Фокусен прстен за CVD облога

Фокус прстен за CVD облога Препорачана слика

Краток опис:

Фокусниот прстен со CVD облога за плазматско јодирање е дизајниран да ја оптимизира дистрибуцијата на плазмата и да ја подобри униформноста на јодирањето во напредните системи за јодирање. Со робусна Si или SiC подлога во комбинација со CVD SiC облога со висока чистота, тој обезбедува супериорна отпорност на плазма, ултра ниско генерирање на честички и продолжен век на траење. Широко користен во ICP и CCP процесите на плазматско јодирање, овој фокусен прстен ефикасно ги минимизира ефектите на рабовите, го стабилизира однесувањето на јоните и ги штити компонентите на комората од ерозија и контаминација. Тој е суштински потрошен материјал за постигнување висок принос и конзистентност на процесот во напредното производство на полупроводници.

Испратете ни е-пошта Преземи како PDF

Детали за производот

Ознаки на производи

Фокусниот прстен за CVD облога за плазматско јоргање е критична потрошна компонента што се користи во напредните полупроводнички системи за јоргање. Изработен со композитна структура од подлога + CVD облога, овој производ е дизајниран да ја оптимизира дистрибуцијата на плазмата, да ја подобри униформноста на јоргањето и да го продолжи животниот век на компонентите на комората.

Во Vet Energy, користиме длабинско искуство во технологијата за хемиско таложење на пареа (CVD) и напредни керамички материјали за да испорачаме фокусни прстени кои ги задоволуваат строгите барања на современите полупроводнички јазли, вклучувајќи ги FinFET и 3D NAND процесите.

Улога на фокусниот прстен при плазматско јоргање

Кај системите за плазма гравирање (како што се ICP и CCP реакторите), фокусниот прстен е поставен околу работ на плочката и игра витална улога во стабилноста на процесот и перформансите на приносот.

1. Контрола на униформноста на плазмата

Фокусниот прстен делува како електрична и физичка граница што помага во регулирањето на распределбата на густината на плазмата низ површината на плочката.

Клучни придобивки:

● Подобрена униформност на стапката на гравирање
● Намалена варијација од центар до раб
● Подобрена повторување на процесот

2. Компензација на ефектот на рабовите

Без фокусен прстен, дисторзијата на плазматската обвивка на работ на плочката може да доведе до нерамномерно јорганизирање.

Фокусниот прстен ефикасно функционира како „виртуелно продолжување на плочката“, минимизирајќи ги аномалиите поврзани со рабовите, како што се:

● Прекумерно гравирање на рабовите на плочките
● Девијација на критичната димензија (CD)
● Искривување на профилот

3. Јонска траекторија и контрола на енергијата

Со влијание врз локалното електрично поле, фокусниот прстен помага во стабилизирање на аглите на инцидентот на јоните и распределбата на енергијата, што е клучно за:

● Бакирање со висок сооднос на ширина и висина (HAR)
● Контрола на анизотропски профил
● Намалено оштетување на страничните ѕидови