ക്വാർട്സ് വേഫർ ബോട്ട്ഉയർന്ന താപനില പ്രക്രിയകളിൽ സ്ഥിരതയുള്ള വേഫർ കൈമാറ്റത്തിനും സ്ഥാനനിർണ്ണയത്തിനുമായി രൂപകൽപ്പന ചെയ്തിരിക്കുന്ന, അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണം, ഫോട്ടോവോൾട്ടെയ്ക് സെൽ ഉൽപ്പാദനം, നൂതന മെറ്റീരിയൽ ഗവേഷണം, വികസനം എന്നിവയിലെ ഒരു പ്രധാന കാരിയർ ഉപകരണമാണ്. മികച്ച താപനില പ്രതിരോധം, രാസ സ്ഥിരത, അൾട്രാ-ലോ ലോഹ മലിനീകരണ സവിശേഷതകൾ എന്നിവയുള്ള അൾട്രാ-ഹൈ പ്യൂരിറ്റി ഫ്യൂസ്ഡ് സിലിക്ക (SiO2) കൊണ്ടാണ് ഈ ഉൽപ്പന്നം നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്, ഡിഫ്യൂഷൻ ഫർണസ്, ഓക്സിഡേഷൻ ഫർണസ്, PECVD/LPCVD, മറ്റ് ഉപകരണങ്ങൾ എന്നിവയ്ക്ക് അനുയോജ്യമാണ്, വേഫർ കോട്ടിംഗ്, അയോൺ ഇംപ്ലാന്റേഷൻ, ഉയർന്ന താപനില അനീലിംഗ്, മറ്റ് കോർ പ്രോസസ്സ് എന്നിവയിൽ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു.
VET എനർജിയുടെ ക്വാർട്സ് ബോട്ടിന്റെ പ്രധാന ഗുണങ്ങൾ:
- അൾട്രാ-ഹൈ പ്യൂരിറ്റി മെറ്റീരിയൽ
പരിശുദ്ധി ≥99.99%: മാലിന്യത്തിന്റെ അളവ് (Na, K, Fe, മുതലായവ) <5ppm, വേഫർ മലിനീകരണം ഒഴിവാക്കുകയും ചിപ്പ് വിളവ് ഉറപ്പാക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.
കുറഞ്ഞ മഴയും ആഗിരണം ചെയ്യലും: കണികകളുടെ അഡീഷനും വാതക അവശിഷ്ടവും കുറയ്ക്കുന്നതിന് ഉപരിതലം സൂപ്പർ-പോളിഷ് ചെയ്തിരിക്കുന്നു (Ra≤0.4μm). - ഉയർന്ന താപനില സ്ഥിരത
താപനില പരിധി: ദീർഘകാല പ്രവർത്തന താപനില 1100℃, ഹ്രസ്വകാല പീക്ക് 1300℃, രൂപഭേദം ഇല്ല, ക്രിസ്റ്റൽ മഴയില്ല.
കുറഞ്ഞ താപ വികാസ ഗുണകം (5.5x10-7/℃), മികച്ച താപ ആഘാത പ്രതിരോധം, ദ്രുതഗതിയിലുള്ള താപനില വർദ്ധനവിനും താഴ്ചയ്ക്കും (ഉദാ: RTP ദ്രുത അനീലിംഗ്) അനുയോജ്യമാണ്. - കൃത്യമായ ഘടനാപരമായ രൂപകൽപ്പന
സ്ലോട്ട് കൃത്യത± 0.1mm: 2" മുതൽ 12" വരെ വേഫറുകൾ പൊരുത്തപ്പെടുത്തൽ, സ്പേസിംഗ് യൂണിഫോമിറ്റി പിശക് <0.05mm, വേഫറുകൾക്ക് ഓഫ്സെറ്റ് ഇല്ലെന്ന് ഉറപ്പാക്കുന്നു.
