Ypatingi mūsų SiC dengtų grafito susceptorių pranašumai yra ypač aukštas grynumas, vienalytė danga ir puikus tarnavimo laikas.Jie taip pat pasižymi dideliu cheminiu atsparumu ir šiluminio stabilumo savybėmis.
Grafito substrato SiC danga, skirta puslaidininkiams, sukuria išskirtinio grynumo ir atsparumo oksiduojančiai atmosferai detalę.
CVD SiC arba CVI SiC naudojamas paprastos ar sudėtingos konstrukcijos grafitui.Danga gali būti dengiama įvairaus storio ir labai didelėms dalims.
Funkcijos:
· Puikus atsparumas šiluminiam smūgiui
· Puikus fizinis atsparumas smūgiams
· Puikus cheminis atsparumas
· Itin didelio grynumo
· Sudėtingos formos prieinamumas
· Galima naudoti esant oksidacinei atmosferai
Taikymas:
Tipinės pagrindinės grafito medžiagos savybės:
Tariamas tankis: | 1,85 g/cm3 |
Elektrinė varža: | 11 μΩm |
Lankstumo stiprumas: | 49 MPa (500 kgf/cm2) |
Šore kietumas: | 58 |
Pelenai: | <5 ppm |
Šilumos laidumas: | 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃) |
Anglis tiekia susceptorius ir grafito komponentus visiems dabartiniams epitaksiniams reaktoriams.Mūsų portfelyje yra vamzdiniai susceptoriai taikomiesiems ir LPE įrenginiams, blyniniai susceptoriai LPE, CSD ir Gemini įrenginiams ir vienos plokštelės susceptoriai taikomiesiems ir ASM įrenginiams. Sujungus tvirtą partnerystę su pirmaujančiais originalios įrangos gamintojais, medžiagų patirtį ir gamybos patirtį, SGL siūlo optimalų dizainą jūsų programai.