

3. Puikus atsparumas korozijai:Atsparus rūgštims, šarmams, druskai ir įvairiems organiniams reagentams.

4. Padidintas paviršiaus kietumas:Kompaktiškas paviršius su smulkiomis dalelėmis, kurios užtikrina didesnį patvarumą ir ilgaamžiškumą.

5. Ilgesnis tarnavimo laikas:Sukurtas ilgalaikiam veikimui, pranokstantis standartinius silicio karbidu padengtus susceptorius atšiauriomis apdorojimo sąlygomis.

Kaip pirmaujanti gamintoja, „VET Energy“ specializuojasi individualiai pritaikytų grafitų ir...silicio karbido gaminiaisu įvairiais padengimo variantais, įskaitantSiC danga, TaC danga, stiklinė anglies dangair pirolizės anglies danga. Mes didžiuojamės galėdami aptarnauti puslaidininkių ir fotovoltinių įrenginių pramonę, tiekdami silicio karbidu dengtus grafito susceptorius, kurie atitinka konkrečius eksploatacinius reikalavimus.

Mūsų techninė komanda, turinti patirties dirbant su geriausiais šalies tyrimų institutais, yra pasiryžusi tobulinti medžiagų sprendimus, atsižvelgiant į besikeičiančius poreikius.SiC dengtas grafito susceptoriusrinkoje. Naudodama patentuotą procesą, „VET Energy“ sukūrė unikalią technologiją, kuri žymiai pagerina silicio karbido dangos ir pagrindo sukibimo stiprumą, sumažindama atsiskyrimo riziką ir padidindama ilgalaikį patikimumą.

Puslaidininkių apdorojimo taikymas ir privalumai

TheSiC danga MOCVD sistemomsįgalinagrafito susceptoriuskomponentai, išlaikantys vientisumą aukštoje temperatūroje ir korozinėje aplinkoje, o tai yra gyvybiškai svarbu tiksliosios puslaidininkių gamybos procese. Šie SiC dengti grafito komponentai yra ypač vertinami procesuose, kuriems reikalingi silicio karbidu dengti susceptoriaigrafito plokštelių laikikliai, kuriems reikalingas didelis terminis stabilumas, grynumas ir atsparumas cheminei erozijai.

Naudodama pažangias silicio karbido dengimo technologijas, „VET Energy“ ir toliau remia grafito plokštelių laikiklių rinką, teikdama individualiai pritaikytus, didelio našumo produktus.SiC dengti grafito susceptoriaikurie sprendžia konkrečiai pramonei būdingus iššūkius – nuo MOCVD procesų iki didelio grynumo taikymų puslaidininkių srityje.