ഉയർന്ന ലോഡ് കപ്പാസിറ്റി: ഒരു ബോട്ടിൽ പരമാവധി ലോഡ് 50 വേഫറുകൾ (12” വേഫറുകൾ എന്ന കണക്കിൽ), നേർത്ത വേഫറുകളുടെ (≥100um) സ്ഥിരതയുള്ള കൈമാറ്റം പിന്തുണയ്ക്കുന്നു. - രാസ നിഷ്ക്രിയത്വം
നാശ പ്രതിരോധം: ആസിഡ് (HF ഒഴികെ), ആൽക്കലി, ഓർഗാനിക് ലായക നാശത്തെ പ്രതിരോധിക്കും, CMP ക്ലീനിംഗ് പ്രക്രിയയുമായി പൊരുത്തപ്പെടുന്നു.
മികച്ച വാതക ഇറുകിയത്: ചോർച്ച നിരക്ക് <5x10-10 Pa.m3/s, വാക്വം, സംരക്ഷണ വാതക പരിതസ്ഥിതികൾക്ക് അനുയോജ്യം. - ദീർഘായുസ്സും പരിപാലനക്ഷമതയും
ആയുർദൈർഘ്യം ≥ 5000 സൈക്കിളുകൾ (സാധാരണ ജോലി സാഹചര്യങ്ങൾ), ഉപരിതലം ആവർത്തിച്ച് വൃത്തിയാക്കാനും ഉപയോഗിക്കാനും കഴിയും, ഇത് മൊത്തത്തിലുള്ള ചെലവ് കുറയ്ക്കുന്നു.
മോഡുലാർ ഡിസൈൻ: ഭാഗിക മാറ്റിസ്ഥാപിക്കലിനെ പിന്തുണയ്ക്കുന്നു (ഉദാ: ബോട്ട് പല്ലിന്റെ ഒറ്റ ഭാഗം), പ്രവർത്തനരഹിതമായ സമയം കുറയ്ക്കുന്നു.
ഉപഭോക്താവിന്റെ ആവശ്യങ്ങൾക്കനുസരിച്ച് സുതാര്യവും ഫ്രോസ്റ്റഡ് പ്രതലങ്ങളും ഞങ്ങൾ വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു:
നിങ്ബോ VET എനർജി ടെക്നോളജി കമ്പനി ലിമിറ്റഡ്, ഗ്രാഫൈറ്റ്, സിലിക്കൺ കാർബൈഡ്, സെറാമിക്സ്, SiC കോട്ടിംഗ് പോലുള്ള ഉപരിതല ചികിത്സ, TaC കോട്ടിംഗ്, ഗ്ലാസി കാർബൺ കോട്ടിംഗ്, പൈറോലൈറ്റിക് കാർബൺ കോട്ടിംഗ് എന്നിവയുൾപ്പെടെയുള്ള ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ള നൂതന വസ്തുക്കളുടെ ഉൽപ്പാദനത്തിലും വിൽപ്പനയിലും ശ്രദ്ധ കേന്ദ്രീകരിക്കുന്ന ഒരു ഹൈടെക് സംരംഭമാണ്. ഫോട്ടോവോൾട്ടെയ്ക്, സെമികണ്ടക്ടർ, ന്യൂ എനർജി, മെറ്റലർജി മുതലായവയിൽ ഈ ഉൽപ്പന്നങ്ങൾ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു.
ഞങ്ങളുടെ സാങ്കേതിക സംഘം മുൻനിര ആഭ്യന്തര ഗവേഷണ സ്ഥാപനങ്ങളിൽ നിന്നുള്ളവരാണ്, കൂടാതെ ഉൽപ്പന്ന പ്രകടനവും ഗുണനിലവാരവും ഉറപ്പാക്കാൻ ഒന്നിലധികം പേറ്റന്റ് നേടിയ സാങ്കേതികവിദ്യകൾ വികസിപ്പിച്ചെടുത്തിട്ടുണ്ട്, കൂടാതെ ഉപഭോക്താക്കൾക്ക് പ്രൊഫഷണൽ മെറ്റീരിയൽ സൊല്യൂഷനുകൾ നൽകാനും കഴിയും.
