Кварцен брод со висока чистота за обработка на вафли

Кварцен вафлен броде клучна алатка за носење во производството на полупроводници, производството на фотоволтаични ќелии и истражувањето и развојот на напредни материјали, дизајниран за стабилен пренос и позиционирање на плочки во процеси на висока температура. Овој производ е направен од ултра-висока чистота стопен силициум диоксид (SiO2), со одлична отпорност на температура, хемиска стабилност и карактеристики на ултра-ниска контаминација на метал, погоден за дифузна печка, оксидациона печка, PECVD/LPCVD и друга опрема, широко користен во премачкување на плочки, имплантација на јони, жарење на висока температура и други процеси на јадро.

Основни предности на кварцниот чамец на VET Energy:

• Материјал со ултра висока чистота
  Чистота ≥99,99%: Содржина на нечистотии (Na, K, Fe, итн.) <5ppm, избегнувајќи контаминација на плочки и гарантирајќи принос на чип.
  Ниски врнежи и адсорпција: површината е суперполирана (Ra≤0.4μm) за да се намали адхезијата на честичките и остатоците од гас.
• Стабилност на висока температура
  Температурна граница: Долгорочна работна температура од 1100℃, краткорочен врв од 1300℃, без деформација, без кристални талози.
  Низок коефициент на термичка експанзија (5.5x10-7/℃), одлична отпорност на термички шок, прилагодлив на процесот на брзо зголемување и опаѓање на температурата (на пр. брзо RTP жарење).
• Прецизен структурен дизајн
  Прецизност на процепот ± 0,1 mm: усогласување на плочки од 2” до 12”, грешка на униформност на растојанието <0,05 mm, осигурувајќи дека плочките немаат поместување.
  Висок капацитет на оптоварување: Максимално оптоварување од 50 плочки (во однос на плочки од 12 инчи) во еден чамец, што поддржува стабилен пренос на тенки плочки (≥100 μm).
• Хемиска инертност
  Отпорност на корозија: Отпорен на киселина (освен HF), алкалии и корозија од органски растворувачи, компатибилен со процесот на чистење со CMP.
  Одлична гасна непропустливост: Стапка на истекување <5x10-10 Pa.m3/s, погодна за вакуумски и заштитни гасни средини.
• Долг век на траење и одржливост
  Очекуван животен век ≥ 5000 циклуси (нормални работни услови), површината може постојано да се чисти и користи, со што се намалуваат вкупните трошоци.
  Модуларен дизајн: поддржува делумна замена (на пр. еден заб на чамец), намалувајќи го времето на застој.

Нудиме и транспарентни и матирани површини според барањата на клиентот:

„Нингбо ВЕТ Енерџи Технолоџи Ко., Лтд“ е високотехнолошка компанија фокусирана на производство и продажба на висококвалитетни напредни материјали, материјалите и технологијата вклучуваат графит, силициум карбид, керамика, површински третман како што се SiC премази, TaC премази, стаклен јаглероден премаз, пиролитички јаглероден премаз итн., овие производи се широко користени во фотоволтаични, полупроводнички, нова енергија, металургија итн.

Нашиот технички тим доаѓа од врвни домашни истражувачки институции и има развиено повеќе патентирани технологии за да обезбеди перформанси и квалитет на производот, а може да им обезбеди на клиентите и професионални материјални решенија.